【2023年版】スパッタリング装置7選 / メーカー13社一覧

目次

• スパッタリング装置とは？
• スパッタリング装置のメーカー13社一覧
• スパッタリング装置のカタログ16件一覧
• スパッタリング装置の製品31件一覧

Metoreeでは各社カタログを無料で一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。

企業

多層膜スパッタリング装置 S600 注目製品
パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社

・オリジナル工法であるMPスパッタ技術で、今までにない緻密な薄膜で高結晶・高密度・低抵抗・高保護膜を実現
・TS調整機構によりターゲットライフエンドまで高均一性を維持
・インデックステーブル方式により高生産性を実現

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スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』卓上型高機能スパッタリングシステム 注目製品
テルモセラ・ジャパン株式会社

・RF/DC兼用マグネトロンカソード x 最大3源搭載
・反応性スパッタ、自動多層連続膜、同時成膜も可能
・MFC x 3系統 APC自動圧力コントロール
・7"タッチパネルで全ての操作を一元管理

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ロードロック式スパッタリング装置 注目製品
ジャパンクリエイト株式会社

・当社独自のスパッタカソードを搭載
・ムービングマグネットにも対応し全面エロージョンが可能
・基板温度900℃を実現する、急速昇降温基板加熱機構を搭載
・発光分析システムによるプラズマ分析とフィードバック制御により、
　高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜が可能

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    • パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社 メーカー
      スパッタリング装置一式

    • 会社サイト 創業: 2014年 従業員数: 657人 会社詳細

    • 住所: 大阪府門真市松葉町2番7号
  • デモ評価対応可能 様々なプロセスを提案 カスタマイズ対応可能
    
    パナソニックのモノづくりを支えてきた技術力で、開発から量産まで、
    あらゆるステージの困り事をPPEが一緒に解決。
    カタログ商品だけでなくカスタマイズ商品も提案する技術者集団

    
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    • テルモセラ・ジャパン株式会社
      テルモセラ・ジャパン 薄膜実験装置製品一覧

    • 会社サイト 創業: 2010年 会社詳細

    • 住所: 東京都中央区日本橋3丁目2番14号 新槇町ビル別館第一 2階
  • カスタムメイド対応 短納期 イージーメンテナンス
    
    あらゆるご要望にお答えする高性能なスパッタ装置・コンポーネントを取り揃えております。豊富なパーツオプションでカスタムメイドにも柔軟に対応致します。

    
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    • ジャパンクリエイト株式会社
      スパッタリング装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1963年 従業員数: 40人 資本金: 30,000,000円 会社詳細

    • 住所: 埼玉県所沢市林1丁目203番地4
  • オーダーメイド デモ可能 アフターフォロー
    
    研究開発装置から量産装置まで、ニーズに合わせたスパッタリング装置を製作しています
    その他真空成膜装置についても対応していますので、お気軽にお問い合わせください
    様々な母材への成膜処理/デモも承っております

    
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    • 芝浦メカトロニクス株式会社 メーカー
      スパッタ装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1939年 従業員数: 1,204人 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1
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    • 株式会社真空デバイス メーカー
      スパッタ装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1985年 従業員数: 12人 資本金: 10,000,000円 会社詳細

    • 住所: 茨城県水戸市飯島町１２８５-５
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    • 株式会社アルバック メーカー
      スパッタリング装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1952年 従業員数: 1,361人 会社詳細

    • 住所: 神奈川県茅ヶ崎市荻園2500番地
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    • 東横化学株式会社 メーカー 商社・代理店
      スパッタリング装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1952年 従業員数: 355人 会社詳細

    • 住所: 神奈川県川崎市中原区市ノ坪370
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    • 株式会社菅製作所
      スパッタ装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1946年 従業員数: 32人 資本金: 34,000,000円 会社詳細

    • 住所: 北海道北斗市追分3-2-2
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    • 株式会社パスカル
      スパッタ装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1986年 会社詳細

    • 住所: 大阪府大阪市阿倍野区昭和町1丁目16番4号
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    • 株式会社シンクロン
      誘電体多層膜用ロードロック式スパッタ装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1951年 従業員数: 561人 資本金: 72,500,000円 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市西区みなとみらい4-3-5
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    • 株式会社サンバック
      スパッタ装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1995年 会社詳細

    • 住所: 東京都江東区扇橋1-21-3
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    • アプライドマテリアルズジャパン株式会社
      AKT® NEW ARISTO™ CF

    • 会社サイト 会社詳細

    • 住所: 東京都港区海岸3丁目20−20
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    • キヤノンアネルバ株式会社 商社・代理店
      スパッタリング装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1967年 従業員数: 1,127人 資本金: 1,800,000,000円 会社詳細

    • 住所: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1

芝浦メカトロニクス株式会社
光学部品用スパッタリング装置

特徴

芝浦メカトロニクス株式会社の光学部品用スパッタリング装置は、各種ミラー部品等の光学膜を高品質に成膜できるモデルとして最適です。

後酸化方式なので、低温で連続して多層膜を作成することが可能で、スマートフォンや車載用ディスプレイのカバーガラス用ARコートや、ヘッドアップディスプレイの増反射ミラー等の多くの品種に対応しています。

