超音波工業株式会社
芝浦メカトロニクス株式会社
株式会社高田工業所
株式会社荏原製作所
株式会社東京精密
株式会社日立パワーソリューションズ
株式会社日立ハイテク
株式会社堀場製作所
株式会社ニューフレアテクノロジー
株式会社ニコン
株式会社ディスコ
株式会社ダルトン

【2022年版】半導体製造装置5選 / メーカー45社一覧

半導体製造装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、半導体製造装置のメーカー45社一覧企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。半導体製造装置関連企業の2022年11月注目ランキングは1位:株式会社荏原製作所、2位:東京エレクトロン、3位:芝浦メカトロニクス株式会社となっています。

目次

半導体製造装置と関連するカテゴリ

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半導体製造装置のカタログ一覧はこちら
株式会社東京精密の半導体製造装置のカタログ
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オカノ電機株式会社の半導体製造装置のカタログ
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特許機器株式会社の半導体製造装置のカタログ
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株式会社ニューメタルス エンド ケミカルス コーポレーションの半導体製造装置のカタログ
株式会社イー・スクエアの半導体製造装置のカタログ
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テルモセラ・ジャパン株式会社の半導体製造装置のカタログ
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テルモセラ・ジャパン株式会社の半導体製造装置のカタログ
CKD株式会社の半導体製造装置のカタログ

企業

株式会社東京精密 オカノ電機株式会社 特許機器株式会社 株式会社ニューメタルス エンド ケミカルス コーポレーション 株式会社イー・スクエア テルモセラ・ジャパン株式会社 CKD株式会社 株式会社MGMT インテックス株式会社

半導体製造装置のメーカー45社一覧

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

企業の並び替え

  • 標準
  • 従業員数順
  • 資本金の大きい順
  • 設立年古い順
  • 設立年新しい順
  • 上場企業順

半導体製造装置のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

注目ランキング導出方法について

注目ランキングは、2022年11月の半導体製造装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。

社員数の規模

  1. ニコン: 20,190人
  2. 荏原製作所: 17,080人
  3. 東京エレクトロン: 14,668人

設立年の新しい会社

  1. SPPテクノロジーズ: 2011年
  2. ニューフレアテクノロジー: 2002年
  3. 日新イオン機器: 1999年

歴史のある会社

  1. 荏原製作所: 1912年
  2. ニコン: 1917年
  3. 日新電機: 1917年

半導体製造装置のカタログ一覧(25件)

Metoreeに登録されている半導体製造装置が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。



株式会社東京精密のカタログ

ChaMPのカタログ

ChaMP

半導体製造装置


小型CMP装置のカタログ

小型CMP装置

半導体製造装置


オカノ電機株式会社のカタログ

特許機器株式会社のカタログ

株式会社ニューメタルス エンド ケミカルス コーポレーションのカタログ

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テルモセラ・ジャパン株式会社のカタログ

CKD株式会社のカタログ

株式会社MGMTのカタログ

インテックス株式会社のカタログ

半導体工場用カタログのカタログ

半導体工場用カタログ

半導体製造装置




半導体製造装置5選

株式会社日立ハイテク
コンダクターエッチング装置 9000シリーズ

コンダクターエッチング装置 9000シリーズ 画像出典: 株式会社日立ハイテク公式サイト

特徴

9種類までのチャンバーを選択して利用できる、高機能で拡張性に優れた半導体エッチング装置です。

ダブルパターニングや3D構造、新規材料に対する後処理や保護膜形成など、高精度が求められるプロセスに対応できるのが特徴です。

マイクロ波ECR方式チャンバーが選択でき、ハーフミクロン単位の微細加工にまで対応しています。

低温エッチング技術、TM(Time Modulation)バイアス技術などを用いてチャンバー内をクリーンに保ち、量産性や安定した高品質を実現しています。

株式会社日立ハイテクの会社概要

  • 会社所在地: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
  • 会社サイト
  • 創業: 1947年
  • 従業員数: 11,903人
  • 資本金: 793,848,525円

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株式会社ニューフレアテクノロジー
マスク検査装置

マスク検査装置 画像出典: 株式会社ニューフレアテクノロジー公式サイト

特徴

半導体ウェハ上に均一な薄膜を形成できる半導体エピタキシャル成長装置で、SiCパワー半導体の生産に特化しています。

高速生産が特徴で、50µm/h以上の高速成膜と、ロボットでのウェハ高温搬送により、生産性を向上させています。

また大口径化を行い、150㎜ウェハの加工にまで対応しています。

ウェハ面内の温度差が2℃以下と安定した装置で、均一性が膜厚分布2%以下、ドーパント濃度4%以下と高速ながら高品質を確保しています。

株式会社ニューフレアテクノロジーの会社概要

  • 会社所在地: 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番1
  • 会社サイト
  • 創業: 2002年
  • 従業員数: 630人

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株式会社SCREENホールディングス
枚葉式洗浄装置SU-3300

枚葉式洗浄装置SU-3300 画像出典: 株式会社SCREENホールディングス公式サイト

特徴

半導体ウェハに薬液を吹きかけて洗う、枚葉式の半導体洗浄装置です。

最大300mmまでのウェハの洗浄が可能で、最大24チャンバを接続できる生産性の高さが特徴です。

薬液の温度、流量、吐出位置の制御や、チャンバ内の気流の制御、新乾燥技術の採用などにより、高精度な洗浄効果を出しつつ、脆弱な回路構造を保護して歩留まりを向上させています。

チャンバー内環境の均一化により、チャンバー間の洗浄能力差の低減も行っています。

株式会社SCREENホールディングスの会社概要

  • 会社所在地: 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1
  • 会社サイト
  • 創業: 1943年
  • 従業員数: 6,074人

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ダイトロン株式会社
外観検査装置

外観検査装置 画像出典: ダイトロン株式会社公式サイト

特徴

製造した半導体チップの寸法測定や傷検査などを自動で行える、外観検査装置です。

6面ステージ仕様で、多焦点撮像を行い、画像合成することで傷を判定しています。

高速、かつ長深度の測定が可能なのが特徴です。

1μm以下のエッジ欠陥や傷の検出ができ、±2umの検査再現性もあるため、高精度な外観検査ができます。

AIを導入することで多品種への対応も容易にでき、量産性の向上や検査工程の省人化が期待できます。

また装置導入前後のコンサルティング対応も行っているため、最適な検査が行えます。

ダイトロン株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 大阪府大阪市淀川区宮原4-6-11
  • 会社サイト
  • 創業: 1952年
  • 従業員数: 823人
  • 資本金: 22,708,560円

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キヤノンアネルバ株式会社
MRAM用スパッタリング装置

MRAM用スパッタリング装置 画像出典: キヤノンアネルバ株式会社公式サイト

特徴

半導体を簡単・高速に成膜できるスパッタリング装置で、不揮発メモリーMRAMのMTJ素子の形成に特化しています。

LRP(Low Pressure Remote Plasma Sputtering)スパッタ技術を採用し、通常のスパッタ圧力より一桁低い0.02Paでの低圧放電することで、±1%以下の優れた膜厚分布を実現しているのが特徴です。

基板サイズはφ300mmまで対応していて、研究開発や少量生産向けに利用できます。

キヤノンアネルバ株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1
  • 会社サイト
  • 創業: 1967年
  • 従業員数: 1,127人
  • 資本金: 1,800,000,000円

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