【2023年版】半導体製造装置5選 / メーカー48社一覧

目次

• 半導体製造装置とは？
• 半導体製造装置のメーカー48社一覧
• 半導体製造装置のカタログ20件一覧

Metoreeでは各社カタログを無料で一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。

企業

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    • 超音波工業株式会社 メーカー
      超音波ワイヤボンダ一覧

    • 会社サイト 創業: 1956年 従業員数: 194人 資本金: 100,000,000円 会社詳細

    • 住所: 東京都立川市柏町1-6-1
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    • 芝浦メカトロニクス株式会社 メーカー
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1939年 従業員数: 1,204人 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1
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    • 株式会社高田工業所 メーカー
      装置事業一覧

    • 会社サイト 上場(東証スタンダード) 創業: 1940年 従業員数: 1,480人 会社詳細

    • 住所: 福岡県北九州市八幡西区築地町1番1号
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    • 株式会社荏原製作所 メーカー
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1912年 従業員数: 17,080人 会社詳細

    • 住所: 東京都大田区羽田旭町11-1
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    • 株式会社東京精密 メーカー
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1949年 従業員数: 1,057人 会社詳細

    • 住所: 東京都八王子市石川町2968-2
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    • 株式会社日立パワーソリューションズ メーカー
      半導体デバイス製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1960年 従業員数: 5,040人 会社詳細

    • 住所: 東京都千代田区神田美土代町7番地 住友不動産神田ビル
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    • 株式会社堀場エステック メーカー
      製造工程一覧

    • 会社サイト 創業: 1974年 資本金: 1,478,000,000円 会社詳細

    • 住所: 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11-5
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    • 株式会社ニューフレアテクノロジー メーカー
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 2002年 従業員数: 630人 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番1
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    • 株式会社ニコン メーカー
      露光装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1917年 従業員数: 4,174人 会社詳細

    • 住所: 東京都港区港南2-15-3品川インターシティC棟
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    • 株式会社ディスコ メーカー
      精密加工装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1937年 従業員数: 4,467人 会社詳細

    • 住所: 東京都大田区大森北 2丁目13番11号
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    • 株式会社ジェイテクトサーモシステム メーカー
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1967年 会社詳細

    • 住所: 愛知県天理市嘉幡町229番地
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    • 株式会社カイジョー メーカー
      製品情報＜ボンダー事業＞一覧

    • 会社サイト 創業: 1948年 従業員数: 280人 会社詳細

    • 住所: 東京都羽村市栄町3-1-5
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    • 株式会社オーク製作所 メーカー
      半導体用露光装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1968年 従業員数: 474人 資本金: 588,400,000円 会社詳細

    • 住所: 東京都町田市小山ヶ丘3-9-6
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    • 株式会社アルバック メーカー
      装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1952年 従業員数: 1,361人 会社詳細

    • 住所: 神奈川県茅ヶ崎市荻園2500番地
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    • 株式会社SCREENホールディングス メーカー
      枚葉式洗浄装置SU-3300

    • 会社サイト 創業: 1943年 従業員数: 6,074人 会社詳細

    • 住所: 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1
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    • 東京エレクトロン株式会社 メーカー
      半導体製造関連装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1963年 従業員数: 1,821人 会社詳細

    • 住所: 東京都赤坂5-3-1 赤坂Bizタワー
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    • 東レエンジニアリング株式会社 メーカー
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1960年 従業員数: 2,417人 会社詳細

    • 住所: 東京都中央区八重洲1丁目3番22号
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    • 日本電子株式会社 メーカー
      電子ビーム描画装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1949年 従業員数: 3,291人 会社詳細

    • 住所: 東京都昭島市武蔵野3丁目1番2号
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    • 日新電機株式会社 メーカー
      半導体製造用イオン注入装置

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1917年 従業員数: 2,058人 会社詳細

    • 住所: 京都府京都市右京区梅津高畝町47番地
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    • 日新イオン機器株式会社 メーカー
      半導体製造用イオン注入装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1999年 従業員数: 266人 資本金: 1,500,000,000円 会社詳細

    • 住所: 京都府京都市南区久世殿城町575番地
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    • 大電株式会社 メーカー
      国内シェアNO,1　大電のロボットケーブル

    • 会社サイト 創業: 1951年 従業員数: 460人 会社詳細

    • 住所: 福岡県久留米市南二丁目15番1号
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    • 住友精密工業株式会社 メーカー
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証スタンダード) 創業: 1961年 従業員数: 1,096人 会社詳細

