【2021年版】真空炉4選 / メーカー4社一覧

真空炉のメーカー4社・17製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


真空炉とは

真空炉は、真空熱処理加工ができる炉です。炉の中を真空にした状態で対象物を加熱するので、対象物の表面を酸化させることなく加工することができます。脱炭を防止でき、熱処理した後も、ステンレス等の光沢を維持することができます。また、表面の清浄性が高いので異種の金属の接合もきれいに加工でき、加熱から冷却をゆるやかに行うので歪みを減らすことができます。

二酸化炭素の排出量が少なく済み、寸法や硬度のバラつきも減らすことができる処理方法です。

真空炉に窒素ガス等を流しながら熱処理を行う場合もあります。

真空炉の使用用途

真空炉で処理した金属は光輝性が高い特徴があり、表面の酸化や不純物を減らすことができます。真空炉は金属の焼き入れ焼き戻しや焼結、エバポレータ等のろう付け、焼鈍などに利用されています。通常の金属ではなく超硬工具等の高級鋼やマグネットやコンデンサ、自動車部品、産業機械部品等、特殊な機能が要求される金属が真空炉で作製されています。

利点が多い真空炉ですが、メンテナンス費用がかかり、大型の炉は特にコストが高い面があります。

真空炉の原理

真空炉では、油回転ポンプやターボ分子ポンプ等を組み合わせて炉内の空気を排気し高真空状態を維持します。高真空で酸素がない状態で加熱することで、酸化を防ぐことができます。

炉の容器の材質はステンレスが主です。1000℃~2300℃までの加熱が可能で、タングステン、モリブデン、炭化ケイ素といったメタルヒーターで加熱しています。

小型の炉には、管状炉で、アルミナや石英ガラス管の中に対象物を入れて加熱するタイプもあります。ヒーター材にはカンタル線等が使用され、700℃~1600℃程度まで加熱できます。

冷却方式は自然冷却、ガス冷却、油冷却等があります。高温の場合には容器を二重構造にして水冷する方式も取られています。

また、高温の温度測定には外部から放射温度が測定されます。アルメル―クロメル熱電対や白金ロジューム合金の熱電対が使用されます。

標準的な真空炉では加熱と冷却を同じ室で行いますが、近年作業効率を高めるために別の室に分ける機種も出ています。

参考文献

http://bright-anneal.co.jp/faq/a2-1.html

https://www.chushin-koshuha.co.jp/technology/technology04/

真空炉のメーカー情報

真空炉のメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 フルテック株式会社
  2. 2 DOWAサーモテック株式会社
  3. 3 株式会社IHI機械システム

設立年の新しい会社

  1. 1 DOWAサーモテック株式会社
  2. 2 中日本炉工業株式会社
  3. 3 株式会社IHI機械システム

歴史のある会社

  1. 1 フルテック株式会社
  2. 2 株式会社IHI機械システム
  3. 3 中日本炉工業株式会社

真空炉のメーカー4社一覧


真空炉4選

PQシリーズ

株式会社IHI機械システム PQシリーズ 画像出典: 株式会社IHI機械システム公式サイト

特徴

日本で初めて真空炉をアメリカから輸入し、開発を続けてきた総合重機メーカーであるIHI機械システム株式会社の横型真空炉PQシリーズは、多くの企業での採用実績があります。

特に温度管理についての性能が高く、加熱室の上下左右方向に加熱ヒーターが内蔵されています。

また冷却用整流板が付いており、かつ冷却ガスの流れる方向を選択することができるので、冷却機能も高くなっています。

最高温度は1320℃で、焼き入れ、焼き戻し、磁性処理等に適しており、処理後の表面をとても綺麗に仕上げることができます。

株式会社IHI機械システムの会社概要

  • 会社所在地: 東京都江東区豊洲三丁目1-1 豊洲IHIビル
  • URL: https://www.ihi.co.jp/ims/
  • 創業: 1937年
  • 従業員数: 310人

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VGQ/VPQシリーズ

株式会社IHI機械システム VGQ/VPQシリーズ 画像出典: 株式会社IHI機械システム公式サイト

特徴

IHI機械システム株式会社の竪型真空炉は、縦に長い製品や大型の重量の思い製品など横型では対応できないサイズに対する真空炉として利用されています。

大型の炉については上下方向にヒーターが配置されているので、温度が均一になるよう工夫されています。

最高温度はいずれも1320℃で、87kPa~287kPaまでの冷却ガス圧に耐え得る仕様です。

焼き入れ、焼き戻し、磁性処理、時効処理、ろう付けなど幅広い使用用途があります。

株式会社IHI機械システムの会社概要

  • 会社所在地: 東京都江東区豊洲三丁目1-1 豊洲IHIビル
  • URL: https://www.ihi.co.jp/ims/
  • 創業: 1937年
  • 従業員数: 310人

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NVF-P型 加圧冷却式真空熱処理炉

中日本炉工業株式会社 NVF-P型 加圧冷却式真空熱処理炉 画像出典: 中日本炉工業株式会社公式サイト

特徴

加圧冷却式真空熱処理炉は、大型から小型まで豊富なラインアップを取り揃えており、標準品以外のサイズもお客様のご要望をヒアリングし、オーダーメイドで対応します。

中でも、当社が国内で初めて開発した小型真空熱処理炉のNVF-30-Pは、必要設置スペースがW2000×H2300×L2000(mm、メンテスペース含まず)の為、町工場から研究開発室等にも設置でき、多品種少量の熱処理を行う際に非常に高効率なタクトタイムを実現します。

また、大型炉と同様に加圧冷却方式を採用しており、焼入れ性能の向上、硬度ムラの抑制が可能です。様々なオプションも合わせてご提案できますので、一度お問合せください。

中日本炉工業株式会社の会社概要

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40

DOWAサーモテック株式会社 40 画像出典: DOWAサーモテック株式会社公式サイト

特徴

DOWAサーモテック株式会社のメタルホットゾーン高温真空炉40は、真空、不活性ガス、水素ガス雰囲気下での最高2200℃での高温焼結が可能なファインセラミックスの焼成に適したモデルです。

処理量のグロスが40kgで、寸法は200㎜x500㎜x300㎜となっています。

最高2200℃と高温になるホットゾーンに従来から使用されているグラファイトでなく金属を使用していますので、カーボンによる汚染問題を解決してくれます。

プログラムを組むだけの全自動運転で均一な温度での加熱ができ、しかもホットゾーンの変形や消耗を軽減する設計のため、簡単な操作でメンテナンスコストを削減することもできます。

DOWAサーモテック株式会社の会社概要

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真空炉の17製品一覧

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