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真空ポンプについての概要、用途、原理などをご説明します。また、真空ポンプのメーカー112社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。真空ポンプ関連企業の2024年8月注目ランキングは1位:株式会社日本ピスコ、2位:株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン、3位:神港精機株式会社となっています。
真空ポンプと関連するカテゴリ
1993年~2019年に日本化薬株式会社医薬研究所にて医薬品の研究開発、各種生体試料の分析に従事。危険物取扱者、放射線取扱主任者として施設管理業務も担当。2019年に同業他社に転職、現在まで同様の業務を担当。専門書執筆・翻訳・校閲活動も行っている。>LinkedIn: h
真空ポンプは、装置や容器から空気を排出し、真空にするための装置です。真空ポンプは、ポンプ、排気口、吸気口で構成されています。ポンプには、真空にするための仕組みが多く開発されています。
真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、必要な真空度や、真空に到達するまでの時間、使用する温度環境を考慮して、使用する真空ポンプを適切に選定する必要があります。油を使用するかどうかで、ドライポンプとウェットポンプに分けられます。
真空ポンプは、医療機器や医療機器の製造過程、食品工場、電気機器、半導体の製造過程などで使用されます。また、真空を必要とする医療機器や理化学機器の補器としても使われます。真空ポンプは10種類以上の原理が開発されており、それぞれの特性を理解して適切に選定する必要があります。
真空ポンプの主な使用用途は以下の通りです。
真空ポンプを動作原理により分類し、そのうち代表的なものの動作原理を説明します。
油回転真空ポンプは、回転するローターなどの働きで吸入した空気を押し出すようにして排気する真空ポンプで、気密性を高めるために油を使うウェットポンプの総称です。ロータリー真空ポンプとも呼ばれます。
詳細な形式として、回転翼型油真空ポンプ、カム形油回転真空ポンプ、揺動ピストン型油回転真空ポンプなどがあります。回転翼、カム、ピストンに結合した揺動部と、空気と接する部位の形は異なりますが、いずれの形式でも、ローターの回転に伴って空気を排出することで真空を作ります。
油を使う以上、油の蒸気圧が真空の限界となりますが、油の働きで安定した性能を発揮でき、小型の装置で容易に中真空を得ることができます。
油拡散真空ポンプは、ボイラーとジェットノズル、凝縮機で構成されています。ボイラーで加熱して蒸気になった油をジェットノズルにより超音速で噴射し、ポンプ内の空気分子を排気口に押し出します。蒸気になった油は凝縮器で液体の油となり再利用されます。
回転翼型ドライ真空ポンプは、回転するローターとベーンが吸気口から吸入した空気をかき出すようにして排気する真空ポンプで、油を使わないものです。空気の逆流を防ぐことが出来ないため、低真空状態が限界になりますが、大きな排気速度を得ることができます。
揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、偏心回転軸に連動するピストンによって、空気を押し出すようにして排気する真空ポンプです。構造上、空気の逆流を防ぐことができないため、低真空状態が限界になりますが、メンテナンスが容易です。
ダイヤフラムポンプ( 膜ポンプ )とは、ゴム、樹脂、金属といった素材から成るダイアフラムの往復運動と逆止弁を組み合わせて流体を輸送するポンプです。真空ポンプとする場合、逆止弁があるため気密に油を用いる必要が無く、ドライポンプとすることができます。往復運動に伴い、真空にしたい側から空気を吸い込み、大気側に吐き出すことを繰り返して真空を作ります。
スクロール型ドライ真空ポンプは、渦巻型のステータとローターの運動の組み合わせによって排気するドライ真空ポンプです。渦巻の運動により、空気を中央に寄せて、中央部から排気します。
ターボ分子ポンプは、タービンの形をしたドライ真空ポンプです。タービン翼を分子の熱運動に近い速度で高速回転させ、タービン翼の傾きに応じた分子運動の偏りを作ることで排気を行います。タービン翼の高速回転を可能とするため、ある程度の真空中で使用する必要があり、他の真空ポンプと組み合わせて使われます。
真空ポンプの選定では、到達真空度、排気時間、排気容量などを考慮してポンプの種類を決定します。真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、それぞれに合った真空ポンプがあります。
低真空用では、ダイアフラム型ドライポンプ、揺動ピストン型ドライポンプ、回転翼型ドライポンプなどがあります。ダイアフラム型は回転翼型ドライポンプのような摺動部がないので煽動による微粒子が発生せず、クリーンな真空を得ることができます。揺動ピストン型は構造がシンプルでメンテナンスが容易です。回転翼型は大きな排気速度を得ることができます。
中真空用では、スクロール型、油回転型などがあります。スクロール型は多くの製品で2段圧縮により効率を確保しており、低振動、低騒音なものとなっています。油回転型は名前の通り、油により潤滑、密封を行っているため効率が良く、真空度の安定性が良いポンプです。
高真空用では、2つのローターを回転させて吸引、圧縮するルーツ型( メカニカルブースター )真空ポンプ、多段のルーツ型ポンプを一体化した多段ルーツ型真空ポンプ、構造がシンプルで排気速度が大きい油拡散型真空ポンプなどがあります。更に超高真空用と呼ばれるものにターボ分子ポンプやクライオポンプなどがあります。
このように様々な種類の真空ポンプがあるため、その特徴や特性を良く理解し、用途に合ったものを選択することが大切です。
真空を使用した設備では、到達真空度、排気時間を考慮して真空ポンプを選定します。しかし、一般的に真空度が上がると排気速度が遅くなること、高真空用ポンプの中には大気圧状態では使用できないものがあることから、真空ポンプ単独ではなく、組み合わせて使用する場合があります。
例えば、「低真空で排気速度の速いポンプ」と「高真空のポンプ」を切り替えて併用したり、同時使用したりすることで、高真空でもある程度の排気速度が得られます。
具体例としては、油回転型で低真空領域まで真空引き( 粗引き )し、その後、メカニカルブースターポンプに切り替えて高真空まで真空引き( 本引き )する方法が挙げられます。
また、2種類の真空ポンプを連結し、中低真空用ポンプを介することで大気圧でも高真空用ポンプを使用できるようにすることもあります。
油回転真空ポンプは、正しく使えば安定した性能を発揮しますが、オイルの管理が重要です。気体を吸引して真空をつくる性質上、どうしても吸引したものの中にある不純物( 水など )がオイルに混入してしまいます。このような不純物がオイルの性能を劣化させます。
