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真空ポンプについての概要、用途、原理などをご説明します。また、真空ポンプのメーカー112社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。真空ポンプ関連企業の2024年8月注目ランキングは1位:株式会社日本ピスコ、2位:株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン、3位:神港精機株式会社となっています。
真空ポンプと関連するカテゴリ
1993年~2019年に日本化薬株式会社医薬研究所にて医薬品の研究開発、各種生体試料の分析に従事。危険物取扱者、放射線取扱主任者として施設管理業務も担当。2019年に同業他社に転職、現在まで同様の業務を担当。専門書執筆・翻訳・校閲活動も行っている。>LinkedIn: h
真空ポンプは、装置や容器から空気を排出し、真空にするための装置です。真空ポンプは、ポンプ、排気口、吸気口で構成されています。ポンプには、真空にするための仕組みが多く開発されています。
真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、必要な真空度や、真空に到達するまでの時間、使用する温度環境を考慮して、使用する真空ポンプを適切に選定する必要があります。油を使用するかどうかで、ドライポンプとウェットポンプに分けられます。
真空ポンプは、医療機器や医療機器の製造過程、食品工場、電気機器、半導体の製造過程などで使用されます。また、真空を必要とする医療機器や理化学機器の補器としても使われます。真空ポンプは10種類以上の原理が開発されており、それぞれの特性を理解して適切に選定する必要があります。
真空ポンプの主な使用用途は以下の通りです。
真空ポンプを動作原理により分類し、そのうち代表的なものの動作原理を説明します。
油回転真空ポンプは、回転するローターなどの働きで吸入した空気を押し出すようにして排気する真空ポンプで、気密性を高めるために油を使うウェットポンプの総称です。ロータリー真空ポンプとも呼ばれます。
詳細な形式として、回転翼型油真空ポンプ、カム形油回転真空ポンプ、揺動ピストン型油回転真空ポンプなどがあります。回転翼、カム、ピストンに結合した揺動部と、空気と接する部位の形は異なりますが、いずれの形式でも、ローターの回転に伴って空気を排出することで真空を作ります。
油を使う以上、油の蒸気圧が真空の限界となりますが、油の働きで安定した性能を発揮でき、小型の装置で容易に中真空を得ることができます。
油拡散真空ポンプは、ボイラーとジェットノズル、凝縮機で構成されています。ボイラーで加熱して蒸気になった油をジェットノズルにより超音速で噴射し、ポンプ内の空気分子を排気口に押し出します。蒸気になった油は凝縮器で液体の油となり再利用されます。
回転翼型ドライ真空ポンプは、回転するローターとベーンが吸気口から吸入した空気をかき出すようにして排気する真空ポンプで、油を使わないものです。空気の逆流を防ぐことが出来ないため、低真空状態が限界になりますが、大きな排気速度を得ることができます。
揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、偏心回転軸に連動するピストンによって、空気を押し出すようにして排気する真空ポンプです。構造上、空気の逆流を防ぐことができないため、低真空状態が限界になりますが、メンテナンスが容易です。
ダイヤフラムポンプ( 膜ポンプ )とは、ゴム、樹脂、金属といった素材から成るダイアフラムの往復運動と逆止弁を組み合わせて流体を輸送するポンプです。真空ポンプとする場合、逆止弁があるため気密に油を用いる必要が無く、ドライポンプとすることができます。往復運動に伴い、真空にしたい側から空気を吸い込み、大気側に吐き出すことを繰り返して真空を作ります。
スクロール型ドライ真空ポンプは、渦巻型のステータとローターの運動の組み合わせによって排気するドライ真空ポンプです。渦巻の運動により、空気を中央に寄せて、中央部から排気します。
ターボ分子ポンプは、タービンの形をしたドライ真空ポンプです。タービン翼を分子の熱運動に近い速度で高速回転させ、タービン翼の傾きに応じた分子運動の偏りを作ることで排気を行います。タービン翼の高速回転を可能とするため、ある程度の真空中で使用する必要があり、他の真空ポンプと組み合わせて使われます。
真空ポンプの選定では、到達真空度、排気時間、排気容量などを考慮してポンプの種類を決定します。真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、それぞれに合った真空ポンプがあります。
低真空用では、ダイアフラム型ドライポンプ、揺動ピストン型ドライポンプ、回転翼型ドライポンプなどがあります。ダイアフラム型は回転翼型ドライポンプのような摺動部がないので煽動による微粒子が発生せず、クリーンな真空を得ることができます。揺動ピストン型は構造がシンプルでメンテナンスが容易です。回転翼型は大きな排気速度を得ることができます。
中真空用では、スクロール型、油回転型などがあります。スクロール型は多くの製品で2段圧縮により効率を確保しており、低振動、低騒音なものとなっています。油回転型は名前の通り、油により潤滑、密封を行っているため効率が良く、真空度の安定性が良いポンプです。
高真空用では、2つのローターを回転させて吸引、圧縮するルーツ型( メカニカルブースター )真空ポンプ、多段のルーツ型ポンプを一体化した多段ルーツ型真空ポンプ、構造がシンプルで排気速度が大きい油拡散型真空ポンプなどがあります。更に超高真空用と呼ばれるものにターボ分子ポンプやクライオポンプなどがあります。
このように様々な種類の真空ポンプがあるため、その特徴や特性を良く理解し、用途に合ったものを選択することが大切です。
真空を使用した設備では、到達真空度、排気時間を考慮して真空ポンプを選定します。しかし、一般的に真空度が上がると排気速度が遅くなること、高真空用ポンプの中には大気圧状態では使用できないものがあることから、真空ポンプ単独ではなく、組み合わせて使用する場合があります。
例えば、「低真空で排気速度の速いポンプ」と「高真空のポンプ」を切り替えて併用したり、同時使用したりすることで、高真空でもある程度の排気速度が得られます。
具体例としては、油回転型で低真空領域まで真空引き( 粗引き )し、その後、メカニカルブースターポンプに切り替えて高真空まで真空引き( 本引き )する方法が挙げられます。
また、2種類の真空ポンプを連結し、中低真空用ポンプを介することで大気圧でも高真空用ポンプを使用できるようにすることもあります。
油回転真空ポンプは、正しく使えば安定した性能を発揮しますが、オイルの管理が重要です。気体を吸引して真空をつくる性質上、どうしても吸引したものの中にある不純物( 水など )がオイルに混入してしまいます。このような不純物がオイルの性能を劣化させます。
ほとんどの油回転真空ポンプには、ガスバラストといって揮発性の成分を蒸発させる機能があるので、定期的にガスバラストを行うとよいでしょう。オイル量の日常点検、定期的なオイル交換も重要です。また、「オイルを汚染しやすい用途であるが安価なのでとりあえず油回転真空ポンプを設置していた」など、状況によっては近い性能のドライポンプに置き換えるなどの見直しも意義があるかもしれません。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/56/6/56_13-LC-014/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_657/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_670/_pdf