生産ラインを自動化しやすいため生産性が高く、オプションで膜厚モニターをつけることもできます。

芝浦メカトロニクス株式会社の会社概要

• 会社所在地: 神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1
• 会社サイト
• 創業: 1939年
• 従業員数: 1,204人

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株式会社真空デバイス
MSP-mini

特徴

株式会社真空デバイスのスパッタリング装置MSP-miniは、電子顕微鏡で観察する試料の前処理のコーティング用として開発されたモデルで、装置重量は4.2kgと小型で軽いです。

ボタンを押すだけで、自動でコーティングがされるので大変便利な仕様です。

直径30㎜の小型のターゲットなのでランニングコストを抑えることができます。

Auターゲットが標準ですがオプションでAgターゲットも使用することができ、Ag膜を透明な試料に成膜することで、表面の詳細を光学顕微鏡で観察できるようになります。

株式会社真空デバイスの会社概要

• 会社所在地: 茨城県水戸市飯島町１２８５-５
• 会社サイト
• 創業: 1985年
• 従業員数: 12人
• 資本金: 10,000,000円

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株式会社真空デバイス
MSP-20MT

特徴

株式会社真空デバイスのMSP-20MTは、電子顕微鏡で観察する試料の前処理のコーティング用として開発されたやや大型のモデルです。

本体の重量は20kgで、操作手順が簡素化されていますので容易に使用することができます。

直径100mmのターゲットを使用しており、試料サイズは直径100mm、高さ35㎜まで可能なので、比較的大きなサイズの試料にも対応しています。

スパッタターゲットの金属の仕様も幅広く、Au、Ag、Pt、Pt-Pd、Pdを選択できます。

株式会社真空デバイスの会社概要

• 会社所在地: 茨城県水戸市飯島町１２８５-５
• 会社サイト
• 創業: 1985年
• 従業員数: 12人
• 資本金: 10,000,000円

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株式会社パスカル
低圧多元スパッタリング装置LPSP

特徴

株式会社パスカルの低圧多元スパッタリング装置LPSPは、実験室レベルでの半導体の研究に適した、多層膜の成膜が可能なモデルです。

最大5個の低圧マグネトロンスパッタリング源を有し、最大5種類の成膜が可能で、外部のパソコンを利用して自動制御ができます。

また、基板の温度を液体窒素温源から最高摂氏400度まで幅広い温度に調節することができます。

基板交換室がありますので成膜室は常時真空を保つことができ、コンタミネーションによる汚染を防ぐことができます。

株式会社パスカルの会社概要

• 会社所在地: 大阪府大阪市阿倍野区昭和町1丁目16番4号
• 会社サイト
• 創業: 1986年

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株式会社サンバック
RFスパッタ装置SP-1500R

特徴

株式会社サンバックのRFスパッタ装置SP-1500Rは500℃まで昇温可能で、実験室レベルでの小型の電子部品等の成膜に向いています。

成膜室が小型のため基板は最大直径50㎜と小さめで、膜厚分布は±15％以内となっています。

RF機能がついていますので、ターゲットのサイズが3インチ以下であれば、絶縁ターゲットにも金属にも成膜が可能です。

圧力調節弁は手動ですが、ガス流量の調整はマスフローコントローラがありますので容易に正確に行うことができます。

株式会社サンバックの会社概要

• 会社所在地: 東京都江東区扇橋1-21-3
• 会社サイト
• 創業: 1995年

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東横化学株式会社
スパッタリング装置 SSP1000

特徴

東横化学株式会社のスパッタリング装置SSP1000は、比較的小型で卓上に置くことができる装置なので研究開発用に向いています。

成膜方向をUP,SIDE,DOWNの3方向を選択できるので、半導体や電子部品はもちろん、短時間で高精度な膜付けが必要なものに成膜することができます。

絶縁ターゲットにも成膜が可能で、基板サイズは直径100㎜で、成膜分布は±5％以下です。

また、真空排気の操作が全自動になっており作業が楽です。

東横化学株式会社の会社概要

• 会社所在地: 神奈川県川崎市中原区市ノ坪370
• 会社サイト
• 創業: 1952年
• 従業員数: 355人

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東横化学株式会社
スパッタリング装置 SSP3000

特徴

東横化学株式会社のスパッタリング装置SSP3000は、基本性能が高いわりに低価格なので研究開発に適している装置です。

半導体、電子部品などのほかに、めっきや蒸着後の製品や、絶縁素材のターゲットにも使用することができます。

基板サイズは最大直径150㎜ですが、直径100㎜の範囲内では成膜分布が±3％で、業界最高レベルの分布となっています。

真空排気操作がタッチパネル式なので作業が簡単で、各種ロック機能がついていて異常時には非常停止するので安心です。

東横化学株式会社の会社概要

• 会社所在地: 神奈川県川崎市中原区市ノ坪370
• 会社サイト
• 創業: 1952年
• 従業員数: 355人

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