全てのカテゴリ
閲覧履歴
真空ポンプのメーカー111社一覧や企業ランキングを掲載中!真空ポンプ関連企業の2025年6月注目ランキングは1位:株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン、2位:株式会社荏原製作所、3位:アネスト岩田株式会社となっています。 真空ポンプの概要、用途、原理もチェック!
真空ポンプは、装置や容器から空気を排出し、真空にするための装置です。真空ポンプは、ポンプ、排気口、吸気口で構成されています。ポンプには、真空にするための仕組みが多く開発されています。
真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、必要な真空度や、真空に到達するまでの時間、使用する温度環境を考慮して、使用する真空ポンプを適切に選定する必要があります。油を使用するかどうかで、ドライポンプとウェットポンプに分けられます。
関連キーワード
2025年6月の注目ランキングベスト10
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン |
7.6%
|
2 | 株式会社荏原製作所 |
5.1%
|
3 | アネスト岩田株式会社 |
3.6%
|
4 | 株式会社日本ピスコ |
3.3%
|
5 | 神港精機株式会社 |
3.3%
|
6 | 大同機械製造株式会社 |
2.5%
|
7 | 芝浦メカトロニクス株式会社 |
2.5%
|
8 | 日東工器株式会社 |
2.5%
|
9 | 防長商事株式会社 |
2.2%
|
10 | 株式会社ニクニ |
2.2%
|
項目別
使用用途
#コーティング表面処理
#半導体電子部品
#分析実験室
#乾燥濃縮蒸発脱水
#吸着搬送
#湿分蒸気対応
#食品
#産業用途
#化学薬品対応
#真空包装
到達真空度 Pa
0 - 0.01
0.01 - 0.1
0.1 - 1
1 - 10
10 - 100
100 - 1,000
1,000 - 1,100
1,100 - 100,000
排気速度 L/min
0 - 100
100 - 500
500 - 5,000
5,000 - 50,000
50,000 - 500,000
モータ出力 kW
0 - 0.5
0.5 - 2
2 - 10
質量 kg
0 - 10
10 - 50
50 - 200
200 - 1,000
騒音値 dB(A)
40 - 45
45 - 50
50 - 55
55 - 60
60 - 65
65 - 70
70 - 75
75 - 80
80 - 85
電源電圧 V
30 - 150
150 - 250
250 - 380
380 - 500
253 点の製品がみつかりました
253 点の製品
日本ブッシュ株式会社
1480人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ロータリーベーンは、堅牢性と機能性で定評ある技術です。円筒形のハウジング内に、複数枚のベーンが備わったローターが偏心して取り付...
2種類の品番
日本ブッシュ株式会社
1750人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ロータリーベーンは、堅牢性と機能性で定評ある技術です。円筒形のハウジング内に、複数枚のベーンが備わったローターが偏心して取り付...
2種類の品番
日本ブッシュ株式会社
1750人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ロータリーベーンは、堅牢性と機能性で定評ある技術です。円筒形のハウジング内に、複数枚のベーンが備わったローターが偏心して取り付...
8種類の品番
日本ブッシュ株式会社
1210人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ロータリーベーンは、堅牢性と機能性で定評ある技術です。円筒形のハウジング内に、複数枚のベーンが備わったローターが偏心して取り付...
4種類の品番
日本ブッシュ株式会社
1510人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ロータリーベーンは、堅牢性と機能性で定評ある技術です。円筒形のハウジング内に、複数枚のベーンが備わったローターが偏心して取り付...
6種類の品番
日本ブッシュ株式会社
1180人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ロータリーベーンは、堅牢性と機能性で定評ある技術です。円筒形のハウジング内に、複数枚のベーンが備わったローターが偏心して取り付...
4種類の品番
日本ブッシュ株式会社
980人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ロータリーベーンは、堅牢性と機能性で定評ある技術です。円筒形のハウジング内に、複数枚のベーンが備わったローターが偏心して取り付...
4種類の品番
日本ブッシュ株式会社
950人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ロータリーベーンは、堅牢性と機能性で定評ある技術です。円筒形のハウジング内に、複数枚のベーンが備わったローターが偏心して取り付...
2種類の品番
日本ブッシュ株式会社
1650人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ドライロータリーベーン真空ポンプおよびコンプレッサー コンパクトで信頼性が高く極めてパワフル - これらは、SECOドライロータリーベ...
8種類の品番
日本ブッシュ株式会社
1960人以上が見ています
最新の閲覧: 13分前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
ドライロータリーベーン真空ポンプおよびコンプレッサー コンパクトで信頼性が高く極めてパワフル - これらは、SECOドライロータリーベ...