ほとんどの油回転真空ポンプには、ガスバラストといって揮発性の成分を蒸発させる機能があるので、定期的にガスバラストを行うとよいでしょう。オイル量の日常点検、定期的なオイル交換も重要です。また、「オイルを汚染しやすい用途であるが安価なのでとりあえず油回転真空ポンプを設置していた」など、状況によっては近い性能のドライポンプに置き換えるなどの見直しも意義があるかもしれません。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/56/6/56_13-LC-014/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_657/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_670/_pdf
https://ulvac-kiko.com/support/pump_types.html
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
2024年8月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
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1 | 株式会社日本ピスコ |
4.6%
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2 | 株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン |
3.9%
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3 | 神港精機株式会社 |
3.3%
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4 | 株式会社荏原製作所 |
2.9%
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5 | 佐藤真空株式会社 |
2.5%
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6 | 株式会社アルバック |
2.5%
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7 | 株式会社アンレット |
2.5%
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8 | 樫山工業株式会社 |
2.3%
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9 | 芝浦メカトロニクス株式会社 |
2.3%
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10 | 株式会社浪速ポンプ製作所 |
2.1%
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注目ランキング導出方法について
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株式会社マキタの真空ポンプのレビュー
製品の品質への満足度
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購入した製品 充電式真空ポンプ VP180D レビュー日時: 2024年1月5日
レビューユーザー: 電気業界 個人事業主 | 会社従業員数1-10人
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個人で電気屋としてエアコン工事をする際に必要なために5年前に購入しました。製品の閲覧数をもとに算出したランキング
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品番 | 価格 | 到達真空度 | |||
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COBRA NC 0500 B 50Hz | 要見積もり | 0.01 hPa | ||
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COBRA NF 0750 A 50Hz | 要見積もり | 0.05 hPa | ||
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COBRA NF 0950 A 50Hz | 要見積もり | 0.01 hPa | ||
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COBRA NC 0100 B 50Hz | 要見積もり | 0.05 hPa | ||
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COBRA NC 0630 C 50Hz | 要見積もり | 0.01 hPa | ||
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COBRA NC 0600 C 50Hz | 要見積もり | 0.01 hPa | ||
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COBRA NC 0630 C VR 50Hz | 要見積もり | 25 hPa | ||
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COBRA NC 0630 C VR 60Hz | 要見積もり | 20 hPa | ||
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COBRA NC 1500 B VR 50Hz | 要見積もり | 20 hPa | ||
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COBRA NC 2000 B VR 50Hz | 要見積もり | 20 hPa | ||
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COBRA NC 2500 B 50Hz | 要見積もり | 1 hPa | ||
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COBRA DX 0950 A 50Hz | 要見積もり | 0.01 hPa | ||
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COBRA NS 0070 C 50Hz | 要見積もり | 0.03 hPa | ||
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COBRA NS 0160 C 50Hz | 要見積もり | 0.03 hPa | ||
