小型真空ポンプについての概要、用途、原理などをご説明します。また、小型真空ポンプのメーカー13社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。小型真空ポンプ関連企業の2022年7月注目ランキングは1位:株式会社日本ピスコ、2位:日精オーバル株式会社、3位:株式会社アンレットとなっています。
小型真空ポンプと関連するカテゴリ
小型真空ポンプは、密閉された容器(チャンバー)内部から空気を排気して、容器内に真空状態を作り出すための装置です。
小型真空ポンプの場合、排気速度は200 L/min程度のものが多く、典型的な到達圧力は0.1 Paから10 Pa程度に及びます。
さらなる高真空環境を得るための粗引きポンプとして用いられたり、低真空下で操作可能な各種分析機器や理化学機器において使用されたりします。
種類にも様々で、油回転ポンプやドライポンプ、ダイアフラムポンプなど、原理や使用条件などに応じて選ぶことができます。
小型真空ポンプは、0.1 Pa程度の真空度やさらなる高真空環境を必要とする分析機器や実験装置に使用されます。
例えば、電子顕微鏡やX線分析、質量分析装置、ガスクロマトグラフィーなどでは真空環境を必要とするため、小型真空ポンプが使用されます。
また半導体製造の場合、スパッタや真空蒸着、CVDなどにより薄膜形成するために真空環境が必要とされます。
その他にも食品加工の場合、真空包装や真空パックなどを行う際には小型真空ポンプが活用されています。
小型真空ポンプには、油回転ポンプやドライポンプ、ダイアフラムポンプなどの種類があります。ここではそれぞれのポンプの原理について概説します。
油回転ポンプは内部のシリンダに組み込まれた回転体(ロータ)に2枚の羽根(ベーン)が取り付けられています。
シリンダ内には吸気口からガスが取り込まれ、ロータの回転によって圧縮されます。圧縮されたガスは排気口から大気へと排出されます。
再び吸気口から取り込まれたガスが圧縮過程を経て排出されることで、徐々に高い真空環境を得ることができます。
オイルはベアリングの潤滑や、シリンダ内のシール性を高めるために機能します。
ドライポンプは油や液体を使用しないクリーンな真空ポンプです。
油回転ポンプと同様にロータが回転し、ガスを圧縮・排気する仕組みが代表的ですが、ロータを多段にし、シール構造を工夫するなどして排気性能を高めています。
ポンプシャフトと呼ばれるピストンが往復運動することにより、ダイアフラム(隔膜)を上下させ、気体を吸入、排出します。
このとき気体の逆流を防ぐために逆止弁が使用されます。油や液体を使用しないため、クリーンな真空を得られることが特徴です。
参考文献
https://www.ulvac-es.co.jp/categories/vacuum-pump/small-vacuum-pump/
https://www.ulvac-es.co.jp/component-guide/selection/vacuum-pump/small-oil-rotary-pump/
http://www.mekatoro.net/mechatro_parts/vol3/pdf/P01-235.html
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株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
企業の並び替え
2022年7月の注目ランキングベスト10
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社日本ピスコ | 11.8% |
2 | 日精オーバル株式会社 | 9.8% |
3 | 株式会社アンレット | 9.8% |
4 | アルバック機工株式会社 | 9.8% |
5 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 9.8% |
6 | 佐藤真空株式会社 | 9.8% |
7 | 株式会社ニクニ | 7.8% |
8 | 株式会社スペック・ジャパン | 7.8% |
9 | 三弘エマテック株式会社 | 5.9% |
10 | 株式会社サンプラテック | 5.9% |
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