https://ulvac-kiko.com/support/pump_types.html
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年8月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
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1 | 株式会社日本ピスコ |
4.6%
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2 | 株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン |
3.9%
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3 | 神港精機株式会社 |
3.3%
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4 | 株式会社荏原製作所 |
2.9%
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5 | 佐藤真空株式会社 |
2.5%
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6 | 株式会社アルバック |
2.5%
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7 | 株式会社アンレット |
2.5%
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8 | 樫山工業株式会社 |
2.3%
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9 | 芝浦メカトロニクス株式会社 |
2.3%
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10 | 株式会社浪速ポンプ製作所 |
2.1%
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注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年8月の真空ポンプページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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株式会社マキタの真空ポンプのレビュー
製品の品質への満足度
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購入した製品 充電式真空ポンプ VP180D レビュー日時: 2024年1月5日
レビューユーザー: 電気業界 個人事業主 | 会社従業員数1-10人
製品の品質への満足度
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気に入っているところは見た目、収納ケースがおしゃれなところです。また、軽くてコードレスで使いやすく、持ち運びが簡単なため様々な場所で重宝しています。顧客対応への満足度
5.0
真空ポンプを使用して5年になりますが、今までに一度も不具合等が無いため、この製品についてはメーカーに問い合わせ等をした事がありませんが、仕事仲間からメーカーに問い合わせをしたことがある方がいて、その際に迅速かつ丁寧な対応をしてもらったと聞いたことがあります。購入背景
個人で電気屋としてエアコン工事をする際に必要なために5年前に購入しました。製品の閲覧数をもとに算出したランキング
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607 点の製品がみつかりました
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ロータリーベーンは、堅牢性と機能性で定評ある技術です。円筒形のハウジング内に、複数枚のベーンが備わったローターが偏心して取り付けられています。 ローターが回転すると、遠心力により...
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ドライロータリーベーン真空ポンプおよびコンプレッサー コンパクトで信頼性が高く極めてパワフル - これらは、SECOドライロータリーベーン真空ポンプおよびコンプレッサーの傑出した特徴で...
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ワンス スルー オイル式ロータリーベーン真空ポンプ Dr Karl Buschは、食品包装用途に特化した真空ポンプとして初となるHUCKEPACKを開発しました。これは包装業界における革命でした。 特に...
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HUCKEPACK HO 0429 F 50Hz | 要見積もり | 0.5 hPa | ||
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HUCKEPACK HO 0429 F 60Hz | 要見積もり | 0.5 hPa | ||
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HUCKEPACK HO 0433 F 50Hz | 要見積もり | 0.5 hPa | ||
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HUCKEPACK HO 0433 F 60Hz | 要見積もり | 0.5 hPa | ||
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HUCKEPACK HO 0437 F 50Hz | 要見積もり | 0.5 hPa | ||
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HUCKEPACK HO 0437 F 60Hz | 要見積もり | 0.5 hPa | ||
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HUCKEPACK HO 0441 F 50Hz | 要見積もり | 0.5 hPa | ||
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HUCKEPACK HO 0441 F 60Hz | 要見積もり | 0.5 hPa |
日本ブッシュ株式会社
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2段式オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ ZEBRAシリーズでは、産業および分析プロセス向けの2段式ロータリーベーン真空ポンプを提供しています。これらの真空ポンプは、研究所から製造ラ...
