【2021年版】メカニカルブースターポンプ メーカー7社一覧
メカニカルブースターポンプのメーカー7社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。
目次
メカニカルブースターポンプとは
メカニカルブースターポンプは既設ポンプの能力を増大させるときに使用します。メカニカルブースターポンプを用いることで排気速度を飛躍的に増加させることができます。
油回転真空ポンプ、ドライポンプ、などの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において、その排気速度を大幅にアップさせることができます。ただし逆流が起きてしまうこともあることが欠点として挙げられます。その点に注意です。
メカニカルブースターポンプの使用用途
真空ポンプは真空を作り出すことができるポンプです。真空状態を利用することで製造できるものが様々存在します。真空包装、真空乾燥、真空蒸留薄膜、真空冶金、宇宙開発、真空含浸、脱ガス、半導体プロセス、低密度風洞実験など幅広い分野で使用されています。
油回転式真空ポンプやドライポンプといったいわゆるあらびきポンプでは、ある圧力領域では十分な能力が出せず排気速度が落ちてしまいます。そのような際にメカニカルブースターポンプを使用します。
メカニカルブースターポンプの原理
メカニカルブースターポンプのケーシングには2つのひょうたん型のローターが入っています。それぞれが逆方向（内側）に回転するようになっています。それぞれのローターは同期しており、タイミングよく内側に真空を作り出す構造となっています。吸気側から吸引された気体はローターとケーシングの隙間の空間に閉じ込められます。2つのローターが回転することで排気側に期待が押し出されます。このような形式のメカニカルブースターポンプをルーツ型真空ポンプと呼びます。
あらびきポンプでは一定圧力での排気速度が低下しますが、メカニカルブースターポンプを用いることで10000～0.1 Paの範囲での排気速度が向上します。
JISにおいて真空状態は、ある空間における気圧の大きさが大気圧より低くなっている状態というように定められています。大気圧は空気中にある物体全てに必ずかかる圧力のことです。生物がどのような状態にある時にも空気中から圧力、つまり大気圧がかかっています。
参考文献
https://kurashi-no.jp/I0017669
https://ulvac-kiko.com/support/pump07_mechanical.html
メカニカルブースターポンプのメーカー情報
メカニカルブースターポンプのメーカーランキング
社員数の規模
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設立年の新しい会社
- 1 アールエムテック株式会社
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歴史のある会社
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メカニカルブースターポンプのメーカー7社一覧
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