【2021年版】真空バルブ メーカー9社一覧
真空バルブのメーカー9社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。
目次
真空バルブとは
真空バルブは、真空チャンバー等、内部と外部で気体の圧力が異なる装置に取り付けられています。バルブを閉めるとチャンバーの真空度を保ち外気を遮断します。バルブを開放することでチャンバーを大気圧に戻します。
また、チャンバーに流すガス量の調節や、ポンプ同士を真空バルブでつなぐ場合もあります。研究用の装置から、製造用まで種類が多くあります。
近年、真空装置の大型化が進んでおり、真空バルブの口が大きい製品が求められるようになっています。
真空バルブの使用用途
真空バルブは、大気圧用から超高真空用までラインナップがあります。要求される真空度や用途によって適する真空バルブの種類が異なるので、適切に選択する必要があります。
真空バルブは半導体製造などの真空チャンバーやポンプに使用されています。また各種の気体の圧が変化する機械にも利用されており、自動車部品の成型、医薬品や化学品の脱水や濃縮、脱気やガス置換包装、減圧や滅菌など、様々な用途の機械に組み込まれています。
真空バルブの原理
真空バルブは、開閉することで大気とチャンバー内の圧力差をコントロールしています。閉めた時の圧力に耐えるようベローズを利用して力を分散させています。バルブの開閉は手動式と、圧空駆動式が主です。
ステンレスやアルミニウムなど真空用の素材でできており、高温加熱に耐えることができます。また、真空バルブには逆圧仕様と正圧仕様があり、逆圧は真空側から大気側に弁体をシールし、正圧はその逆で、大気側から真空側にシールします。
真空バルブの使い方は主に2種類に分けられ、異なるバルブを使用します。
- 遮断バルブ
大気と真空を区切るバルブで、真空バルブの多くが遮断バルブです。真空と大気という圧力の異なる空間を分け、シールしています。種類はゲートバルブ、L型バルブ、ストレートバルブなどがあります。 - ガス量調節バルブ
真空チャンバーに流入するガスの量を微細に調節するバリアブルリークバルブと、真空チャンバーと真空ポンプの間に入れて排気速度を調節するコンダクタンスバルブがあります。コンダクタンスバルブの形状はニードルバルブ、バタフライバルブがあります。
参考文献
http://www.ikc.co.jp/technical/valve/whats_valve.html
http://www.asahiseiki.co.jp/column/post/05
真空バルブのメーカー情報
真空バルブのメーカーランキング
社員数の規模
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歴史のある会社
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真空バルブのメーカー9社一覧
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