8種類の品番
日本ブッシュ株式会社
1080人以上が見ています
最新の閲覧: 23時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
2段式オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ ZEBRAシリーズでは、産業および分析プロセス向けの2段式ロータリーベーン真空ポンプを提供...
6種類の品番
日本ブッシュ株式会社
1290人以上が見ています
最新の閲覧: 18時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
53.4時間 返答時間
2段式オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ ZEBRAシリーズでは、産業および分析プロセス向けの2段式ロータリーベーン真空ポンプを提供...
8種類の品番
UNI-CROWN CO., LTD.
530人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
当社のオイルフリー真空ポンプは、多くの産業用途にとって理想的なソリューションです。 ガス抜き、抽出、真空固定、ピックアンドプレー...
UNI-CROWN CO., LTD.
520人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
当社は、独自のエンドユース ソリューションと革新的な OEM 製品を通じて、お客様のビジネスに付加価値をもたらします。 オイルレス真空...
UNI-CROWN CO., LTD.
550人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
当社は、独自のエンドユース ソリューションと革新的な OEM 製品を通じて、お客様のビジネスに付加価値をもたらします。 オイルレス真空...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
560人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.6時間 返答時間
■特長 ・オイルフリーによるクリーンな運転 ・湿気のあるガス、水分の多いプロセスに最適 ・セルフドライバルブ (特許取得) により、ポ...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
480人以上が見ています
最新の閲覧: 18時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.6時間 返答時間
標準で防爆仕様・可燃性ガス(水素、メタンほか)の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです! ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
セル・ダイアグノスティックス合同会社
550人以上が見ています
100.0% 返答率
251.7時間 返答時間
NeoDryシリーズ (樫山工業) はルーツ式オイルレス真空ポンプです。ポンプ部に接触部分がないため、長時間の安定運転が可能です。 ■特徴...
セル・ダイアグノスティックス合同会社
470人以上が見ています
100.0% 返答率
251.7時間 返答時間
NeoDryシリーズ (樫山工業) はルーツ式オイルレス真空ポンプです。ポンプ部に接触部分がないため、長時間の安定運転が可能です。 ■特徴...
セル・ダイアグノスティックス合同会社
480人以上が見ています
最新の閲覧: 13時間前
100.0% 返答率
251.7時間 返答時間
NeoDryシリーズ (樫山工業) はルーツ式オイルレス真空ポンプです。ポンプ部に接触部分がないため、長時間の安定運転が可能です。 ■特徴...
セル・ダイアグノスティックス合同会社
390人以上が見ています
最新の閲覧: 21時間前
100.0% 返答率
251.7時間 返答時間
アディクセン社I (アイ) シリーズ、ロータリーポンプ (旧アルカテル社製品) は、世界の様々な産業用途において、高い信頼と実績がある真...
セル・ダイアグノスティックス合同会社
340人以上が見ています
100.0% 返答率
251.7時間 返答時間
アディクセン社I (アイ) シリーズ、ロータリーポンプ (旧アルカテル社製品) は、世界の様々な産業用途において、高い信頼と実績がある真...
セル・ダイアグノスティックス合同会社
320人以上が見ています
100.0% 返答率
251.7時間 返答時間
アディクセン社I (アイ) シリーズ、ロータリーポンプ (旧アルカテル社製品) は、世界の様々な産業用途において、高い信頼と実績がある真...
セル・ダイアグノスティックス合同会社
670人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
100.0% 返答率
251.7時間 返答時間
アディクセン社 SDシリーズ・ロータリーポンプ (旧アルカテル社製品) は、世界の様々な産業用途において、高い信頼と実績がある真空ポ...
セル・ダイアグノスティックス合同会社
520人以上が見ています
100.0% 返答率
251.7時間 返答時間
アディクセン社 SDシリーズ・ロータリーポンプ (旧アルカテル社製品) は、世界の様々な産業用途において、高い信頼と実績がある真空ポ...
セル・ダイアグノスティックス合同会社
560人以上が見ています
100.0% 返答率
251.7時間 返答時間
アディクセン社 SDシリーズ・ロータリーポンプ (旧アルカテル社製品) は、世界の様々な産業用途において、高い信頼と実績がある真空ポ...
株式会社三津海製作所
690人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・ベルトタイプの為、低速回転でも十...
2種類の品番
株式会社三津海製作所
590人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・ベルトタイプの為、低速回転でも十...
2種類の品番
株式会社三津海製作所
650人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・ベルトタイプの為、低速回転でも十...
2種類の品番
株式会社三津海製作所
720人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・ベルトタイプの為、低速回転でも十...
