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【2021年版】真空ポンプ4選 / メーカー30社一覧

真空ポンプのメーカー30社・56製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


真空ポンプとは

真空ポンプ

真空ポンプは、装置や容器から空気を排出し、真空にするための装置になります。

真空ポンプは、ポンプ、排気口、吸気口で構成されています。ポンプには、真空にするための仕組みが多く開発されており、真空にする気圧の度合いや、真空に到達するまでの時間、使用する温度環境において、適切に選定する必要があります。

油を使用するかどうかで、ドライポンプやウェットポンプに分けられます。

真空ポンプの使用用途

真空ポンプは、医療機器や医療機器の製造過程、食品工場、電気機器、半導体の製造過程などで使用されます。

真空ポンプは10種類以上の原理が開発されており、それぞれの特性を理解して適切に選定する必要があります。

真空ポンプの使用例を紹介します。

  • 歯科医療時の唾液の吸引機
  • 魔法瓶における真空部の作成
  • 半導体プロセスにおけるプラズマ使用時の真空環境作成
  • 食品梱包材の接着時
  • 理化学研究機器用の真空源(エバポレータ、ろ過、真空乾燥器、デシケータ、等)
  • 工場における生産設備用大容量真空ポンプ

真空ポンプの原理

真空ポンプの動作原理について説明します。
真空ポンプは使用するポンプによって分類できます。その中でも代表的な、ロータリー真空ポンプ、拡散真空ポンプ、振動ピストン型真空ポンプについて説明します。

ロータリー真空ポンプ

ロータリー真空ポンプは、回転するローターとベーンが吸気口から吸入した空気をかき出すようにして排気する真空ポンプになります。ベーンはスプリングがついており、気密性を高めています。

拡散真空ポンプ

拡散真空ポンプは、ボイラーとジェットノズル、凝縮機で構成されています。ボイラーで加熱して蒸気になった油をジェットノズルで噴射して、ポンプ内の気圧を高めて空気を排出します。上記になった油は凝縮器で液体の油となり再利用されます。

振動ピストン型真空ポンプ

振動ピストン型真空ポンプは、偏心回転するピストンによって、空気をかき出すようにして排気する真空ポンプになります。原理上、低真空状態が限界になりますが、メンテナンスが容易です。

ダイアフラムポンプ

ダイヤフラムポンプ(膜ポンプ)とは、ゴム、樹脂、金属といった、素材から成るダイアフラムの往復運動と逆止弁を組み合わせて流体を輸送するポンプです。

真空ポンプの種類

真空ポンプの選定では、到達真空度、排気時間、排気容量などを考慮してポンプの種類を決定します。

真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、それぞれに合った真空ポンプがあります。

低真空用では、ダイアフラム型、揺動ピストン型、回転翼型などがあります。

ダイアフラム型は摺動部がないのでクリーンな真空を得ることができます。揺動ピストン型は構造がシンプルでメンテナンスが容易です。回転翼型は大きな排気速度を得ることができます。

中真空用では、スクロール型、油回転型などがあります。

スクロール型は一般的に2段圧縮のため低振動、低騒音です。油回転型は名前の通り、油により潤滑、密封を行っているため、効率が良く、圧力の安定性が良いポンプです。

高真空用では、2つのローターを回転させて吸引、圧縮する「メカニカルブースター型」、多段のメカニカルブースターポンプを一体化した「多段ルーツ型」、構造がシンプルで排気速度が大きい「油拡散型」などがあります。更に超高真空用と呼ばれるものにターボ分子ポンプやクライオポンプなどがあります。

このように様々な種類の真空ポンプがあるため、その特徴や特性を良く理解し、用途に合ったものを選択することが必要です。

真空ポンプの使い方

真空を使用した設備では、到達真空度、排気時間を考慮して真空ポンプを選定します。

しかし、一般的に真空度が上がると排気速度が遅くなること、高真空用ポンプの中には大気圧状態では使用できないものがあることから、「低真空で排気速度の速いポンプ」と「高真空のポンプ」、2種類のポンプを切り替えて併用することで、高真空でもある程度の排気速度が得られます。

例としては、油回転型で低真空領域まで真空引き(粗引きとも言う)し、その後、メカニカルブースターポンプに切り替えて高真空まで真空引き(本引きとも言う)する方法です。

その他、2種類の真空ポンプを連結したタイプもあり、中低真空用ポンプを介することで大気圧でも高真空用ポンプを使用できるようにしています。

参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/56/6/56_13-LC-014/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_657/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_670/_pdf
https://ulvac-kiko.com/support/pump_types.html

