メーカー 42社
製品 75点

メーカー 42社製品 75点

真空計
メーカー42社・75製品【2024年】

真空計についての概要、用途、原理などをご説明します。また、真空計のメーカー42社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。真空計関連企業の2024年11月注目ランキングは1位:株式会社岡野製作所、2位:芝浦メカトロニクス株式会社、3位:神港精機株式会社となっています。

真空計とは？
真空計のメーカー42社
真空計75製品
真空計の価格・相場

真空計とは

真空計

真空計とは、ある空間内の真空度を測定するためのセンサーです。

その目的によって、分圧真空計と全圧真空計のどちらかを選択します。また、計測手法も多数多様であり、その違いによって計測可能な真空度のレンジにも差があるのが特徴です。

真空計の用途例

真空空間には水分を含めた不純物が限りなく少なくなるため、高清浄度が必要な製造現場ではよく真空空間が活用されます。そのなかでも、真空到達度管理が必要なチャンバーや石英管などに接続された流体回路中に設置されるのが真空計です。

真空計の用途としては、半導体製造装置のプラズマエッチング空間や、冶金、有機合成などの実験設備に設置されることが多いです。また、イオンビーム装置や蒸着装置など、対象物表面への加工用途など表面清浄度が求められる場面でも使用されます。

真空計の原理

真空計の種類と測定原理は多岐にわたります。真空計はごく少量存在する気体分子の運動量をうまく測定することで、空間内の気体密度および真空度へと換算しています。真空計の中でも一般的に普及しているのが「ピラニ真空計」です。

ピラニ真空計は、電気抵抗型の真空計であり、電流を流した白金線へ気体が衝突する際に消失する熱エネルギーから電流を算出し、その値から圧力を逆算します。この微小圧力がそのまま真空度に相当するという仕組みです。

真空計の選び方

真空計には数多くの種類が存在するため、目的に合った真空計を適切に選択する必要があります。用途別のタイプ、計測方法によって特徴が異なるため、それぞれの特徴について十分な理解が重要です。

また、各種真空計にも種類が複数存在するため、計測したい目的の真空空間の真空度によって選定する必要があります。最終真空到達度を保証したい場合は、1つの真空計で十分ですが、真空ポンプによる排気速度などのふるまいを知りたい場合は、複数の真空度を設置しなければなりません。

真空計の種類

真空計には用途別や計測方法、測定範囲の観点からいくつかの種類に分類できます。

1. 用途別

分圧真空計
分圧真空計は、個別の気体のみの真空度を測定する場合に選択します。2種類以上の気体が混ざっている状態で、それぞれの気体が示す圧力が分圧です。

同じ圧力でも気体の種類によって性質が異なるため、真空の質を分析するために使用します。分圧真空計として一般的なのが、質量分析計です。

質量分析計は、イオン源、分析部、検出部の3つで構成されています。電場や磁場を使用することで、特定のイオンのみを観測することにより、各気体の圧力を知ることが可能です。

全圧真空計
全圧真空計は、空間内の真空度を単純に計測したい場合に選択します。測定方法により数多くの種類が存在するため、目的に合わせた選択が必要です。

2. 計測方法

計測方法としては主に3つに分類されます。それは、「圧力そのものを検知する方法」「気体の輸送現象を利用する方法」「気体中の電離現象を利用する方法」です。

圧力そのものを検知する方法
圧力そのものの検知を利用した真空計として、U字管真空計があります。U字真空計は、ガラス製のU字管の一方を真空に排気して封じた差圧計です。

圧力差によって生じる液柱の高さから、気体の圧力差を読み取ることができます。U字真空計は、気体の種類にされないのが特徴です。このため、圧力の絶対測定が可能となることから、他の真空計の校正基準として用いられています。

気体の輸送現象を利用する方法
気体の輸送現象を利用した真空計が熱伝導真空計です。気体の熱伝導率は圧力によって変化するという性質を利用した真空計です。

熱伝導真空計にも数多くの種類があり、「ピラニ真空計」「サーミスタ真空計」「熱電対真空計」などがあります。熱伝導真空計の注意点は、高真空になると熱伝導率よりも熱放射の影響が大きくなることです。そのため、熱伝導真空計は高真空の測定には利用できないというデメリットがあります。

気体中の電離現象を利用する方法
気体の電離現象を利用とした真空管としては、ペニング真空計 (冷陰極電離真空計) やイオンゲージ (熱陰極電離真空計) があります。ペニング真空計は、真空中での放電現象を利用して、圧力を測定できます。耐久性に優れていますが、気体の種類によって感度が大きく変わります。

