ロータリーポンプのメーカー17社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。
目次
ロータリーポンプは正式には油回転真空ポンプと呼ばれます。
などの特性があり、中真空(10^-1 Pa)程度までの真空状態を容易に実現するポンプです。
比較的安価で操作も簡単なため、科学研究用機器や産業システムなど長い間様々な用途に利用されてきました。
最近では、モータ直結高速回転速型が開発され小型化が進んだことにより利用範囲も拡大しましたが、従来型のベルトがけ低速回転型機種も特に化学実験関係のような薬品蒸気を吸引する場面では活躍しています。
ロータリーポンプは操作や据え付けが簡単で手軽に使えるので多種多様な利用方法にフィットします。
真空が必要な科学実験用装置に組み込まれたり、超高真空実現の際初期段階の粗引きに利用されたり、システム全体の背圧を維持するためのバックポンプなど、真空が必要であるけれどそれほどシビアな条件ではない場面で広く手軽に使われています。
特徴として
などが挙げられます。
ロータリーポンプには
という3つの形式が存在します。
回転翼形油回転真空ポンプは、シリンダの内側に組み込まれているローターに取り付けられた2枚の羽根によってシリンダー内を3つの空間に分割する構造をもち、これによって分割された小部屋の気体はローターの回転とともに圧縮されて排出され減圧します。
カム形油回転真空ポンプは、円筒形ステータの中心に設置された偏芯ローターの一部がステータと接触しながら回転する間にステータとローターの隙間空間を排気する事によって真空排気を行います。
揺動ピストン形油回転真空ポンプは、ガイド部を滑り動くピストンが偏心ローターの回転によって上下運動を行うことで、シリンダ内部の期待を圧縮し排気します。
これらすべての形式のロータリーポンプにおいて、ベアリング部の潤滑や冷却、ポンプ内部の気密性を高めるためオイルを用いておりそのため油回転真空ポンプと呼ばれます。
参考文献
http://www.asahiseiki.co.jp/column/post/%E3%83%AD%E3%83%BC%E3%82%BF%E3%83%AA%E3%83%BC%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E3%83%9D%E3%83%B3%E3%83%97%E3%81%AE%E7%89%B9%E5%BE%B4%E3%81%A8%E3%83%A1%E3%83%AA%E3%83%83%E3%83%88%E3%81%AB%E3%81%A4%E3%81%84%E3%81%A6
http://www.asahiseiki.co.jp/column/post/%E3%83%AD%E3%83%BC%E3%82%BF%E3%83%AA%E3%83%BC%E3%83%9D%E3%83%B3%E3%83%97%E3%81%AE%E7%94%A8%E9%80%94%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E7%A8%AE%E9%A1%9E
http://www.shinku-pump.com/vacuumpump/rotary/
社員数の規模
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