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真空ポンプのメーカー111社一覧や企業ランキングを掲載中!真空ポンプ関連企業の2025年6月注目ランキングは1位:株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン、2位:株式会社荏原製作所、3位:アネスト岩田株式会社となっています。 真空ポンプの概要、用途、原理もチェック!
真空ポンプは、装置や容器から空気を排出し、真空にするための装置です。真空ポンプは、ポンプ、排気口、吸気口で構成されています。ポンプには、真空にするための仕組みが多く開発されています。
真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、必要な真空度や、真空に到達するまでの時間、使用する温度環境を考慮して、使用する真空ポンプを適切に選定する必要があります。油を使用するかどうかで、ドライポンプとウェットポンプに分けられます。
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2025年6月の注目ランキングベスト10
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン |
7.6%
|
2 | 株式会社荏原製作所 |
5.1%
|
3 | アネスト岩田株式会社 |
3.6%
|
4 | 株式会社日本ピスコ |
3.3%
|
5 | 神港精機株式会社 |
3.3%
|
6 | 大同機械製造株式会社 |
2.5%
|
7 | 芝浦メカトロニクス株式会社 |
2.5%
|
8 | 日東工器株式会社 |
2.5%
|
9 | 防長商事株式会社 |
2.2%
|
10 | 株式会社ニクニ |
2.2%
|
項目別
使用用途
#コーティング表面処理
#半導体電子部品
#分析実験室
#乾燥濃縮蒸発脱水
#湿分蒸気対応
#食品
#産業用途
#化学薬品対応
#真空包装
到達真空度 Pa
0 - 0.01
0.01 - 0.1
0.1 - 1
1 - 10
10 - 100
100 - 1,000
1,000 - 1,100
1,100 - 100,000
排気速度 L/min
0 - 100
100 - 500
500 - 5,000
5,000 - 50,000
モータ出力 kW
0 - 0.5
0.5 - 2
質量 kg
0 - 10
10 - 50
50 - 200
騒音値 dB(A)
40 - 45
50 - 55
55 - 60
60 - 65
65 - 70
70 - 75
75 - 80
80 - 85
電源電圧 V
30 - 150
150 - 250
250 - 380
380 - 500
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158 点の製品
株式会社A&Cサービス
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■アイテム説明 蒸気排気に強く、一般用途に最適なモデル。
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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標準で防爆仕様・可燃性ガス(水素、メタンほか)の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです! ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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標準で防爆仕様・可燃性ガス(水素、メタンほか)の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです! ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・極めて小型・軽量 ■推奨アプリケーション ・ガス分析 ・コン...
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■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・極めて小型・軽量 ・調整ノブにより排気速度を変更可能 ■推...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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標準で防爆仕様・可燃性ガス(水素、メタンほか)の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです! ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
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■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・ガスバラストにより高湿ガスに有効 ・高沸点溶媒の取り扱いに...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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標準で防爆仕様・可燃性ガス(水素、メタンほか)の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです! ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
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■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・極めて小型、軽量 ・サーマルスイッチ、ヒューズ内蔵 ■推奨...
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■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・湿気のあるガス、水分の多いプロセスに最適 ・セルフドライバルブ (特許取得) により、ポ...
2種類の品番
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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標準で防爆仕様・可燃性ガス(水素、メタンほか)の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです! ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
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標準で防爆仕様・可燃性ガス(水素、メタンほか)の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです! ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
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■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・腐食性の強いガスにも対応 ・小型、軽量 ・サーマルスイッチ、ヒューズ内蔵 ■推奨アプリ...
セル・ダイアグノスティックス合同会社
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NeoDryシリーズ (樫山工業) はルーツ式オイルレス真空ポンプです。ポンプ部に接触部分がないため、長時間の安定運転が可能です。 ■特徴...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・空気と微量の液体を同時吸引可能です。 ・無給油式ドライタイプのポンプの為、接ガス部に油を使用しておりません。 ・使用電圧...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・真空専用、圧力専用かをお知らせ下さい。 ・MF-10-TはMF-10を同一寸法内でさらに性能アップしております。 ・使用電圧は単相10...
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株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ポンプを直列接続させ高い真空度を得ることが出来ます。又、特別仕様として並列接続も可能です。 ・使用電圧はAC100V/200V及び...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ポンプを直列接続させ高い真空度を得ることが出来ます。又、特別仕様として並列接続も可能です。 ・使用電圧はAC100V/200V及び...