2種類の品番
株式会社三津海製作所
780人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
3種類の品番
株式会社三津海製作所
760人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
3種類の品番
株式会社三津海製作所
800人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
3種類の品番
株式会社三津海製作所
650人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
2種類の品番
株式会社三津海製作所
440人以上が見ています
最新の閲覧: 20時間前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・従来のMSV-200に真空計と真空調節バルブを標準装備。真空度調整がポンプで可能になりました。 ・常用真空度に設定しております...
2種類の品番
株式会社三津海製作所
740人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
2種類の品番
株式会社三津海製作所
860人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・ロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用頂けます。 ・モーター直結タイプの為、スペース...
2種類の品番
三弘エマテック株式会社
1070人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 磁気軸受採用のコントローラ一体型ターボ分子ポンプ。ポンプ本体、コントローラを一体にする事で、省配線、省スペースを実現...
2種類の品番
三弘エマテック株式会社
1680人以上が見ています
最新の閲覧: 5時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 豊富な納入実績を誇る、標準的な油回転真空ポンプです。電源も100Vから200V、単相、三相などラインナップも充実しています。 ...
8種類の品番
三弘エマテック株式会社
560人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 T-station85 は、nEXT85H (ターボ分子ポンプ) とダイヤフラム型真空ポンプまたはロータリーポンプを組み合わせて、シンプル...
2種類の品番
三弘エマテック株式会社
520人以上が見ています
最新の閲覧: 8分前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 大排気量でコンパクトサイズのドライ真空ポンプです。単相/三相電源を1機種で対応可能です。 ■特徴 高湿ガスオイルの逆拡散...
2種類の品番
三弘エマテック株式会社
1360人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 大排気量でコンパクトサイズのドライ真空ポンプです。 ■特徴 ドライ真空ポンプとしては、最高レベルの到達圧力です。エアー...
3種類の品番
三弘エマテック株式会社
1220人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応したケミカルタイプのドライ真空ポンプです。 ■用途 近年の半導体製造産業、エレクトロニ...
3種類の品番
三弘エマテック株式会社
170人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 接ガス部に油を使用していないドライタイプで到達圧力性能を向上させた高真空ポンプです。広域型ターボ分子ポンプの補助ポン...
三弘エマテック株式会社
190人以上が見ています
最新の閲覧: 13時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応したドライ真空ポンプのケミカルタイプで到達圧力性能を向上させた高真空タイプになります...
三弘エマテック株式会社
570人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプとなります。用途に合わせて選べるラインナップがあります。広域型タ...
三弘エマテック株式会社
430人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードモデルです。接ガス部に油を使用していないドライタイプ...
2種類の品番
三弘エマテック株式会社
540人以上が見ています
最新の閲覧: 30分前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードモデルです。接ガス部に油を使用していないドライタイプ...
2種類の品番
三弘エマテック株式会社
6130人以上が見ています
最新の閲覧: 29分前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードモデルです。接ガス部に油を使用していないドライタイプ...
5種類の品番
三弘エマテック株式会社
1530人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 ULVACのPBL型油拡散エゼクタポンプは、中真空領域で優れた排気性能を提供する拡散ポンプです。PBL型油拡散エゼクタポンプは、...
3種類の品番
三弘エマテック株式会社
1590人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 油拡散ポンプは小型で臨界背圧を大きく設計している高真空排気ポンプです。研究用途から製造ラインまで幅広く使用されており...
4種類の品番
東京理化器械株式会社
610人以上が見ています
最新の閲覧: 53分前
100.0% 返答率
45.8時間 返答時間
■ケミカル対応のダイヤフラムシリーズ ダイヤフラム型真空ポンプは吸・排気弁にはKalrezを使用、ダイヤフラムヘッドもテフロン製ですか...
東京理化器械株式会社
830人以上が見ています
最新の閲覧: 15分前
100.0% 返答率
45.8時間 返答時間
■ケミカル対応のダイヤフラムシリーズ 接ガス部はカーボン強化ETFEとFFKM、PTFEを採用しています。腐食性ガスの吸引、減圧を必要とする...
3種類の品番
東京理化器械株式会社
220人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
100.0% 返答率
45.8時間 返答時間
■低コストと耐食性。ハイブリッド真空ポンプ 油回転真空ポンプのオイル密閉室内をダイヤフラム型真空ポンプで減圧、吸引排気することに...
東京理化器械株式会社
810人以上が見ています
最新の閲覧: 15時間前
100.0% 返答率
45.8時間 返答時間
■ケミカル対応のダイヤフラムDTC型 排水基準対応型として開発したダイヤフラム型真空ポンプです。接ガス部にはPP、テフロンを使用、溶剤...
3種類の品番
東京理化器械株式会社
780人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
45.8時間 返答時間
■高性能真空ポンプ、豊富なオプション 逆流防止機構、ガスバラストバルブ、強制給油方式、過電流保護回路、強制空冷方式など、安全面へ...
