ヤマハファインテック株式会社
ヴァイサラ株式会社
超音波工業株式会社
芝浦メカトロニクス株式会社
芝浦エレテック株式会社
株式会社東京精密
株式会社日立ハイテク
株式会社堀場製作所
株式会社ニューフレアテクノロジー
株式会社ニコン
株式会社ディスコ
株式会社ダルトン

【2021年版】半導体製造装置5選 / メーカー53社一覧

半導体製造装置のメーカー53社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。

目次

半導体製造装置のメーカー53社一覧

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

ヤマハファインテック株式会社の半導体製造装置
・高周波特性を高精度に全自動で測定できる革新的な装置
・5Gやミリ波対応のLCP・MPI・フッ素系高速伝送基板に最適
・ネットワークアナライザを基板量産ラインで使用可能に
・極めて高い繰り返し再現性で40GHz以上の高周波でも安定測定
・全個片の真値を収集し品質向上や製品開発、製品保証に活用

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ヴァイサラ株式会社の半導体製造装置
・半導体業界などの産業用途に最適な長期安定性と迅速な応答性!
・-80°Cまでの露点計測が可能
・長い校正間隔でメンテナンス費用を削減、結露に対する耐性

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半導体製造装置のメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 パナソニック株式会社
  2. 2 キヤノン株式会社
  3. 3 オムロン株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 SPPテクノロジーズ株式会社
  2. 2 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
  3. 3 株式会社ニューフレアテクノロジー

歴史のある会社

  1. 1 株式会社荏原製作所
  2. 2 日新電機株式会社
  3. 3 株式会社ニコン

半導体製造装置5選

株式会社日立ハイテク
コンダクターエッチング装置 9000シリーズ

コンダクターエッチング装置 9000シリーズ 画像出典: 株式会社日立ハイテク公式サイト

特徴

9種類までのチャンバーを選択して利用できる、高機能で拡張性に優れた半導体エッチング装置です。

ダブルパターニングや3D構造、新規材料に対する後処理や保護膜形成など、高精度が求められるプロセスに対応できるのが特徴です。

マイクロ波ECR方式チャンバーが選択でき、ハーフミクロン単位の微細加工にまで対応しています。

低温エッチング技術、TM(Time Modulation)バイアス技術などを用いてチャンバー内をクリーンに保ち、量産性や安定した高品質を実現しています。

株式会社日立ハイテクの会社概要

  • 会社所在地: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
  • 会社サイト
  • 創業: 1947年
  • 従業員数: 11,903人

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株式会社ニューフレアテクノロジー
マスク検査装置

マスク検査装置 画像出典: 株式会社ニューフレアテクノロジー公式サイト

特徴

半導体ウェハ上に均一な薄膜を形成できる半導体エピタキシャル成長装置で、SiCパワー半導体の生産に特化しています。

高速生産が特徴で、50µm/h以上の高速成膜と、ロボットでのウェハ高温搬送により、生産性を向上させています。

また大口径化を行い、150㎜ウェハの加工にまで対応しています。

ウェハ面内の温度差が2℃以下と安定した装置で、均一性が膜厚分布2%以下、ドーパント濃度4%以下と高速ながら高品質を確保しています。

株式会社ニューフレアテクノロジーの会社概要

  • 会社所在地: 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番1
  • 会社サイト
  • 創業: 2002年
  • 従業員数: 630人

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株式会社SCREENホールディングス
枚葉式洗浄装置SU-3300

枚葉式洗浄装置SU-3300 画像出典: 株式会社SCREENホールディングス公式サイト

特徴

半導体ウェハに薬液を吹きかけて洗う、枚葉式の半導体洗浄装置です。

最大300mmまでのウェハの洗浄が可能で、最大24チャンバを接続できる生産性の高さが特徴です。

薬液の温度、流量、吐出位置の制御や、チャンバ内の気流の制御、新乾燥技術の採用などにより、高精度な洗浄効果を出しつつ、脆弱な回路構造を保護して歩留まりを向上させています。

チャンバー内環境の均一化により、チャンバー間の洗浄能力差の低減も行っています。

株式会社SCREENホールディングスの会社概要

  • 会社所在地: 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る四丁目天神北町1番地の1
  • 会社サイト
  • 創業: 1943年
  • 従業員数: 6,074人

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ダイトロン株式会社
外観検査装置

外観検査装置 画像出典: ダイトロン株式会社公式サイト

特徴

製造した半導体チップの寸法測定や傷検査などを自動で行える、外観検査装置です。

6面ステージ仕様で、多焦点撮像を行い、画像合成することで傷を判定しています。

高速、かつ長深度の測定が可能なのが特徴です。

1μm以下のエッジ欠陥や傷の検出ができ、±2umの検査再現性もあるため、高精度な外観検査ができます。

AIを導入することで多品種への対応も容易にでき、量産性の向上や検査工程の省人化が期待できます。

また装置導入前後のコンサルティング対応も行っているため、最適な検査が行えます。

ダイトロン株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 大阪府大阪市淀川区宮原4-6-11
  • 会社サイト
  • 創業: 1952年
  • 従業員数: 823人

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キヤノンアネルバ株式会社
MRAM用スパッタリング装置

MRAM用スパッタリング装置 画像出典: キヤノンアネルバ株式会社公式サイト

特徴

半導体を簡単・高速に成膜できるスパッタリング装置で、不揮発メモリーMRAMのMTJ素子の形成に特化しています。

LRP(Low Pressure Remote Plasma Sputtering)スパッタ技術を採用し、通常のスパッタ圧力より一桁低い0.02Paでの低圧放電することで、±1%以下の優れた膜厚分布を実現しているのが特徴です。

基板サイズはφ300mmまで対応していて、研究開発や少量生産向けに利用できます。

キヤノンアネルバ株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1
  • 会社サイト
  • 創業: 1967年
  • 従業員数: 1,127人

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