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株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・従来のMSV-200に真空計と真空調節バルブを標準装備。真空度調整がポンプで可能になりました。 ・常用真空度に設定しております...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
株式会社三津海製作所
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◼︎特徴 ・ピストン式2ヘッドタイプにより、高い真空度を実現。 ・無給油式ドライタイプのポンプの為、接ガス部に油を使用しておりません...
三弘エマテック株式会社
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26.0時間 返答時間
■製品説明 豊富な納入実績を誇る、標準的な油回転真空ポンプです。電源も100Vから200V、単相、三相などラインナップも充実しています。 ...
4種類の品番
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 T-station85 は、nEXT85H (ターボ分子ポンプ) とダイヤフラム型真空ポンプまたはロータリーポンプを組み合わせて、シンプル...
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三弘エマテック株式会社
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■製品説明 大排気量でコンパクトサイズのドライ真空ポンプです。単相/三相電源を1機種で対応可能です。 ■特徴 高湿ガスオイルの逆拡散...
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三弘エマテック株式会社
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■製品説明 大排気量でコンパクトサイズのドライ真空ポンプです。 ■特徴 ドライ真空ポンプとしては、最高レベルの到達圧力です。エアー...
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三弘エマテック株式会社
1220人以上が見ています
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■製品説明 有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応したケミカルタイプのドライ真空ポンプです。 ■用途 近年の半導体製造産業、エレクトロニ...
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三弘エマテック株式会社
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■製品説明 接ガス部に油を使用していないドライタイプで到達圧力性能を向上させた高真空ポンプです。広域型ターボ分子ポンプの補助ポン...
三弘エマテック株式会社
190人以上が見ています
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■製品説明 有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応したドライ真空ポンプのケミカルタイプで到達圧力性能を向上させた高真空タイプになります...
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応したドライ真空ポンプのケミカルタイプで到達圧力性能を向上させた高真空タイプになります...
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプとなります。用途に合わせて選べるラインナップがあります。広域型タ...
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三弘エマテック株式会社
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■製品説明 豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードモデルです。接ガス部に油を使用していないドライタイプ...
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三弘エマテック株式会社
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■製品説明 豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードモデルです。接ガス部に油を使用していないドライタイプ...
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東京理化器械株式会社
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45.8時間 返答時間
■一定速運転のNVP型シリーズ ロータリーエバポレーターとの組合せを考慮した設計で、エバポレーターシステム全体をトータルサポートしま...
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東京理化器械株式会社
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■ケミカル対応のダイヤフラムシリーズ ダイヤフラム型真空ポンプは吸・排気弁にはKalrezを使用、ダイヤフラムヘッドもテフロン製ですか...
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東京理化器械株式会社
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■ケミカル対応のダイヤフラムシリーズ 接ガス部はカーボン強化ETFEとFFKM、PTFEを採用しています。腐食性ガスの吸引、減圧を必要とする...
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東京理化器械株式会社
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45.8時間 返答時間
■ケミカル対応のダイヤフラムDTC型 排水基準対応型として開発したダイヤフラム型真空ポンプです。接ガス部にはPP、テフロンを使用、溶剤...
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東京理化器械株式会社
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■高性能真空ポンプ、豊富なオプション 逆流防止機構、ガスバラストバルブ、強制給油方式、過電流保護回路、強制空冷方式など、安全面へ...
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東京理化器械株式会社
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100.0% 返答率
45.8時間 返答時間
構造がシンプルでメンテナンスが容易です。ドレンコック付きのためオイル交換が容易です。キャスター付きで移動が簡単に行なえます。防...
5種類の品番
東京理化器械株式会社
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45.8時間 返答時間
構造がシンプルでメンテナンスが容易です。ドレンコック付きのためオイル交換が容易です。キャスター付きで移動が簡単に行なえます。防...
5種類の品番
東京理化器械株式会社
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45.8時間 返答時間
■手軽に使える減圧装置アスピレーターA-1000S型 水道蛇口のない所や水道圧の低い所でもスイッチを入れるだけで手軽に減圧できます。水槽...
ユニオン産業株式会社
510人以上が見ています
■油式回転真空ポンプ ・取付け&補習の簡単な構造 ・多段ろ過装置により、潤滑油の漏れを最小限 (0.1%以下) に抑える ・自然空気冷却の...
3種類の品番
ユニオン産業株式会社
320人以上が見ています
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■油式回転真空ポンプ ・取付け&補習の簡単な構造 ・多段ろ過装置により、潤滑油の漏れを最小限 (0.1%以下) に抑える ・自然空気冷却の...
2種類の品番
マールス株式会社
250人以上が見ています
最新の閲覧: 34分前
■特徴 真空ポンプ・コンプレッサーLSシリーズは、オイルフリーでクリーンな排気を実現した機器組込用のピストン式真空ポンプ、コンプレ...