4種類の品番
東京理化器械株式会社
1010人以上が見ています
最新の閲覧: 15時間前
100.0% 返答率
45.8時間 返答時間
構造がシンプルでメンテナンスが容易です。ドレンコック付きのためオイル交換が容易です。キャスター付きで移動が簡単に行なえます。防...
3種類の品番
ユニオン産業株式会社
510人以上が見ています
■油式回転真空ポンプ ・取付け&補習の簡単な構造 ・多段ろ過装置により、潤滑油の漏れを最小限 (0.1%以下) に抑える ・自然空気冷却の...
7種類の品番
アルバック販売株式会社
180人以上が見ています
最新の閲覧: 33分前
100.0% 返答率
206.4時間 返答時間
■概要 スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価...
アルバック販売株式会社
130人以上が見ています
最新の閲覧: 30分前
100.0% 返答率
206.4時間 返答時間
■概要 スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
アルバック販売株式会社
180人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
100.0% 返答率
206.4時間 返答時間
■概要 スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/モーターリード線圧着端子付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を...
アルバック販売株式会社
230人以上が見ています
最新の閲覧: 30分前
100.0% 返答率
206.4時間 返答時間
■概要 スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/モーターリード線圧着端子付 ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
アルバック販売株式会社
160人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
100.0% 返答率
206.4時間 返答時間
■概要 1段排気方式/逆流防止機構付き/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格...
アルバック販売株式会社
170人以上が見ています
100.0% 返答率
206.4時間 返答時間
■概要 2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転...
アルバック販売株式会社
140人以上が見ています
100.0% 返答率
206.4時間 返答時間
■概要 1段排気方式/逆流防止機構付き/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現した油...
アルバック販売株式会社
140人以上が見ています
100.0% 返答率
206.4時間 返答時間
■概要 2段排気方式/ガスバラスト機構付き/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現し...
アルバック販売株式会社
150人以上が見ています
最新の閲覧: 46分前
100.0% 返答率
206.4時間 返答時間
■概要 ルーツ型/実効排気速度表示/各種保護機能付 ■特徴 ・ルーツ型真空ポンプの小型タイプです。補助ポンプの排気速度が減少する圧...
株式会社Parker TAIYO
290人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
搬送装置・自動機械の吸着、離脱の切換ユニットに最適。 ■特長 ・真空電磁弁、真空スイッチ、真空計、フィルタ、吸着確認ランプをコン...
東洋機械金属株式会社
1050人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
■使用用途 お客さま自身で真空吸着吊り具などを製作される際の動力源としてお使いいただけます。 ■特徴 真空ポンプ、モータ、切替弁、...
A-Gas Japan 株式会社
570人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
44.2時間 返答時間
■パワフルなDCモーター採用 DCモーターの採用で、よりスムーズな起動&運転を実現しました。さらに本体重量の軽量化 (従来比の約35%カ...
A-Gas Japan 株式会社
1000人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
44.2時間 返答時間
2種類の品番
株式会社柳生商会
250人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
・信頼性・耐久性を重視した高真空タイプの2段式油回転ポンプです。 ・オプションでオイルミストトラップの接続が可能です。 ■強制オイ...
株式会社柳生商会
240人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
・DCモーターを採用した静音タイプの二段式油回転真空ポンプです。 ・強制オイル循環システムにより、安定した動作を行えます。 ・2つの...
株式会社柳生商会
220人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
低振動・低騒音です。 ■KF25吸気アダプター ・KF-25の吸気管をM20メスネジに変換するためのアダプターです。 ・KF-25吸気アダプタ...
株式会社柳生商会
270人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
■特長 ・GCDシリーズはGLDシリーズに特殊表面処理を施した強度の耐食型真空ポンプです。 ・オイルシール・Oリングにはフッ素ゴムを使...
株式会社柳生商会
220人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.2時間 返答時間
■特長 ・TSWタイプは縦型のアングル架台キャスター付きで、移動可能です。 ・BSWタイプはTSWタイプをボックスで覆っています。 ・耐...
株式会社宇野澤組鐵工所
390人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
「軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプ」です。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能です...
アトーテック株式会社
160人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
62.8時間 返答時間
吸入口と排出口との間のシールが上下に動く仕切り板 (ベーン) によって行なわれ、ロータは図に示すように軸が偏心して、シリンダの中心...
アトーテック株式会社
160人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
100.0% 返答率
62.8時間 返答時間
ロータに接続している2枚のベーン板が、常にシリンダに押しつけられながら回転することによって生ずる空間の容積変化によって気体を吸入...
