蒸着装置のメーカー7社・23製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。
目次
蒸着装置による真空蒸着は、真空条件下で対象物の表面に成膜する物理的気相成長法（PVD法）の一つで、成膜材料を気化させて対象物に成膜します。
真空蒸着はPVD法の中で最もシンプルな方法です。
真空蒸着は膜に不純物が含まれやすいので、真空条件下でチャンバー内に含まれる不純物をなるべく減らし、かつ対象物表面の不純物を取り除いてから膜を堆積させることが大切です。
真空蒸着のメリットは他のPVD法よりシンプルで比較的時間が短く済むことです。
ただし、一般に高融点の材料や合金の成膜には向きません。
蒸着装置ではアルミニウムやクロム、金、銀、銅などの金属材料の成膜が可能です。
こうした材料の膜は半導体や有機ELディスプレイ、液晶パネルなどに利用されています。
他にレンズの反射防止膜や、ガラスへのアルミニウム蒸着によるミラー、ビデオテープ等の磁気テープなども蒸着装置によって作製されています。
また、包装紙としてガスバリア機能を持たせたものには、ポリエチレン等のフィルムにアルミニウムや二酸化シリコンが蒸着されています。
ロータリーポンプやターボ分子ポンプでチャンバー内を高真空にし、蒸着したい材料を加熱して気化させて、対象物上に堆積させます。
密着性のよい膜を作製するには、チャンバー内の空気の不純物を取り除くことが大切です。
材料を加熱して気化させる方法には電子ビーム、抵抗加熱、高周波誘導、レーザーなどがあります。
参考文献
https://www.satovac.co.jp/application/deposition.html
社員数の規模
設立年の新しい会社
歴史のある会社
画像出典: 株式会社真空デバイス公式サイトVE-2030は、高清浄度な高真空環境を提供しながら、動作はスタートボタンを押すだけという手軽さを両立した、高真空蒸着装置です。
真空引き時にターボモレキュラーポンプを使用することで、ロータリーポンプ単体ではどうしても逆流してしまうミスト状のオイルを遮断し、高清浄度な高真空空間を実現しています。
研究目的に合わせて、膜厚計やターゲットの一様加熱機構などの多種多様なオプションを選択でき、あとからチャンバーを追加したくなっても対応できます。
画像出典: 株式会社真空デバイス公式サイトVE-2012は、余計な機能をすべてそぎ落として低価格を追求した、省スペースにて設置できるデスクトップタイプの小型真空蒸着装置です。
排気系統を簡素化し、操作はスイッチのオンオフだけというシンプル設計なため、蒸着装置の使用に不慣れでも使用しやすいエントリーモデルといえます。
小型ながら様々な蒸着ができますし、特にカーボンに関してはターゲットにシャープペンシルの芯を使用できるため、特別なターゲットを用意することなく蒸着ができます。
画像出典: 株式会社真空デバイス公式サイトVC-100S/100Wは、カーボン膜の蒸着に特化した真空蒸着装置でTEMやX線分析用のカーボン薄膜が生成できます。
真空引きにはAC100Vのロータリーポンプを使用し、真空度はピラニーゲージで確認しながら常に一定の蒸着量を保つことができます。
蒸着用のカーボンは専用の替え芯の他にシャープペンシルの芯も使用できるため、簡単に扱うことができます。
本体はポンプを含めた一体型であり水冷も不要なため、設備導入の敷居が低く実験室での使用に適しています。
画像出典: 株式会社サンバック公式サイトED-1250Rは、研究機関向けの高真空蒸着装置で、真空チャンバーはガラス製のため内部を確認しながら2インチウェハサイズの成膜をすることができます。
真空排気系統は、油回転ポンプとターボ分子ポンプを搭載しているため、短時間で高真空度まで到達できます。
ターゲットの加熱機構には2対の抵抗加熱機構に加えて電子銃も備えていますし、蒸着基板の加熱機構や回転機構などの、蒸着条件をコントロールするために必要な機能を一通り搭載しているため、安定した研究実験ができます。
画像出典: 株式会社アルバック公式サイトULEYESは、バッチ式の真空成膜装置であり、自動車用のヘッドライトリフレクターなどへアルミや酸化ケイ素を薄膜として蒸着するのに適しています。
2ドア方式を採用しているのが特長でワークの脱着と蒸着処理を交互に行うことができるため、生産性向上に大きく寄与します。
ワークは自公転しなら薄膜蒸着されるため、均一で質の高い成膜処理ができます。
クライオトラップを装備している上、粗引きユニットを設置することもできるため排気時間の短縮が可能です。
画像出典: 株式会社アルバック公式サイトVEPシリーズは、有機材料と無機材料を複合して成膜できる蒸着重合装置で、プラズマ重合やスパッタリングなど様々目的に使用でき、半導体や有機薄膜分野に主に使われます。
装置内には、真空処理室と成膜室を複数組み合わせることが可能であり、ワークをいちいち取り出すことなく連続処理することが可能です。
一般にコントロールが難しい有機材料に対しても、蒸発源ごとに適切な蒸気圧を設定することができ、また、将来的に処理室を増設することも可能です。
画像出典: 株式会社アルバック公式サイトEWシリーズは、紙や金属の各種フィルムなどを巻き取りながら連続的に薄膜形成を行う巻き取り式真空蒸着装置で、蒸着対象に応じた機種が取り揃えられています。
蒸着対象の材質とサイズに応じた安定的な巻き取り制御を設計し、蒸着目的によって蒸発源も3種類から選択できるため、目的に最適な装置設計をすることができます。
巻き取り蒸着をしながらオンラインで膜厚が計測可能な各種モニターもあり、生産性向上と品質保証の両面から成膜作業の安定性を高めることが可能です。
画像出典: 株式会社アルバック公式サイトEX-200は、金属酸化膜等の蒸着時に使用する小型の実験用蒸着装置です。
実験機として他用途の成膜を行えるようにするために、装置チャンバーは耐食性のSUS製とし、省スペース化のため小型化を追求しています。
金属膜などの加熱方式は、実験様式に適した条件出しのために抵抗加熱式と電子銃から選択できます。
実験目的による真空到達度に応じて、拡散ポンプからクライオポンプまで選択可能であり、蒸着方法も自公転成膜などのオプション対応も可能です。
画像出典: 株式会社アルバック公式サイトEME-400は、六角形のコアを有する真空枚葉式蒸着装置で、電界放出ディスプレイなどに最適です。
各蒸着チャンバーは明確に仕切られているため、蒸着素材のコンタミが起こらず高品質な連続成膜が可能です。
成膜室と加熱室と組み合わせることができ、また成膜ワークは常に上向きのセットアップなため、前段後段の輸送装置とも容易に組み合わせることができます。
最大で長さ300mm幅400mmの基板まで対応しつつ効率的な連続成膜が可能なため、生産性向上に大きく寄与する蒸着装置です。
センサー
試験機
モーター
ポンプ
リレー
検査装置
アナライザ
ダイオード
測定機器
観察機器
プリンター
コンデンサ
スイッチ
ロボット
カメラ
コネクタ
メーター・計測機器
ジェネレータ・発生器