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COBRA NS 0600 C 50Hz | 要見積もり | 0.01 hPa | ||
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COBRA NX 0450 A 50Hz | 要見積もり | 0.1 hPa | ||
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COBRA NX 0650 A 50Hz | 要見積もり | 0.1 hPa | ||
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COBRA BA 0100 C 50Hz | 要見積もり | 0.01 hPa | ||
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日本ブッシュ株式会社
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ドライスクリュー真空ポンプ COBRA Semiconドライスクリュー真空ポンプは、ソーラーモジュール、フラットパネル、半導体の製造、また工業用の各種コーティング用途など、要求が極めて厳しい...
品番 | 価格 | 到達真空度 | |||
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COBRA BC 0101 G 50Hz | 要見積もり | 0.01 hPa | ||
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COBRA BC 0101 G 60Hz | 要見積もり | 0.01 hPa | ||
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COBRA BC 0601 G 50Hz | 要見積もり | 0.003 hPa | ||
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COBRA BC 1001 G 50Hz | 要見積もり | 0.003 hPa | ||
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COBRA BC 1200 A 50Hz | 要見積もり | 0.003 hPa | ||
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COBRA DS 0080 G 50Hz | 要見積もり | 0.03 hPa | ||
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COBRA DS 0160 G 50Hz | 要見積もり | 0.03 hPa | ||
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COBRA DS 0600 E 50Hz | 要見積もり | 0.01 hPa | ||
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COBRA DS 0700 G 50Hz | 要見積もり | 0.003 hPa | ||
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COBRA DS 1000 G 50Hz | 要見積もり | 0.003 hPa | ||
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COBRA DS 2000 G 50Hz | 要見積もり | 0.003 hPa | ||
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COBRA DS 1200 A 50Hz | 要見積もり | 0.003 hPa | ||
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COBRA DS 1800 A 50Hz | 要見積もり | 0.003 hPa | ||
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COBRA DS 1800 A H 50Hz | 要見積もり | 0.003 hPa | ||
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COBRA DS 2141 A 50Hz | 要見積もり | 0.003 hPa | ||
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COBRA DS 2610 E 50Hz | 要見積もり | 0.001 hPa | ||
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COBRA DS 3010 F 50Hz | 要見積もり | 0.001 hPa | ||
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COBRA DS 3161 B 50Hz | 要見積もり | 0.001 hPa | ||
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COBRA DS 3181 B 50Hz | 要見積もり | 0.001 hPa | ||
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COBRA DS 5161 A 50Hz | 要見積もり | 0.001 hPa | ||
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COBRA DS 8161 F 50Hz | 要見積もり | 0.001 hPa | ||
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COBRA DS 8162 F 50Hz | 要見積もり | 0.001 hPa | ||
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アディクセン社I (アイ) シリーズ、ロータリーポンプ (旧アルカテル社製品) は、世界の様々な産業用途において、高い信頼と実績がある真空ポンプです。 ■特徴 ・排気速度は10~21立方メート...
CUTES CORPORATION
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■特徴 ・コントローラと電源はポンプに統合されています。 ・相互接続ケーブル/ケーブルダクトの必要はなく、ラックの設置も必要ありません。これにより、設置が簡単になり、システムコスト...