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真空ポンプのメーカー情報

真空ポンプのメーカー30社一覧


株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパンの真空ポンプ
防爆型・耐薬品性真空ポンプ LABOPORTシリーズ N820G
・エバポレータ、ろ過、脱気/脱泡、乾燥用途に最適。
・標準仕様品にて防爆規格(IECEx/ATEX)に対応し可燃性ガスの取り扱いが可能。
・排気速度調整機能を標準搭載(10~20L/min:N820G、17~34L/min:N840G)。
・極めて優れた耐薬品性により酸・アルカリ・有機溶媒に対応。
・驚異の長寿命・高耐久性。
・湿気の多いガスに対し真空度を維持しつつ運転可能。

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真空ポンプのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 株式会社島津製作所
  2. 2 三浦工業株式会社
  3. 3 Pfeiffer Vacuum GmbH

設立年の新しい会社

  1. 1 エドワーズ
  2. 2 クロダニューマティクス株式会社
  3. 3 シュマルツ株式会社

歴史のある会社

  1. 1 株式会社島津製作所
  2. 2 Pfeiffer Vacuum GmbH
  3. 3 アネスト岩田株式会社

真空ポンプのカタログ一覧(8件)

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株式会社アルバックのカタログ

Yuh Bang Industrial Co., Ltd.のカタログ



真空ポンプ4選

防爆型・耐薬品性真空ポンプ N820G

株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン 防爆型・耐薬品性真空ポンプ N820G 画像出典: 株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン公式サイト

特徴

LABOPORT N820Gは、100%オイルフリーのダイアフラム式真空ポンプです。気体の移送・排気・圧縮をオイルの混入なしに行うことができます。

腐食性の高い気体の取り扱いに適しており、ヨーロッパ防爆規格(ATEX)に準拠しているので、可燃性の気体も安全に扱うことができます。容易なメンテナンスが可能であり、ユーザにて消耗品の交換が行えます。

エバポレータ、脱気/脱泡、デシケータ、ろ過などの幅広い研究用途に適しています。

株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパンの会社概要

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インバーター式真空ポンプ BluLineシリーズ

株式会社スペック・ジャパン インバーター式真空ポンプ BluLineシリーズ 画像出典: 株式会社スペック・ジャパン公式サイト

特徴

スペック・ジャパン社のスペックBluLineシリーズは、インバーターを搭載した水封式真空ポンプです。

BluLineシリーズの特徴として、設定真空度に到達した際に、圧力センサーが真空度を検知しインバーターにフィードバックすることで自動的にポンプの回転数を減速してくれます。これにより真空ポンプの動力を調整することで、効率的により少ない電力で稼働させることができます。

特に、水分を大量に含むようなガスを吸引する場合は、BluVac水封式真空ポンプユニットを使用します。BluVacは、セパレタータンクが搭載されており、最大12(m3/h)の水を処理することができます。BluVacの使用例としては、樹脂窓枠の押出成形では大量の水分を含んだガスを吸引などがあります。

株式会社スペック・ジャパンの会社概要

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要修正 VCK0101はVPシリーズ 100Vではなく、VCKシリーズ 100Vとなります

日東工器株式会社 要修正 VCK0101はVPシリーズ 100Vではなく、VCKシリーズ 100Vとなります 画像出典: 日東工器株式会社公式サイト

特徴

VCK0101は、電磁駆動ダイアフラム方式のコンプレッサーです。

高性能永久磁石が組み込まれており、電磁石と磁石による吸引、反発により振動子を往復運動させダイアフラムを動かすことで、圧力を発生させます。

小型、高効率、低作動音が電磁駆動ダイアフラム方式ならではの特徴であり,さらに無給油構造のため、クリーンな空気を供給できます。

エアマッサージ器、エアベッド、観賞用水槽、理化学機器などの各装置に組み込むエア源として最適です。

日東工器株式会社の会社概要

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DP-X3シリーズ DC12V PMW制御能

日東工器株式会社 DP-X3シリーズ DC12V PMW制御能 画像出典: 日東工器株式会社公式サイト

特徴

AC0102は、リニア駆動フリーピストン方式を採用しており、産業用、民生用機器組み込み用圧縮器として最適です。

リニア駆動フリーピストン方式ならではの、小型軽量、低振動、低作動音、低消費電力、オイルレス構造のため給油が不要でクリーン、かつメンテナンスが容易、長寿命といった利点があります。

モーターと圧縮部が一体となったシリンダ内をピストンのみが、電磁石の吸引力とピストンの復元力により電源周波数に応じてスムーズに復運動を行います。

日東工器株式会社の会社概要

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真空ポンプの56製品一覧

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