ペニング真空計は、回路構成が簡単であるというのがメリットです。一方、デメリットは、ペニング放電は不安定になることがあるため、あまり精度の良い測定が難しいことです。さらに、表面の汚れが強いと陰極からの電子放出量が少なくなり放電しなくなること、高真空の状態になると放電を開始させることが難しいことなどがあります。

3. 測定範囲

圧力は、低真空、中真空、高真空、超高真空などの真空度で分けられており、真空計の種類により測定真空度が異なります。真空度はJIS (日本工業規格) により、以下のように圧力の範囲によって5つに分類されています。ピラニ真空計は低真空から中真空を測定でき、電離真空計は、中真空から超高真空まで測定が可能です。

低真空 (low vacuum): 10⁵Pa～10²Pa
中真空 (medium vacuum): 10²Pa～10^-1Pa
高真空 (high vacuum): 10^-1Pa～10^-5Pa
超高真空 (ultra high vacuum): ^-5Pa～1^0-8Pa
極高真空 (extremely high vacuum): 10^-8Pa以下

参考文献
https://www.irie.co.jp/products/vacuumgage-nmv/
http://www.nucleng.kyoto-u.ac.jp/people/ikuji/edu/vac/chap3/penning.html
http://jvia.gr.jp/
https://www.horiba.com/jp/horiba-stec/element-technology/what-is-a-capacitancemanometer/

