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インフィコン株式会社

【2021年版】ピラニ真空計 メーカー11社一覧

ピラニ真空計のメーカー11社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


ピラニ真空計とは

ピラニ真空計は真空計の中でも最も使用されている真空計の1つであり、シンプルな構成で安価なこともその理由の1つです。真空計のタイプ的には電気抵抗タイプ真空計の1つであり、測定子を測定環境に設置すると、真空度によって測定子に流れる電力により真空度の測定を行うためです。

ピラニ真空計は一般的にはコントローラと測定子で構成されており、測定範囲は約0.5Paから2KPa位になります。測定子とコントローラが分離できるタイプもあります。

ピラニ真空計の使用用途

ピラニ真空計の測定範囲は約0.5Paから2KPa位です。これは中真空領域に該当し、この領域での測定によく使用されています。この中真空領域は油回転真空ポンプを使用して到達できる真空状態であり、例えばフロンガス吸引等の測定時の計測に使われます。

また、理化学実験を行う際に真空状態を作る際や真空蒸着、凍結乾燥、医療用機器、分析機、レーザー応用装置、真空排気装置、電子顕微鏡の真空パック等の測定にも使われています。

ピラニ真空計の原理

ピラニ真空管の構成は、既に述べたように測定子とコントローラから構成されます。測定子内にはプラチナ(白金)製の極細の線が張ってあり、このプラチナ線に電力を加え温度を200度程度に加熱します。このプラチナ線に空気がぶつかるとプラチナ線から熱を奪いプラチナ線の温度を200度に保つためにコントローラはより多くの電力をプラチナ線へ与えます。逆にプラチナ線にぶつかる空気がなければプラチナ線の温度は少ない電力でも200度を保持できます。

この様に、測定環境内の空気量によってコントローラから測定子内にあるプラチナ線へ供給する電力量が変化します。この電力量を測定することにより測定環境内の空気の量、すなわち真空度が計測出来ることになります。

また、ピラニ真空管の精度を保つためにはプラチナ線の管理が重要になります。プラチナ線は通電を繰り返すことにより消耗し、新品時に比べ200度にするためにより多くの電力を必要にするようになるため定期的な交換が必要です。また、ゴミの付着なども測定精度に影響を及ぼすため定期的な清掃も必要になります。

参考文献
http://www.nucleng.kyoto-u.ac.jp/people/ikuji/edu/vac/chap3/pirani.html

ピラニ真空計のメーカー情報

ピラニ真空計のメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 株式会社アルバック
  2. 2 キャノンアネルバ株式会社
  3. 3 フルテック株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 インフィコン株式会社
  2. 2 若井田理学株式会社
  3. 3 株式会社ミラプロ

歴史のある会社

  1. 1 入江株式会社
  2. 2 佐藤真空株式会社
  3. 3 フルテック株式会社

ピラニ真空計のメーカー11社一覧


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