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【2020年版】真空計 メーカー1社・0製品一覧

真空計のメーカー1社・0製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


真空計とは

真空計とは、ある空間内の真空度を測定するためのセンサーであり、その目的によって分圧真空計と全圧真空計に二分されます。

また、計測手法も多数多様であり、その違いによって計測可能な真空度のレンジにも差があります。

真空計の使用用途

真空空間には水分を含めた不純物が限りなく少なくなるため、高清浄度が必要な製造現場ではよく真空空間が活用されます。

その中でも真空到達度管理が必要なチャンバーや石英管などに接続された流体回路中へ真空計は設置されます。

主には半導体製造装置のプラズマエッチング空間や、冶金、有機合成などの実験設備に設置されることが多いです。

また、イオンビーム装置や蒸着装置など、対象物表面への加工用途など表面清浄度が求められる場面でも使用されます。

真空計の原理

真空計の種類と測定原理は多岐にわたりますが、基本概念としてはごく少量存在する気体分子の運動量をうまく測定することで、空間内の気体密度および真空度へと換算しています。

ここではごく一般的に普及しているピラニー真空計の原理について説明します。

ピラニー真空計は電気抵抗型の真空計であり、電流を流した白金線へ気体が衝突する際に消失する熱エネルギーから電流を算出し、その値から圧力を逆算します。

この微小圧力がそのまま真空度に相当するという仕組みです。

ピラニー真空計も電流を一定に制御するか温度を一定に制御するかによって二つに分類されます。

このように、測定誤差をどこに落とし込むかによって、真空計の設計はさまざまです。

真空計の選び方

まずは分圧真空計なのか全圧真空計なのかを決めます。

個別の気体のみの真空度を測定する場合は分圧真空計を、空間内の真空度を単純に計測したい場合は全圧真空計を選定します。

また、各種真空計にも種類が複数存在するため、計測したい目的の真空空間の真空度によって選定する必要があります。

最終真空到達度を保証したい場合は、1つの真空計で十分ですが、真空ポンプによる排気速度などのふるまいを知りたい場合は、複数の真空度を設置することが必要です。

参考文献
https://www.shincron.co.jp/technical/device3-4.html

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