株式会社イワキ
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4.0 会社レビュー
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■パワフルな高真空を実現 インペラを2段にすることで、ポンプ内の真空度を高めています。全機種到達真空度は2.3kPaのパワフル仕様です。 ■水分吸引に適した水封式構造 水分を含んだ気体の吸...
CUTES CORPORATION
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■構造原理と応用 CV5シリーズ液体リング真空ポンプ。真空ポンプは単段の直接接続構造です。CV5シリーズは、液封式真空ポンプのインペラに直接接続されたモーターシャフトです。 ■動作原理と...
CUTES CORPORATION
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■特長 1. 高効率永久磁石同期モーター、省エネ安定性と効率性 2. 作業条件に応じて速度を調整し、自動制御とインテリジェントな制御監視動作を実現 3. 温度上昇制御に優れた真空装置パッケー...
ミヤコ産業株式会社
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■特徴 ・エアコンの新規据付に便利なセットです。 ・真空ゲージキットを接続した状態で真空ポンプケースに収納できます。
株式会社スペック・ジャパン
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概要 ■BluVacブルーバック真空ユニット ・異形押出を省エネ化 ・省エネは成功の秘訣です。 ・光熱費は、異形押出に掛るコストで大きな割合を占めます。コスト削減により競争力を高めます。 ...
株式会社スペック・ジャパン
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概要 ■BluLine BL–VBシリーズにコンプレッサーを付属した真空ユニット ・湿った空気を吸い込むデザイン ・VBシリーズからコンプレッサーを回転数制御する事で省エネ実現 ・吸い込み口の圧力...
日本ブッシュ株式会社
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ドライロータリーベーン真空ポンプおよびコンプレッサー コンパクトで信頼性が高く極めてパワフル - これらは、SECOドライロータリーベーン真空ポンプおよびコンプレッサーの傑出した特徴で...
株式会社スペック・ジャパン
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概要 ■滅菌機に特化した真空ポンプユニット 真空ポンプ、セパレーター、コンデンサー、熱交換器 (オプション) が一体となった、滅菌機装置に必要な機能が搭載された真空ポンプユニット。ヨー...
Metoree AI
各メーカーの製品を横断して比較しやすくするために、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて、項目名や値の表記がされている場合があります。製品の詳細については、個別製品ページをご覧ください。
Metoreeに登録されている真空ポンプが含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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主に研究室内で使用できる卓上サイズのガス用真空ポンプの総合カタログです。リーズナブルな小型ポンプから耐食型ポンプ、水素等の可燃ガスを扱える防爆ポン...
2023年10月23日
世界中の研究所・大学で長年ベストセラーの卓上サイズガス用真空ポンプ LABOPORTシリーズに待望の新製品が登場しました。手のひらサイズの小型ポンプN96.18、...
2023年10月23日
お客様の装置に部品として組み込んで使用する産業用ポンプ、工場等の生産設備に使用する大型ポンプの総合カタログです。耐熱仕様、防爆仕様等、お客様のご要...
2022年4月5日
2021年7月17日
台湾のオイルレス真空ポンプとオイルレス空気圧縮機のトップメーカーであるUNi-CROWNは、2001年4月に設立されました。UNi-CROWNの酸素濃縮コンプレッサーには...
2023年5月31日
水封式真空ポンプ、遠心ブロワ、ルーツブロワー、多段真空ユニットなどの製品を取り揃えており、お客様の多様なニーズにお応えするため、より体系的な一貫サ...
2024年3月1日
真空ポンプのカタログ61件分をまとめてダウンロードできます!お迷いの方は便利な無料の一括ダウンロード機能をご利用ください。
企業
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン 株式会社アルバック 株式会社三津海製作所 東京理化器械株式会社 株式会社大阪真空機器製作所 株式会社宇野澤組鐵工所 伯東株式会社 日本ビュッヒ株式会社 UNI-CROWN CO., LTD. CUTES CORPORATION ニチコー株式会社189,829 円
8,400 円
485,182 円
価格について: Metoreeに登録されている真空ポンプの製品607点の2024年9月8日時点での価格データを元に算出しています。