    • 住所: 兵庫県尼崎市扶桑町1番10号
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    • レーザーテック株式会社 メーカー
      半導体関連装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1960年 従業員数: 402人 資本金: 931,000,000円 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-10-1
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    • ヤマハファインテック株式会社 メーカー
      高周波特性測定機一覧

    • 会社サイト 創業: 1987年 従業員数: 350人 会社詳細

    • 住所: 静岡県浜松市南区青屋町283
• • • ダイキンファインテック株式会社 メーカー
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1956年 従業員数: 265人 資本金: 66,000,000円 会社詳細

    • 住所: 奈良県大和郡山市今国府町6番2号
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    • タカキ製作所株式会社 メーカー
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1952年 従業員数: 110人 資本金: 20,000,000円 会社詳細

    • 住所: 大分県大分市下郡3113-7
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    • スピードファム株式会社 メーカー
      Single Side Polisher/Lapper一覧

    • 会社サイト 創業: 1971年 従業員数: 121人 資本金: 99,000,000円 会社詳細

    • 住所: 神奈川県綾瀬市大上4-2-37
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    • サムコ株式会社 メーカー
      製品情報一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1979年 従業員数: 173人 資本金: 1,663,687,000円 会社詳細

    • 住所: 京都府京都市伏見区竹田藁屋町36番地
• • • キヤノンマシナリー株式会社 メーカー
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1972年 従業員数: 830人 会社詳細

    • 住所: 滋賀県草津市南山田町85 番地
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    • ウシオ電機株式会社 メーカー
      露光装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1964年 従業員数: 1,697人 会社詳細

    • 住所: 東京都千代田区丸の内1-6-5
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    • CKD株式会社 メーカー
      ファインシステム機器　TOP

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1943年 従業員数: 2,431人 会社詳細

    • 住所: 愛知県小牧市応時2-250
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    • 株式会社日立ハイテク メーカー 商社・代理店
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1947年 従業員数: 11,903人 資本金: 793,848,525円 会社詳細

    • 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
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    • 株式会社ダルトン メーカー 商社・代理店
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1939年 従業員数: 361人 資本金: 1,387,182,500円 会社詳細

    • 住所: 東京都中央区築地5丁目6-10 浜離宮パークサイドプレイス
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    • ニデックコンポーネンツ株式会社 メーカー 商社・代理店
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1967年 従業員数: 874人 会社詳細

    • 住所: 東京都新宿区西新宿7-5-25 西新宿プライムスクエア
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    • ダイトロン株式会社 メーカー 商社・代理店
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1952年 従業員数: 823人 資本金: 22,708,560円 会社詳細

    • 住所: 大阪府大阪市淀川区宮原4-6-11
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    • 株式会社エリオニクス
      微細加工装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1975年 資本金: 270,000,000円 会社詳細

    • 住所: 東京都八王子市元横山町3-7-6
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    • 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 2006年 資本金: 310,000,000円 会社詳細

    • 住所: 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1
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    • 大宮工業株式会社
      半導体・部品製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1975年 従業員数: 224人 資本金: 90,000,000円 会社詳細

    • 住所: 広島県福山市大門町5 丁目6番45号
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    • 大倉電気株式会社
      半導体製造機器一覧

    • 会社サイト 創業: 1933年 従業員数: 123人 資本金: 10,000,000円 会社詳細

    • 住所: 埼玉県坂戸市にっさい花みず木1-4-4
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    • テクノアルファ株式会社
      半導体製造装置・材料一覧

    • 会社サイト 上場(東証スタンダード) 創業: 1989年 会社詳細

    • 住所: 東京都品川区西五反田2-27-4 明治安田生命五反田ビル2F
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    • ジャパンクリエイト株式会社
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1963年 従業員数: 40人 資本金: 30,000,000円 会社詳細

    • 住所: 埼玉県所沢市林1丁目203番地4
• • • イリオス株式会社
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 2009年 資本金: 3,000,000円 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市青葉区すすき野2丁目7番地6
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    • アプライドマテリアルズジャパン株式会社
      半導体一覧

    • 会社サイト 会社詳細

    • 住所: 東京都港区海岸3丁目20−20
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    • SPPテクノロジーズ株式会社
      成膜／熱処理一覧

    • 会社サイト 創業: 2011年 従業員数: 170人 会社詳細

    • 住所: 東京都千代田区大手町一丁目3番2号 経団連会館15階
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    • ズース・マイクロテック株式会社
      製品とソリューション一覧