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2段式オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ ZEBRAシリーズでは、産業および分析プロセス向けの2段式ロータリーベーン真空ポンプを提供しています。これらの真空ポンプは、研究所から製造ラ...
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ZEBRA RH 0015 B (A) 50Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa | ||
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ZEBRA RH 0015 B (A) 60Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa | ||
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ZEBRA RH 0015 B (B) 50Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa | ||
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ZEBRA RH 0015 B (B) 60Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa | ||
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ZEBRA RH 0021 B (A) 50Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa | ||
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ZEBRA RH 0021 B (B) 50Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa | ||
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品番 | 価格 | 到達真空度 | |||
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ZEBRA RH 0030 B 50Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa | ||
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ZEBRA RH 0030 B 60Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa | ||
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ZEBRA RH 0040 B 60Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa | ||
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ZEBRA RH 0060 B 60Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa | ||
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ZEBRA RH 0090 B 50Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa | ||
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ZEBRA RH 0090 B 60Hz | 要見積もり | 0.0067 hPa |
日本ブッシュ株式会社
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ドライロータリーベーン真空ポンプおよびコンプレッサー コンパクトで信頼性が高く極めてパワフル - これらは、SECOドライロータリーベーン真空ポンプおよびコンプレッサーの傑出した特徴で...
アネスト岩田株式会社
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排気セットは、真空ポンプに別ポンプを組み合わせたユニットタイプで、真空ポンプ単体よりも性能を強化した製品になります。従来の油回転ポンプはシールに油を使用しているため、オイルミス...
三弘エマテック株式会社
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三弘エマテック株式会社
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■製品説明 磁気軸受採用のコントローラ一体型ターボ分子ポンプ。ポンプ本体、コントローラを一体にする事で、省配線、省スペースを実現しております。 ■特徴 ポンプ本体とコントローラが一...
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードモデルです。接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプとなります。用途に合わせて選べるライン...
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 豊富な納入実績を誇る、標準的な油回転真空ポンプです。電源も100Vから200V、単相、三相などラインナップも充実しています。 ■特徴 低騒音で低振動。強制給油機構の搭載により、...
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 ULVACのPBL型油拡散エゼクタポンプは、中真空領域で優れた排気性能を提供する拡散ポンプです。PBL型油拡散エゼクタポンプは、異物混入に強く、中真空領域での高性能を提供するため...
三弘エマテック株式会社
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三弘エマテック株式会社
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■特徴 ・フロン系コールドトラップ代替 ・排気時間を大幅に短縮し、装置の稼働率向上に寄与します。 ・ヘリウムガスを使用しているので、地球温暖化係数0。 (代替フロンは、地球温暖化係数が...
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 PFL型油拡散ポンプは、蓄積された研究成果と豊富な経験を基に設計・製作されております。ラインナップは22B~52Bの4機種から選択可能です。 真空炉をはじめとする大型真空装置や高真空...
科健化学株式会社
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■製品概要 ・正圧および負圧 ・過負荷、過熱、ショート保護 ・照光式スイッチ ・高精度真空計
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Metoree AI
各メーカーの製品を横断して比較しやすくするために、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて、項目名や値の表記がされている場合があります。製品の詳細については、個別製品ページをご覧ください。
Metoreeに登録されている真空ポンプが含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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主に研究室内で使用できる卓上サイズのガス用真空ポンプの総合カタログです。リーズナブルな小型ポンプから耐食型ポンプ、水素等の可燃ガスを扱える防爆ポン...
2023年10月23日
世界中の研究所・大学で長年ベストセラーの卓上サイズガス用真空ポンプ LABOPORTシリーズに待望の新製品が登場しました。手のひらサイズの小型ポンプN96.18、...
2023年10月23日
お客様の装置に部品として組み込んで使用する産業用ポンプ、工場等の生産設備に使用する大型ポンプの総合カタログです。耐熱仕様、防爆仕様等、お客様のご要...
2022年4月5日
2021年7月17日
台湾のオイルレス真空ポンプとオイルレス空気圧縮機のトップメーカーであるUNi-CROWNは、2001年4月に設立されました。UNi-CROWNの酸素濃縮コンプレッサーには...
2023年5月31日
水封式真空ポンプ、遠心ブロワ、ルーツブロワー、多段真空ユニットなどの製品を取り揃えており、お客様の多様なニーズにお応えするため、より体系的な一貫サ...
2024年3月1日
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企業
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン 株式会社アルバック 株式会社三津海製作所 東京理化器械株式会社 株式会社大阪真空機器製作所 株式会社宇野澤組鐵工所 伯東株式会社 日本ビュッヒ株式会社 UNI-CROWN CO., LTD. CUTES CORPORATION ニチコー株式会社189,829 円
8,400 円
485,182 円
価格について: Metoreeに登録されている真空ポンプの製品607点の2024年9月8日時点での価格データを元に算出しています。