株式会社大阪真空機器製作所
280人以上が見ています
最新の閲覧: 5時間前
100.0% 返答率
163.7時間 返答時間
磁気軸受採用で完全オイルフリーの排気を得ることができ、 またメンテナンスサイクルが長いのも特長です。300L/s~3,400L/sクラスまでラ...
株式会社大阪真空機器製作所
290人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
100.0% 返答率
163.7時間 返答時間
油潤滑玉軸受を採用しています。200L/s~5,500L/sまでの全クラスにケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスを排気する用途に対応...
株式会社大阪真空機器製作所
230人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
100.0% 返答率
163.7時間 返答時間
■RA100 ・回転軸が強い→低真空起動、低真空連続運転可能 ・負荷条件に合ったモータの選択が可能→設備費削減、効率的な運転により省コス...
株式会社大阪真空機器製作所
470人以上が見ています
最新の閲覧: 2時間前
100.0% 返答率
163.7時間 返答時間
■DSP251 ・ポータブルタイプ ・小型・軽量・外乱に強い。タイミングギアレス構造により、軽量化を実現。 ・ユーティリティーの利便性向...
2種類の品番
有限会社スコットプランニング
170人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな1段式真空ポンプ。 ・低振動、低騒音、長寿命。 ・高い信頼性と豊富な実績。 ・排気ミストフィルター搭載...
有限会社スコットプランニング
140人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな1段式真空ポンプ。 ・低振動、低騒音、長寿命。 ・高い信頼性と豊富な実績。 ・排気ミストフィルター搭載...
有限会社スコットプランニング
110人以上が見ています
最新の閲覧: 18分前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな一体型水封ポンプ ・高品質、高効率、低振動、堅牢、長寿命及び高い信頼性 ・豊富な実績に基づく多様なシ...
有限会社スコットプランニング
80人以上が見ています
最新の閲覧: 24分前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな一体型水封ポンプ ・高品質、高効率、低振動、堅牢、長寿命及び高い信頼性 ・豊富な実績に基づく多様なシ...
有限会社スコットプランニング
120人以上が見ています
最新の閲覧: 28分前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな一体型水封ポンプ。 ・長寿命、低振動、低騒音。 ・高い信頼性と抱負な実績。 ・アンチキャビテーション...
有限会社スコットプランニング
140人以上が見ています
最新の閲覧: 33分前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな一体型水封ポンプ。 ・長寿命、低振動、低騒音。 ・高い信頼性と抱負な実績。 ・アンチキャビテーション...
有限会社スコットプランニング
110人以上が見ています
最新の閲覧: 24分前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな一体型水封ポンプ。 ・長寿命、低振動、低騒音。 ・高い信頼性と抱負な実績。 ・アンチキャビテーション...
有限会社スコットプランニング
130人以上が見ています
最新の閲覧: 28分前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな一体型水封ポンプ。 ・長寿命、低振動、低騒音。 ・高い信頼性と抱負な実績。 ・アンチキャビテーション...
有限会社スコットプランニング
90人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな一体型水封ポンプ。 ・長寿命、低振動、低騒音。 ・高い信頼性と抱負な実績。 ・アンチキャビテーション...
有限会社スコットプランニング
80人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな一体型水封ポンプ。 ・長寿命、低振動、低騒音。 ・高い信頼性と抱負な実績。 ・アンチキャビテーション...
有限会社スコットプランニング
100人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな一体型水封ポンプ。 ・長寿命、低振動、低騒音。 ・高い信頼性と抱負な実績。 ・アンチキャビテーション...
有限会社スコットプランニング
110人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特長 ・軽量及びコンパクトな一体型水封ポンプ。 ・長寿命、低振動、低騒音。 ・高い信頼性と抱負な実績。 ・アンチキャビテーション...
有限会社スコットプランニング
110人以上が見ています
最新の閲覧: 16時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■一般産業 ・食品包装 ・吸着搬送 ・ガラス工業 ・木工機械 ・印刷製本機械 ・プラスチック ・ラベリング ・製菓・製薬業界
有限会社スコットプランニング
120人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■一般産業 ・食品包装 ・吸着搬送 ・ガラス工業 ・木工機械 ・印刷製本機械 ・プラスチック ・ラベリング ・製菓・製薬業界
有限会社スコットプランニング
150人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■一般産業 ・食品包装 ・吸着搬送 ・ガラス工業 ・木工機械 ・印刷製本機械 ・プラスチック ・ラベリング ・製菓・製薬業界
有限会社スコットプランニング
100人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■アプリケーション ・食品包装 ・食品製造 ・ガラス工業 ・窯業 ・フリーズドライ ・タンブラー ・真空冷却 ・スタッファー ・真空カッ...