    • 会社サイト 創業: 1988年 会社詳細

    • 本社: ドイツ
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    • LAM RESEARCH CORPORATION
      OUR PRODUCTS一覧

    • 会社サイト 創業: 1980年 会社詳細

    • 本社: アメリカ
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    • KLA Corporation.
      Chip Manufacturing一覧

    • 会社サイト 創業: 1975年 従業員数: 10,400人 会社詳細

    • 本社: アメリカ
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    • キヤノンアネルバ株式会社 商社・代理店
      半導体製造装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1967年 従業員数: 1,127人 資本金: 1,800,000,000円 会社詳細

    • 住所: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1

株式会社日立ハイテク
コンダクターエッチング装置 9000シリーズ

特徴

9種類までのチャンバーを選択して利用できる、高機能で拡張性に優れた半導体エッチング装置です。

ダブルパターニングや3D構造、新規材料に対する後処理や保護膜形成など、高精度が求められるプロセスに対応できるのが特徴です。

マイクロ波ECR方式チャンバーが選択でき、ハーフミクロン単位の微細加工にまで対応しています。

低温エッチング技術、TM（Time Modulation）バイアス技術などを用いてチャンバー内をクリーンに保ち、量産性や安定した高品質を実現しています。

株式会社日立ハイテクの会社概要

• 会社所在地: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
• 会社サイト
• 創業: 1947年
• 従業員数: 11,903人
• 資本金: 793,848,525円

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株式会社ニューフレアテクノロジー
マスク検査装置

特徴

半導体ウェハ上に均一な薄膜を形成できる半導体エピタキシャル成長装置で、SiCパワー半導体の生産に特化しています。

高速生産が特徴で、50µm/h以上の高速成膜と、ロボットでのウェハ高温搬送により、生産性を向上させています。

また大口径化を行い、150㎜ウェハの加工にまで対応しています。

ウェハ面内の温度差が2℃以下と安定した装置で、均一性が膜厚分布2%以下、ドーパント濃度4%以下と高速ながら高品質を確保しています。

株式会社ニューフレアテクノロジーの会社概要

• 会社所在地: 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番1
• 会社サイト
• 創業: 2002年
• 従業員数: 630人

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株式会社SCREENホールディングス
枚葉式洗浄装置SU-3300

特徴

半導体ウェハに薬液を吹きかけて洗う、枚葉式の半導体洗浄装置です。

最大300mmまでのウェハの洗浄が可能で、最大24チャンバを接続できる生産性の高さが特徴です。

薬液の温度、流量、吐出位置の制御や、チャンバ内の気流の制御、新乾燥技術の採用などにより、高精度な洗浄効果を出しつつ、脆弱な回路構造を保護して歩留まりを向上させています。

チャンバー内環境の均一化により、チャンバー間の洗浄能力差の低減も行っています。

株式会社SCREENホールディングスの会社概要

• 会社所在地: 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1
• 会社サイト
• 創業: 1943年
• 従業員数: 6,074人

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ダイトロン株式会社
外観検査装置

特徴

製造した半導体チップの寸法測定や傷検査などを自動で行える、外観検査装置です。

6面ステージ仕様で、多焦点撮像を行い、画像合成することで傷を判定しています。

高速、かつ長深度の測定が可能なのが特徴です。

1μm以下のエッジ欠陥や傷の検出ができ、±2umの検査再現性もあるため、高精度な外観検査ができます。

AIを導入することで多品種への対応も容易にでき、量産性の向上や検査工程の省人化が期待できます。

また装置導入前後のコンサルティング対応も行っているため、最適な検査が行えます。

ダイトロン株式会社の会社概要

• 会社所在地: 大阪府大阪市淀川区宮原4-6-11
• 会社サイト
• 創業: 1952年
• 従業員数: 823人
• 資本金: 22,708,560円

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キヤノンアネルバ株式会社
MRAM用スパッタリング装置

特徴

半導体を簡単・高速に成膜できるスパッタリング装置で、不揮発メモリーMRAMのMTJ素子の形成に特化しています。

LRP（Low Pressure Remote Plasma Sputtering）スパッタ技術を採用し、通常のスパッタ圧力より一桁低い0.02Paでの低圧放電することで、±1％以下の優れた膜厚分布を実現しているのが特徴です。

基板サイズはφ300mmまで対応していて、研究開発や少量生産向けに利用できます。

キヤノンアネルバ株式会社の会社概要

• 会社所在地: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1
• 会社サイト
• 創業: 1967年
• 従業員数: 1,127人
• 資本金: 1,800,000,000円

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