マールス株式会社
290人以上が見ています
最新の閲覧: 9時間前
■特徴 真空ポンプ・コンプレッサーLSシリーズは、オイルフリーでクリーンな排気を実現した機器組込用のピストン式真空ポンプ、コンプレ...
マールス株式会社
270人以上が見ています
最新の閲覧: 30分前
■特徴 真空ポンプ・コンプレッサーDPシリーズは、ピストンリングに特殊樹脂を使用し、シリンダー内でピストンが往復運動することによっ...
マールス株式会社
260人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
■特徴 真空ポンプ・コンプレッサーDPシリーズは、ピストンリングに特殊樹脂を使用し、シリンダー内でピストンが往復運動することによっ...
マールス株式会社
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■特徴 ダイアフラム式真空ポンプは、高い真空度での使用を実現した機器組込用の真空ポンプです。小型でシンプルな構造、基本性能が高く...
アルバック販売株式会社
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最新の閲覧: 4時間前
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206.4時間 返答時間
■概要 2段排気方式/逆流防止機構付き/サーマルプロテクター内蔵/スイッチ付き ■特長 ・小さいサイズながらも、大きな排気速度。 ・装置...
アルバック販売株式会社
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最新の閲覧: 46分前
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206.4時間 返答時間
■概要 ルーツ型/実効排気速度表示/各種保護機能付 ■特徴 ・ルーツ型真空ポンプの小型タイプです。補助ポンプの排気速度が減少する圧...
A-Gas Japan 株式会社
570人以上が見ています
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4.0 会社レビュー
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■パワフルなDCモーター採用 DCモーターの採用で、よりスムーズな起動&運転を実現しました。さらに本体重量の軽量化 (従来比の約35%カ...
3種類の品番
A-Gas Japan 株式会社
1000人以上が見ています
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4.0 会社レビュー
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A-Gas Japan 株式会社
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44.2時間 返答時間
■特徴 ・バッテリー式 (18V) コードレス洗浄機が新登場しました ・洗浄圧を『0.7、1.0MPa』の2段階に切替可能です ・先端ノズルの調整で...
入江株式会社
270人以上が見ています
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返信の早い企業
4.7 会社レビュー
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11.3時間 返答時間
■特長 高回転で運転 されるモーター直結型ですので、ベルト駆動型に比べよりコンパクトで大きな排気速度が得られます。 このラムダシリ...
入江株式会社
120人以上が見ています
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返信の早い企業
4.7 会社レビュー
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■概要 高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで10-5Paが安価に得られます。 ■特長 熱せられた拡散オイルがノズルから噴射...
株式会社宇野澤組鐵工所
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「軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプ」です。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能です...
ワケンビーテック株式会社
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■小型・軽量のクリーンベンチ内の使用に適したコンパクト吸引器 ・小型、軽量のコンパクト設計 ・使いやすくクリーニングが容易 ・吸引...
ワケンビーテック株式会社
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■特長 ・ポンプボックスと吸引瓶がベースにセットされていて、ボックスはクリーンベンチと同色です。 ・吸引瓶はベースで押さえられてい...
ワケンビーテック株式会社
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■バイオロジカル セフティキャビネットでの使用に適した吸引装置です。 ・排気エアーチューブにはバイオハザード対策として0.3μm粒子に...
株式会社アルバック
250人以上が見ています
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49.7時間 返答時間
ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格 (CE,cTUVus) を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用せず...
株式会社アルバック
250人以上が見ています
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49.7時間 返答時間
ECO-SHOCK (エコショック) は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする画期的...
株式会社アルバック
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49.7時間 返答時間
■特長 ・ドライで油回転真空ポンプと同等の到達性能。 ・大気圧から到達まで全圧力帯で運転可能。 ・水蒸気に強い。 ・冷却水が不要。 ...
株式会社アルバック
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49.7時間 返答時間
6段排気方式/サーモスタット内蔵 ■特長 ・ドライで油回転真空ポンプと同等の到達性能。 ・大気圧から到達まで全圧力帯で運転可能。 ・...
株式会社アルバック
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49.7時間 返答時間
ダブルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) /スイッチ付き ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・...
株式会社アルバック
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49.7時間 返答時間
ダブルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵 (単相用) /入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・ドラ...
株式会社アルバック
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49.7時間 返答時間
シングルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) /スイッチ付き ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ...
株式会社アルバック
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源 (スイッチ付き) コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格...
株式会社アルバック
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源 (スイッチ付き) コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格...
株式会社アルバック
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49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/モーターリード線圧着端子付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現し...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード / スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
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スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に...