有限会社スコットプランニング
90人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■アプリケーション ・食品包装 ・食品製造 ・ガラス工業 ・窯業 ・フリーズドライ ・タンブラー ・真空冷却 ・スタッファー ・真空カッ...
有限会社スコットプランニング
110人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■アプリケーション ・食品包装 ・食品製造 ・ガラス工業 ・窯業 ・フリーズドライ ・タンブラー ・真空冷却 ・スタッファー ・真空カッ...
株式会社アルバック
250人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格 (CE,cTUVus) を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用せず...
株式会社アルバック
170人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
■特長 ・ドライで油回転真空ポンプと同等の到達性能。 ・大気圧から到達まで全圧力帯で運転可能。 ・水蒸気に強い。 ・冷却水が不要。 ...
株式会社アルバック
110人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
6段排気方式/サーモスタット内蔵 ■特長 ・ドライで油回転真空ポンプと同等の到達性能。 ・大気圧から到達まで全圧力帯で運転可能。 ・...
株式会社アルバック
260人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
固定された渦巻き型の壁 (固定スクロール) に対面した渦巻き型の壁 (従動スクロール) が偏芯運動することによって真空排気をする真空ポ...
株式会社アルバック
220人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
ダブルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) /スイッチ付き ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・...
株式会社アルバック
210人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
ダブルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵 (単相用) /入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・ドラ...
株式会社アルバック
220人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
シングルラップタイプ/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) /スイッチ付き ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ...
株式会社アルバック
230人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
シングルラップタイプ/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・高湿ガスに強い、真空ポンプ。 ・エアー...
株式会社アルバック
140人以上が見ています
最新の閲覧: 33分前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
株式会社アルバック
120人以上が見ています
最新の閲覧: 23分前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/モーターリード線圧着端子付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現し...
株式会社アルバック
120人以上が見ています
最新の閲覧: 30分前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
株式会社アルバック
130人以上が見ています
最新の閲覧: 20分前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
株式会社アルバック
130人以上が見ています
最新の閲覧: 30分前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/プラグ付き電源コード/スイッチ付き ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実...
株式会社アルバック
120人以上が見ています
最新の閲覧: 28分前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/2段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・豊富な実績を持ち、低価格を実現し...
株式会社アルバック
170人以上が見ています
最新の閲覧: 23分前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクタ内蔵/電源コード (先バラ) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接ガス部に油...
株式会社アルバック
180人以上が見ています
最新の閲覧: 33分前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接...
株式会社アルバック
170人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/1段排気方式/サーマルプロテクター内蔵/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・接...
株式会社アルバック
130人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/1段排気方式/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・設備に合わせて吸排気口位置...
株式会社アルバック
100人以上が見ています
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/1段排気方式/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・設備に合わせて吸排気口位置...
株式会社アルバック
110人以上が見ています
最新の閲覧: 13時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/1段排気方式/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・設備に合わせて吸排気口位置...
株式会社アルバック
130人以上が見ています
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
スタンダードタイプ/1段排気方式/入力端子台付き (コードなし) ■特長 ・大排気量でコンパクトサイズ。 ・設備に合わせて吸排気口位置...
株式会社アルバック
140人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
2段排気方式/逆流防止機構付き/ガスバラスト機構付き/サーマルプロテクター内蔵/スイッチ付き/入力端子 (コードなし) ■特長 ・オフィ...
株式会社アルバック
140人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
PVDシリーズは、 回転翼型 (2段) のベルト駆動式油回転真空ポンプです。長年に渡る信頼性と使いやすさから、多くのお客さまにご利用頂いて...
株式会社アルバック
310人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
■汎用型のメカニカルブースターポンプ PMBシリーズVer.Dは汎用型のメカニカルブースターポンプです。オプションで表面処理や大気圧駆動...
株式会社アルバック
170人以上が見ています
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
■特長 ルーツ型真空ポンプの小型タイプです。補助ポンプの排気速度が減少する圧力領域で、排気速度の大幅アップが可能です。 ・DCブラシ...
株式会社アルバック
250人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
磁気軸受を採用したコントローラ別置き型のターボ分子ポンプです。300~4,000L/sの排気速度を持った機種をラインアップ致しました。コン...
株式会社アルバック
230人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時...
株式会社アルバック
250人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しまし...
株式会社ウエダ
150人以上が見ています
最新の閲覧: 30分前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
18.9時間 返答時間
■商品詳細情報 ・ブラシレスDCモーター採用 (ブラシレスの為、火花が出ません。) (R32機種にも最適) ・重量が約30%減量 ・電磁弁オイル...
株式会社ウエダ
130人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
18.9時間 返答時間
■インバーター制御で低電圧でも安定した起動 同じ電源より複数の機器を動かした際や細いケーブルの延長コードを使用した際にも安定した...
