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キャノンアネルバ株式会社

【2021年版】スクロールポンプ メーカー11社一覧

スクロールポンプのメーカー11社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


スクロールポンプとは

オイルを利用せず真空を実現するさまざまなドライ真空ポンプのうち、筐体内で二つの“スクロール”と呼ばれる渦巻き型構造を回転させて気体を圧縮し排出するメカニズムを持つものを、スクロールポンプと呼びます。

振動や騒音が少なく小型化が可能な上、通常のロータリーポンプとは異なりオイルミストの排出がないので、クリーンな環境での利用に適しており、科学分析装置や真空乾燥および吸着装置などに組み込まれて利用されます。

スクロールポンプの使用用途

小型化が可能で価格も比較的安価であり、さらにポンプ内には駆動系のグリス以外のオイルは使われておらず、オイルミストの排出がなく、低振動で騒音もないため、クリーンな環境での利用に適しています。
到達真空度は1Paです。
下記のような用途で用いられます。

  •  装置の超高真空を実現するため、ターボ分子ポンプ作動前のあらびき用ポンプとして
  •  透過型電子顕微鏡
  •  真空乾燥装置
  •  真空吸着・蒸着装置
  •  真空熱処理炉
  •  その他のさまざまな科学分析装置

スクロールポンプの原理

スクロールポンプはオイルを使わないドライ真空ポンプの一種類です。

筐体内にスクロールと呼ばれる二つの渦巻き構造の羽根車を持っています。この二つスクロールは回転中心を少しだけずらして設置されており、回転するときに互いの接点で三日月型の小部屋を作ります。この三日月型の小部屋に閉じ込められた気体が圧縮されながら移動し排出されることで真空を作り出します。

構造上、クリーンな排気、小型軽量、安価、低振動、低騒音などの特長があります。短所としては、長時間の使用によりスクロール上のシールが摩滅するため、比較的手間のかかる定期的なメンテナンスが必要であることが挙げられます。

また従来型のポンプではスクロールの素材の制約などから、水蒸気等が含まれた気体の排気は不可能でしたが、近年ベアリングシールドやガスバラストが装着されたポンプが開発され、トラップシステムやオイルミストエリミネータを必要としない真空ラインの構築が可能になっています。

参考文献

https://ulvac-kiko.com/support/pump04_scroll.html

https://www.canon-anelva.co.jp/products/component/pump/pdf/pu_detail12.pdf

https://www.ipros.jp/cg2/%E3%82%B9%E3%82%AF%E3%83%AD%E3%83%BC%E3%83%AB%E3%83%9D%E3%83%B3%E3%83%97/

スクロールポンプのメーカー情報

スクロールポンプのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 アジレントテクノロジー株式会社
  2. 2 株式会社大塚商会
  3. 3 キャノンアネルバ株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 株式会社フロパーサル
  2. 2 アジレントテクノロジー株式会社
  3. 3 株式会社アイリン真空

歴史のある会社

  1. 1 ヤマト科学株式会社
  2. 2 株式会社大塚商会
  3. 3 キャノンアネルバ株式会社

スクロールポンプのメーカー11社一覧


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