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真空計メーカー 42社

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

- - 芝浦メカトロニクス株式会社メーカー
    真空計
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1939年従業員数: 1,211人資本金: 6,761,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1
- - 芝浦エレテック株式会社メーカー
    ピラニ真空計
  - 会社サイト創業: 1972年従業員数: 223人会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市栄区笠間二丁目5番1号
- - 神港精機株式会社メーカー
    PG-DP2型
  - 会社サイト創業: 1949年従業員数: 194人資本金: 375,000,000円会社詳細
  - 住所: 兵庫県神戸市西区高塚台3丁目1番35号
- - 株式会社岡野製作所メーカー
    絶対圧力計＜型式：AVG-300型＞
  - 会社サイト創業: 1943年従業員数: 25人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市中央区平野町1-4-10
- - 株式会社三津海製作所メーカー
    真空計・圧力計
  - 会社サイト創業: 1958年従業員数: 17人会社詳細
  - 住所: 東京都大田区東蒲田 2丁目16番13号
- - 株式会社ミラプロメーカー
    BA電離真空計タフゲージ
  - 会社サイト創業: 1984年従業員数: 420人会社詳細
  - 住所: 山梨県北杜市須玉町穴平1100番地
- - 株式会社テストーメーカー
    真空計
  - 会社サイト従業員数: 48人資本金: 75,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-2-15パレアナビル7F
- - 株式会社サーモ理工メーカー
    全圧型真空計
  - 会社サイト創業: 1982年会社詳細
  - 住所: 東京都三鷹市下連雀8丁目7番3号三鷹ハイテクセンター
- - 日本ブッシュ株式会社メーカー
    真空計
  - 会社サイト創業: 1981年従業員数: 100人資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県平塚市めぐみが丘1-23-33
- - 兵田計器工業株式会社メーカー
    真空計
  - 会社サイト創業: 1953年従業員数: 135人資本金: 33,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府東大阪市出雲井本町1番6号
- - 佐藤真空株式会社メーカー
    真空計一覧
  - 会社サイト創業: 1932年従業員数: 10人資本金: 50,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都品川区大井5丁目1番27号
- - マルツエレック株式会社メーカー
    真空計 DVR2pro
  - 会社サイト創業: 1947年従業員数: 117人会社詳細
  - 住所: 東京都千代田区外神田5丁目2-2 セイキ第一ビル7F
- - フエスト株式会社メーカー
    真空インジケータ
  - 会社サイト創業: 1977年資本金: 1,300,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市都筑区早渕1-26-10
- - トラスコ中山株式会社メーカー
    真空計
  - 会社サイト創業: 1964年従業員数: 2,906人会社詳細
  - 住所: 東京都東京都港区新橋四丁目28番1号トラスコフィオリートビル
- - ジーエルサイエンス株式会社メーカー
    真空計
  - 会社サイト上場(東証スタンダード) 創業: 1968年従業員数: 436人資本金: 127,795,000円会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区西新宿六丁目22番1号新宿スクエアタワー30階
- - アイテック株式会社メーカー
    真空計
  - 会社サイト創業: 2003年従業員数: 15人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目4番63号新大阪千代田ビル別館10F
- - ライボルト株式会社メーカー
    真空計
  - 会社サイト会社詳細
  - 本社: ドイツ
- - 株式会社相互理化学硝子製作所メーカー商社・代理店
    真空計
  - 会社サイト創業: 1990年資本金: 20,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市右京区西京極西向河原町11番地
- - 柴田科学株式会社メーカー商社・代理店
    真空計
  - 会社サイト創業: 1921年従業員数: 371人資本金: 100,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都台東区池之端2-6-6
- - ケニス株式会社メーカー商社・代理店
    真空計
  - 会社サイト創業: 1947年従業員数: 133人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市北区天満２丁目７番２８号
- - 若井田理学株式会社
    真空計
  - 会社サイト創業: 1994年会社詳細
  - 住所: 東京都練馬区高松5-18-9
- - 石井理化
    耐薬品性デジタル真空計
  - 会社サイト創業: 1972年会社詳細
  - 住所: 大阪府吹田市南高浜町16-29
- - 株式会社ヴィティーエス
    真空計
  - 会社サイト創業: 2002年従業員数: 5人会社詳細
  - 住所: 埼玉県富士見市東みずほ台1-7-18
- - 株式会社パスカル
    真空ゲージ一覧
  - 会社サイト創業: 1986年会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市阿倍野区昭和町1丁目16番4号
- - 株式会社ティサポート
    真空計
  - 会社サイト創業: 1997年従業員数: 7人会社詳細
  - 住所: 大阪府交野市松塚14-12
- - 株式会社ソナスリンク
    真空計
  - 会社サイト創業: 2019年会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市緑区新治町474番地1
- - 株式会社イチネンTASCO
    デジタル真空計
  - 会社サイト創業: 1975年従業員数: 44人会社詳細
  - 住所: 大阪府東大阪市稲田上町一丁目17番20号
- - 株式会社アルバック
    真空計
  - 会社サイト創業: 1952年従業員数: 1,710人資本金: 208,730,425,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地
- - 東京電子株式会社
    真空計一覧
  - 会社サイト創業: 1953年従業員数: 20人会社詳細
  - 住所: 東京都国分寺市本町2-22-7
- - 有限会社サイバークラフト
    広領域薄膜真空計
  - 会社サイト創業: 1999年会社詳細
  - 住所: ⼤阪府寝屋川市松屋町20-33 グランドリヴィエール5F
- - 大亜真空株式会社
    真空計測器一覧
  - 会社サイト創業: 1939年従業員数: 69人会社詳細
  - 住所: 千葉県八千代市大和田新田495
- - 双葉計器工業株式会社
    真空計
  - 会社サイト創業: 1975年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都板橋区双葉町４４番地９号
- - オート興産株式会社
    デジタル真空計 VA60シリーズ
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 愛知県東海市浅山三丁目177番地
- - インフィコン株式会社
    真空計一覧
  - 会社サイト創業: 2000年資本金: 90,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市高津区坂戸3-2-1
- - アルバック機工株式会社
    ブルドン管真空計
  - 会社サイト創業: 1971年従業員数: 264人資本金: 280,000,000円会社詳細
  - 住所: 宮崎県西都市大字茶臼原291-7
- - Teledyne Hastings Instruments
    Vacuum Measurement and Control一覧
  - 会社サイト創業: 1944年会社詳細
  - 本社: アメリカ
- - 株式会社スプリード商社・代理店
    真空計
  - 会社サイト創業: 2005年会社詳細
  - 住所: 東京都稲城市大丸422-1
- - 株式会社YTK 商社・代理店
    U字管真空計
  - 会社サイト創業: 2016年会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市浪速区難波中2-10-70
- - 入江株式会社商社・代理店
    真空計
  - 会社サイト創業: 1919年従業員数: 82人資本金: 45,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都中央区日本橋本町4-5-14
- - 三弘エマテック株式会社商社・代理店
    スマートフォン対応真空計
  - 会社サイト創業: 1975年従業員数: 28人会社詳細
  - 住所: 愛知県名古屋市名東区高間町544
- - タイタンテクノロジーズ株式会社商社・代理店
    真空計
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都荒川区南千住8丁目5番7号白鬚西R&Dセンター301
- - キヤノンアネルバ株式会社商社・代理店
    真空計
  - 会社サイト創業: 1967年従業員数: 1,127人資本金: 1,800,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1

真空計 2024年11月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2024年11月の注目ランキングベスト10

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社岡野製作所	13.5%
2	芝浦メカトロニクス株式会社	7.7%
3	神港精機株式会社	7.7%
4	株式会社三津海製作所	5.8%
5	佐藤真空株式会社	5.8%
6	ライボルト株式会社	3.8%
7	株式会社テストー	3.8%
8	トラスコ中山株式会社	3.8%
9	兵田計器工業株式会社	3.8%
10	株式会社ミラプロ	3.8%