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【2021年版】ドライポンプ メーカー10社一覧

ドライポンプのメーカー10社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


ドライポンプとは

オイルやその他の液体を利用せず真空を実現するさまざまな真空ポンプを総称してドライポンプと呼びます。オイルなどを利用して真空を作り出すウェットポンプと対比する名称です。

ルーツ型ドライポンプ、スクロールポンプ、クロー型ドライポンプ、ダイアフラム型ドライポンプなどメカニズムの違いによっていくつかの種類があります。

ロータリーポンプとは異なりオイルミストの排出がないので、クリーンな環境での利用に適しています。

ドライポンプの使用用途

排気中にオイルミストなどの混入がないことが最大の特長で、半導体製造ラインや食品加工ライン、電子顕微鏡をはじめとしたさまざまな科学分析装置など、利用環境への汚染を避ける必要がある場所での利用に適しています。

総合して到達真空度は1Pa程度でそれほど高くないので、高真空度が必要な場合にはターボ分子ポンプやイオンポンプなどと組み合わせて利用します。

また種類によって排気速度が異なるので、利用方法に応じて適切なタイプを選択します。

ドライポンプの原理

真空を作り出すポンプのうちオイルやその他の液体を使わないものを総称してドライポンプと呼びます。

筐体内に羽根車などの回転体が組み込まれており、これらが回転するときに作り出すコンパートメント内に空気などの気体を閉じ込めて圧縮、移動させることで真空を作り出します。ルーツ型ドライポンプ、スクロールポンプ、クロー型ドライポンプなど、回転体の形状の違いによりいくつかの種類が利用可能です。

またダイアフラム(弁)の上下運動を利用して排気するダイアフラム型ドライポンプも広く利用されています。

構造上、オイルミストなどの混入がないクリーンな排気、小型軽量、低振動、低騒音などの特長があります。

また従来型のドライポンプでは回転体の素材による制約などから、水蒸気等が含まれた気体の排気は不可能でしたが、近年ベアリングシールドやガスバラストが装着されたポンプが開発され、トラップシステムやオイルミストエリミネータを必要としない真空ラインの構築が可能になっています。

参考文献

http://www.shinku-pump.com/vacuumpump/dry/

http://www.orionkikai-vacuum-pump.com/tech03-3.html

https://kurashi-no.jp/I0017669

ドライポンプのメーカー情報

ドライポンプのメーカー10社一覧


ドライポンプのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 株式会社荏原製作所
  2. 2 オリオン機械株式会社
  3. 3 株式会社アルバック

設立年の新しい会社

  1. 1 株式会社サンプラテック
  2. 2 伯東株式会社
  3. 3 株式会社アルバック

歴史のある会社

  1. 1 ヤマト科学株式会社
  2. 2 株式会社荏原製作所
  3. 3 株式会社アンレット

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