アリオス株式会社

【2021年版】真空チャンバ メーカー17社一覧

真空チャンバのメーカー17社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


真空チャンバとは

装置内部を真空にするための容器で、一般的に扉や蓋がついていて、機器などの出し入れが出来るものとされています。

真空タンクとは区別します。
真空タンクは円柱型で空気の出入り口以外は溶接で密閉され、真空チャンバの圧力変動を低く抑えるための付属品とされています。

真空チャンバ単体では機能しないため、真空ポンプを取り付け真空環境を作り出します。

主にステンレス製ですが、容器自体から吸収・吸着・分解しにくい素材が用いられます。

半導体や精密機器の製造に用いられる真空チャンバは高真空で不純物や傷を極限まで無くした精度が求められます。

真空チャンバの使用用途

食品の包装袋の内部には酸化・劣化を防ぐためのアルミ膜を真空技術を使い成膜しています。

インスタント食品の真空凍結乾燥技術に使用されています。

ディスプレイやセンサー、バッテリー、半導体を製造する工程で真空成膜技術が使われ、均一で品質の良い金属の膜を製造するのに用いられます。

天体観測所の巨大反射鏡は定期的に表面のアルミニウム薄膜を巨大真空チャンバ内で真空蒸着しています。

半導体のような高密度・高集積な製造では微細加工技術・薄膜形成技術が重要で、真空状態がなければそれらの製造は不可能とされます。

真空チャンバの原理

真空のメリット

  • 酸化(錆び)しにくい
  • 沸点が低いため水分が凍結蒸発し、乾燥物を取り出せる
  • 空気の振動がない無音状態を作り出せる
  • 気体分子が少ないため絶縁状態を作り出せる

真空状態の特徴を生かした成膜技術に真空蒸着があります。
真空にした容器の中では、金属や酸化物を低い沸点で蒸発させる事が出来、大気中の気体の分子に邪魔をされずに袋等に均一な薄い膜を作る事が可能で、酸素が無いので酸化しない利点があります。

液晶のガラス基板にも真空成膜技術が使われていて、プラズマを発生させ、基盤に向かって飛散し膜付けを行い、均一で品質の良い膜を作ることが出来ます。

食品のフリーズドライ製法では、食品中の水分を凍結し氷にした後、真空状態で乾燥させると、水分あった部分が無くなり、スポンジ状になるため、食品に過度な熱がかからずに乾燥が可能となります。

半導体の製造では高真空中で表面清浄化を行うため、フリーズドライのような汎用性の高い真空チャンバではなく、より精密で不純物を取り除いた高真空に耐えうる精度の真空チャンバが求められます。

参考文献
https://www.shinku-kogaku.co.jp/vacuumchamber/
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj1989/48/11/48_11_1043/_pdf/-char/ja
https://www.samco.co.jp/company/primer/2018/05/necessity.php

真空チャンバのメーカー情報

真空チャンバのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 アルバック九州株式会社
  2. 2 株式会社旭精機テクノセンター
  3. 3 ナカヤママシナリー株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 株式会社DINOVAC
  2. 2 キタワークス
  3. 3 株式会社太陽イービーテック

歴史のある会社

  1. 1 株式会社エイム
  2. 2 赤田工業株式会社
  3. 3 株式会社メックテクニカ

真空チャンバのメーカー17社一覧


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