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スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に...
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加圧専用タイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に油を...
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スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクタ内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に油...
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■特長 ルーツ型真空ポンプの小型タイプです。補助ポンプの排気速度が減少する圧力領域で、排気速度の大幅アップが可能です。 ・DCブラシ...
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YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。大気圧から高真空までの排気が可能です。...
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セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時...
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CPU搭載によるマルチ機能化されたスパッタイオンポンプコントロールです。 特長 ■小型・軽量 CPU搭載によるマルチ機能化。この1台で全...
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■ルームエアコン取付け工事に最適 ・大人気小型マイクロ真空ポンプに待望のデジタルゲージ仕様が登場。 ・電磁弁式真空ポンプオイル逆流...
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■ルームエアコンの取付け工事に ・大人気のハイブリッド式マイクロ真空ポンプに待望のデジタルゲージ仕様が登場 ・100V電源でも充電式 (...
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■商品詳細情報 ・ブラシレスDCモーター採用 (ブラシレスの為、火花が出ません。) (R32機種にも最適) ・重量が約30%減量 ・電磁弁オイル...
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■インバーター制御で低電圧でも安定した起動 同じ電源より複数の機器を動かした際や細いケーブルの延長コードを使用した際にも安定した...
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電磁駆動ダイアフラム方式で高性能永久磁石の採用により、小型・高効率化を実現しました。また、アルミ合金製ケースを採用し、低作動音...
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長寿命・低作動音・低振動設計 (ダイアフラム径にゆとりをもたせ小ストローク設計) を考慮した機器組込み用真空ポンプ/コンプレッサで...
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リニア駆動フリーピストン方式ならではの多くの特長 (下記) により汎用真空源として多様性を発揮します。小型/軽量、低振動、低作動音...
三弘エマテック株式会社
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■製品説明 ・分析機器向け超静音で油漏れしない油回転真空ポンプです。 ・電源はAC Motor 1Φ100 ~ 120 / 200 ~ 240Vを準備しています...
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■製品説明 ・分析機器向け超静音で油漏れしない油回転真空ポンプです。 ・電源はAC Motor 1Φ100 ~ 120 / 200 ~ 240Vを準備しています...
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■特長 ・大人気小型マイクロ真空ポンプに待望のデジタルゲージ仕様が登場。 ・電磁弁式真空ポンプオイル逆流防止器付。 ・ルームエアコ...
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■特長 ・ブラシレスDCモーターを採用 (ブラシレスの為火花が出ません/R32機種にも最適) ・重量が約30%減量 (当社交流同型比) ・電磁弁...
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■特長 ・液晶デジタルゲージを搭載したモデルチェンジ版 ・液晶デジタル真空計を装備、真空度の計測から漏れ検査までこのポンプ一台で可...
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真空ポンプは、装置や容器から空気を排出し、真空にするための装置です。真空ポンプは、ポンプ、排気口、吸気口で構成されています。ポンプには、真空にするための仕組みが多く開発されています。
真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、必要な真空度や、真空に到達するまでの時間、使用する温度環境を考慮して、使用する真空ポンプを適切に選定する必要があります。油を使用するかどうかで、ドライポンプとウェットポンプに分けられます。