神港精機株式会社
10人以上が見ています
■作動原理 軸に固定されたロータが、回転する事により、ポンプのシリンダ内部に空間が生じます。その結果、吸気口よりシリンダ内部の空...
神港精機株式会社
20人以上が見ています
■作動原理 軸に固定されたロータが、回転する事により、ポンプのシリンダ内部に空間が生じます。その結果、吸気口よりシリンダ内部の空...
神港精機株式会社
10人以上が見ています
SGDシリーズを一新した静音コンパクト設計の直結型油回転ポンプです。 ■特徴 ・モーターと一体となった直結型です。主に中真空領域 (0....
神港精機株式会社
20人以上が見ています
最新の閲覧: 22時間前
■構造・原理 水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車より本体を構成し、羽根車は ケーシングと偏心した位置に取付けられています。ケー...
神港精機株式会社
20人以上が見ています
■構造・原理 水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車より本体を構成し、羽根車は ケーシングと偏心した位置に取付けられています。ケー...
神港精機株式会社
30人以上が見ています
■構造・原理 水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車より本体を構成し、羽根車は ケーシングと偏心した位置に取付けられています。ケー...
神港精機株式会社
20人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■構造・原理 水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車より本体を構成し、羽根車は ケーシングと偏心した位置に取付けられています。ケー...
神田機工株式会社
最新の閲覧: 1日前
あらゆる機器に対応できる世界最高レベルの超高性能モデル ■特長 ・小型~20HPクラスの冷凍空調システムの真空引きに。 ・高真空2ステ...
神田機工株式会社
10人以上が見ています
あらゆる機器に対応できる世界最高レベルの超高性能モデル ■特長 ・小型~30HPクラスの冷凍空調システムの真空引きに。 ・高真空2ステ...
神田機工株式会社
最新の閲覧: 1日前
構成潤滑ポンプ内蔵でオイル切れによるポンプ故障を防止 ダブルコンデンサ採用で低温時の始動性が大幅アップ。小型~45HPクラスの冷凍...
神田機工株式会社
最新の閲覧: 1日前
大型冷凍機、大規模空調システムに最適。高効率真空引きシステムにより、メンテナンス作業の省力化に大きく貢献。真空引き時間を最大92%...
神田機工株式会社
■特長 ・ブラシレスDCモーターを採用 (ブラシレスの為火花が出ません/R32機種にも最適) ・重量が約30%減量 (当社交流同型比) ・電磁弁...
神田機工株式会社
■特長 ・液晶デジタルゲージを搭載したモデルチェンジ版 ・液晶デジタル真空計を装備、真空度の計測から漏れ検査までこのポンプ一台で可...
神田機工株式会社
10人以上が見ています
■特長 ・液晶デジタルゲージを搭載したモデルチェンジ版 ・液晶デジタル真空計を装備、真空度の計測から漏れ検査までこのポンプ一台で可...
真空ポンプは、装置や容器から空気を排出し、真空にするための装置です。真空ポンプは、ポンプ、排気口、吸気口で構成されています。ポンプには、真空にするための仕組みが多く開発されています。
真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、必要な真空度や、真空に到達するまでの時間、使用する温度環境を考慮して、使用する真空ポンプを適切に選定する必要があります。油を使用するかどうかで、ドライポンプとウェットポンプに分けられます。
真空ポンプは、医療機器や医療機器の製造過程、食品工場、電気機器、半導体の製造過程などで使用されます。また、真空を必要とする医療機器や理化学機器の補器としても使われます。真空ポンプは10種類以上の原理が開発されており、それぞれの特性を理解して適切に選定する必要があります。
真空ポンプの主な使用用途は以下の通りです。
真空ポンプを動作原理により分類し、そのうち代表的なものの動作原理を説明します。
油回転真空ポンプは、回転するローターなどの働きで吸入した空気を押し出すようにして排気する真空ポンプで、気密性を高めるために油を使うウェットポンプの総称です。ロータリー真空ポンプとも呼ばれます。
詳細な形式として、回転翼型油真空ポンプ、カム形油回転真空ポンプ、揺動ピストン型油回転真空ポンプなどがあります。回転翼、カム、ピストンに結合した揺動部と、空気と接する部位の形は異なりますが、いずれの形式でも、ローターの回転に伴って空気を排出することで真空を作ります。
油を使う以上、油の蒸気圧が真空の限界となりますが、油の働きで安定した性能を発揮でき、小型の装置で容易に中真空を得ることができます。
