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神港精機株式会社
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株式会社ミラプロ
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大亜真空株式会社
佐藤真空株式会社
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【2021年版】真空計 メーカー11社・6製品一覧

真空計のメーカー11社・6製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


真空計とは

真空計とは、ある空間内の真空度を測定するためのセンサーであり、その目的によって分圧真空計と全圧真空計に二分されます。

また、計測手法も多数多様であり、その違いによって計測可能な真空度のレンジにも差があります。

真空計の使用用途

真空空間には水分を含めた不純物が限りなく少なくなるため、高清浄度が必要な製造現場ではよく真空空間が活用されます。

その中でも真空到達度管理が必要なチャンバーや石英管などに接続された流体回路中へ真空計は設置されます。

主には半導体製造装置のプラズマエッチング空間や、冶金、有機合成などの実験設備に設置されることが多いです。

また、イオンビーム装置や蒸着装置など、対象物表面への加工用途など表面清浄度が求められる場面でも使用されます。

真空計の原理

真空計の種類と測定原理は多岐にわたりますが、基本概念としてはごく少量存在する気体分子の運動量をうまく測定することで、空間内の気体密度および真空度へと換算しています。

ここではごく一般的に普及しているピラニー真空計の原理について説明します。

ピラニー真空計は電気抵抗型の真空計であり、電流を流した白金線へ気体が衝突する際に消失する熱エネルギーから電流を算出し、その値から圧力を逆算します。

この微小圧力がそのまま真空度に相当するという仕組みです。

ピラニー真空計も電流を一定に制御するか温度を一定に制御するかによって二つに分類されます。

このように、測定誤差をどこに落とし込むかによって、真空計の設計はさまざまです。

真空計の選び方

まずは分圧真空計なのか全圧真空計なのかを決めます。

個別の気体のみの真空度を測定する場合は分圧真空計を、空間内の真空度を単純に計測したい場合は全圧真空計を選定します。

また、各種真空計にも種類が複数存在するため、計測したい目的の真空空間の真空度によって選定する必要があります。

最終真空到達度を保証したい場合は、1つの真空計で十分ですが、真空ポンプによる排気速度などのふるまいを知りたい場合は、複数の真空度を設置することが必要です。

デジタル

真空計は従来まではアナログが主流でしたが、近年はデジタルバージョンの真空計も登場しています。
アナログの真空計には、水銀やガラスが使われていましたが、デジタル式ではそれらを使用することなく計測結果を表示することができます。
これによって、環境に優しくかつガラスの破片による事故などを防ぐことにもつながっています。
特徴としては、表示にデジタルLEDを使用していること、計算用のソフトウェアが搭載されていること、モバイルバッテリーで駆動することができるので持ち運びが可能であることなどが挙げられます。

ペニング真空計

ぺニング真空計と呼ばれるタイプの真空計があります。
ペニング真空計とは、真空中での放電現象を利用して、中領域から高領域での圧力を測定することができる真空計です。
特徴としては、定量性があることや耐久性に優れていることが挙げられます。
気体の種類によって感度が大きく変わります。
回路構成が簡単で、センサヘッドが長寿命なことから工業計器として広く利用されています。
永久磁石を用いて外部から1000G程の磁場を印加し、電子の飛程を長くさせることで放電を持続させています。
欠点としては、ペニング放電は不安定になることがあるため、あまり精度の良い測定が難しいこと、表面の汚れが強いと陰極からの電子放出量が少なくなり放電しなくなること、高真空の状態になると放電を開始させることが難しいことなどがあります。

利用領域

真空計の利用領域としては、バイオ領域や半導体領域が主に挙げられます。
隔膜式の真空計(ダイアフラムの両側に圧力差を加え、その時に生じる膜の変形から圧力を測定する)は、高温で腐食性の高い環境下でも高精度な圧力測定が可能なため、バイオ領域などで主に使用されています。
その他にも真空下でプロセスを行う必要のある半導体製造プロセス用の真空計としてや、凍結乾燥装置や滅菌装置などの医薬品の製造などにも利用されています。

参考文献
https://www.shincron.co.jp/technical/device3-4.html
https://www.irie.co.jp/products/vacuumgage-nmv/
http://www.nucleng.kyoto-u.ac.jp/people/ikuji/edu/vac/chap3/penning.html
https://www.ipros.jp/cg1/%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E8%A8%88/
http://jvia.gr.jp/glossary/%E3%83%9A%E3%83%8B%E3%83%B3%E3%82%B0%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E8%A8%88-penning-gauge/
https://www.horiba.com/jp/horiba-stec/element-technology/what-is-a-capacitancemanometer/

真空計のメーカー情報

真空計のメーカー11社一覧


真空計のメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 株式会社ミラプロ
  2. 2 芝浦エレテック株式会社
  3. 3 神港精機株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 VISTA株式会社
  2. 2 インフィコン株式会社
  3. 3 株式会社パスカル

歴史のある会社

  1. 1 佐藤真空株式会社
  2. 2 大亜真空株式会社
  3. 3 株式会社岡野製作所

真空計の6製品一覧

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