真空ポンプは、医療機器や医療機器の製造過程、食品工場、電気機器、半導体の製造過程などで使用されます。また、真空を必要とする医療機器や理化学機器の補器としても使われます。真空ポンプは10種類以上の原理が開発されており、それぞれの特性を理解して適切に選定する必要があります。
真空ポンプの主な使用用途は以下の通りです。
真空ポンプを動作原理により分類し、そのうち代表的なものの動作原理を説明します。
油回転真空ポンプは、回転するローターなどの働きで吸入した空気を押し出すようにして排気する真空ポンプで、気密性を高めるために油を使うウェットポンプの総称です。ロータリー真空ポンプとも呼ばれます。
詳細な形式として、回転翼型油真空ポンプ、カム形油回転真空ポンプ、揺動ピストン型油回転真空ポンプなどがあります。回転翼、カム、ピストンに結合した揺動部と、空気と接する部位の形は異なりますが、いずれの形式でも、ローターの回転に伴って空気を排出することで真空を作ります。
油を使う以上、油の蒸気圧が真空の限界となりますが、油の働きで安定した性能を発揮でき、小型の装置で容易に中真空を得ることができます。
油拡散真空ポンプは、ボイラーとジェットノズル、凝縮機で構成されています。ボイラーで加熱して蒸気になった油をジェットノズルにより超音速で噴射し、ポンプ内の空気分子を排気口に押し出します。蒸気になった油は凝縮器で液体の油となり再利用されます。
回転翼型ドライ真空ポンプは、回転するローターとベーンが吸気口から吸入した空気をかき出すようにして排気する真空ポンプで、油を使わないものです。空気の逆流を防ぐことが出来ないため、低真空状態が限界になりますが、大きな排気速度を得ることができます。
揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、偏心回転軸に連動するピストンによって、空気を押し出すようにして排気する真空ポンプです。構造上、空気の逆流を防ぐことができないため、低真空状態が限界になりますが、メンテナンスが容易です。
ダイヤフラムポンプ( 膜ポンプ )とは、ゴム、樹脂、金属といった素材から成るダイアフラムの往復運動と逆止弁を組み合わせて流体を輸送するポンプです。真空ポンプとする場合、逆止弁があるため気密に油を用いる必要が無く、ドライポンプとすることができます。往復運動に伴い、真空にしたい側から空気を吸い込み、大気側に吐き出すことを繰り返して真空を作ります。
スクロール型ドライ真空ポンプは、渦巻型のステータとローターの運動の組み合わせによって排気するドライ真空ポンプです。渦巻の運動により、空気を中央に寄せて、中央部から排気します。
ターボ分子ポンプは、タービンの形をしたドライ真空ポンプです。タービン翼を分子の熱運動に近い速度で高速回転させ、タービン翼の傾きに応じた分子運動の偏りを作ることで排気を行います。タービン翼の高速回転を可能とするため、ある程度の真空中で使用する必要があり、他の真空ポンプと組み合わせて使われます。
真空ポンプの選定では、到達真空度、排気時間、排気容量などを考慮してポンプの種類を決定します。真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、それぞれに合った真空ポンプがあります。
低真空用では、ダイアフラム型ドライポンプ、揺動ピストン型ドライポンプ、回転翼型ドライポンプなどがあります。ダイアフラム型は回転翼型ドライポンプのような摺動部がないので煽動による微粒子が発生せず、クリーンな真空を得ることができます。揺動ピストン型は構造がシンプルでメンテナンスが容易です。回転翼型は大きな排気速度を得ることができます。
中真空用では、スクロール型、油回転型などがあります。スクロール型は多くの製品で2段圧縮により効率を確保しており、低振動、低騒音なものとなっています。油回転型は名前の通り、油により潤滑、密封を行っているため効率が良く、真空度の安定性が良いポンプです。
高真空用では、2つのローターを回転させて吸引、圧縮するルーツ型( メカニカルブースター )真空ポンプ、多段のルーツ型ポンプを一体化した多段ルーツ型真空ポンプ、構造がシンプルで排気速度が大きい油拡散型真空ポンプなどがあります。更に超高真空用と呼ばれるものにターボ分子ポンプやクライオポンプなどがあります。
このように様々な種類の真空ポンプがあるため、その特徴や特性を良く理解し、用途に合ったものを選択することが大切です。
真空を使用した設備では、到達真空度、排気時間を考慮して真空ポンプを選定します。しかし、一般的に真空度が上がると排気速度が遅くなること、高真空用ポンプの中には大気圧状態では使用できないものがあることから、真空ポンプ単独ではなく、組み合わせて使用する場合があります。
例えば、「低真空で排気速度の速いポンプ」と「高真空のポンプ」を切り替えて併用したり、同時使用したりすることで、高真空でもある程度の排気速度が得られます。
具体例としては、油回転型で低真空領域まで真空引き( 粗引き )し、その後、メカニカルブースターポンプに切り替えて高真空まで真空引き( 本引き )する方法が挙げられます。
また、2種類の真空ポンプを連結し、中低真空用ポンプを介することで大気圧でも高真空用ポンプを使用できるようにすることもあります。
油回転真空ポンプは、正しく使えば安定した性能を発揮しますが、オイルの管理が重要です。気体を吸引して真空をつくる性質上、どうしても吸引したものの中にある不純物( 水など )がオイルに混入してしまいます。このような不純物がオイルの性能を劣化させます。
ほとんどの油回転真空ポンプには、ガスバラストといって揮発性の成分を蒸発させる機能があるので、定期的にガスバラストを行うとよいでしょう。オイル量の日常点検、定期的なオイル交換も重要です。また、「オイルを汚染しやすい用途であるが安価なのでとりあえず油回転真空ポンプを設置していた」など、状況によっては近い性能のドライポンプに置き換えるなどの見直しも意義があるかもしれません。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/56/6/56_13-LC-014/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_657/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_670/_pdf
https://ulvac-kiko.com/support/pump_types.html