油拡散真空ポンプは、ボイラーとジェットノズル、凝縮機で構成されています。ボイラーで加熱して蒸気になった油をジェットノズルにより超音速で噴射し、ポンプ内の空気分子を排気口に押し出します。蒸気になった油は凝縮器で液体の油となり再利用されます。
回転翼型ドライ真空ポンプは、回転するローターとベーンが吸気口から吸入した空気をかき出すようにして排気する真空ポンプで、油を使わないものです。空気の逆流を防ぐことが出来ないため、低真空状態が限界になりますが、大きな排気速度を得ることができます。
揺動ピストン型ドライ真空ポンプは、偏心回転軸に連動するピストンによって、空気を押し出すようにして排気する真空ポンプです。構造上、空気の逆流を防ぐことができないため、低真空状態が限界になりますが、メンテナンスが容易です。
ダイヤフラムポンプ( 膜ポンプ )とは、ゴム、樹脂、金属といった素材から成るダイアフラムの往復運動と逆止弁を組み合わせて流体を輸送するポンプです。真空ポンプとする場合、逆止弁があるため気密に油を用いる必要が無く、ドライポンプとすることができます。往復運動に伴い、真空にしたい側から空気を吸い込み、大気側に吐き出すことを繰り返して真空を作ります。
スクロール型ドライ真空ポンプは、渦巻型のステータとローターの運動の組み合わせによって排気するドライ真空ポンプです。渦巻の運動により、空気を中央に寄せて、中央部から排気します。
ターボ分子ポンプは、タービンの形をしたドライ真空ポンプです。タービン翼を分子の熱運動に近い速度で高速回転させ、タービン翼の傾きに応じた分子運動の偏りを作ることで排気を行います。タービン翼の高速回転を可能とするため、ある程度の真空中で使用する必要があり、他の真空ポンプと組み合わせて使われます。
真空ポンプの選定では、到達真空度、排気時間、排気容量などを考慮してポンプの種類を決定します。真空度には低真空、中真空、高真空などがあり、それぞれに合った真空ポンプがあります。
低真空用では、ダイアフラム型ドライポンプ、揺動ピストン型ドライポンプ、回転翼型ドライポンプなどがあります。ダイアフラム型は回転翼型ドライポンプのような摺動部がないので煽動による微粒子が発生せず、クリーンな真空を得ることができます。揺動ピストン型は構造がシンプルでメンテナンスが容易です。回転翼型は大きな排気速度を得ることができます。
中真空用では、スクロール型、油回転型などがあります。スクロール型は多くの製品で2段圧縮により効率を確保しており、低振動、低騒音なものとなっています。油回転型は名前の通り、油により潤滑、密封を行っているため効率が良く、真空度の安定性が良いポンプです。
高真空用では、2つのローターを回転させて吸引、圧縮するルーツ型( メカニカルブースター )真空ポンプ、多段のルーツ型ポンプを一体化した多段ルーツ型真空ポンプ、構造がシンプルで排気速度が大きい油拡散型真空ポンプなどがあります。更に超高真空用と呼ばれるものにターボ分子ポンプやクライオポンプなどがあります。
このように様々な種類の真空ポンプがあるため、その特徴や特性を良く理解し、用途に合ったものを選択することが大切です。
真空を使用した設備では、到達真空度、排気時間を考慮して真空ポンプを選定します。しかし、一般的に真空度が上がると排気速度が遅くなること、高真空用ポンプの中には大気圧状態では使用できないものがあることから、真空ポンプ単独ではなく、組み合わせて使用する場合があります。
例えば、「低真空で排気速度の速いポンプ」と「高真空のポンプ」を切り替えて併用したり、同時使用したりすることで、高真空でもある程度の排気速度が得られます。
具体例としては、油回転型で低真空領域まで真空引き( 粗引き )し、その後、メカニカルブースターポンプに切り替えて高真空まで真空引き( 本引き )する方法が挙げられます。
また、2種類の真空ポンプを連結し、中低真空用ポンプを介することで大気圧でも高真空用ポンプを使用できるようにすることもあります。
油回転真空ポンプは、正しく使えば安定した性能を発揮しますが、オイルの管理が重要です。気体を吸引して真空をつくる性質上、どうしても吸引したものの中にある不純物( 水など )がオイルに混入してしまいます。このような不純物がオイルの性能を劣化させます。
ほとんどの油回転真空ポンプには、ガスバラストといって揮発性の成分を蒸発させる機能があるので、定期的にガスバラストを行うとよいでしょう。オイル量の日常点検、定期的なオイル交換も重要です。また、「オイルを汚染しやすい用途であるが安価なのでとりあえず油回転真空ポンプを設置していた」など、状況によっては近い性能のドライポンプに置き換えるなどの見直しも意義があるかもしれません。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jvsj2/56/6/56_13-LC-014/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_657/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/tsj1973/23/11/23_11_670/_pdf
https://ulvac-kiko.com/support/pump_types.html