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真空計のメーカー36社一覧や企業ランキングを掲載中！真空計関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:株式会社テストー、2位:フエスト株式会社、3位:インフィコン株式会社となっています。 真空計の概要、用途、原理もチェック！
真空計とは、ある空間内の真空度を測定するためのセンサーです。
その目的によって、分圧真空計と全圧真空計のどちらかを選択します。また、計測手法も多数多様であり、その違いによって計測可能な真空度のレンジにも差があるのが特徴です。
2025年7月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社テストー |
8.6%
|
| 2 | フエスト株式会社 |
6.9%
|
| 3 | インフィコン株式会社 |
6.9%
|
| 4 | 株式会社ミラプロ |
5.2%
|
| 5 | ジーエルサイエンス株式会社 |
5.2%
|
| 6 | 佐藤真空株式会社 |
5.2%
|
| 7 | 株式会社サーモ理工 |
5.2%
|
| 8 | 株式会社パスカル |
5.2%
|
| 9 | 株式会社三津海製作所 |
5.2%
|
| 10 | 柴田科学株式会社 |
3.4%
|
19 点の製品がみつかりました
19 点の製品
株式会社テストー
480人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
Bluetooth対応 testo 552i 真空計は、冷媒のロスなく、1つのサービスポートを介して真空を迅速、簡単、高精度で測定します。 専用アプリ...
株式会社テストー
540人以上が見ています
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
14.1時間 返答時間
testo 552BT は、冷凍空調システムやヒートポンプの真空引き時のゲージ圧を測定するデジタル真空計です。真空引きに必要な測定機能を備...
アルバック販売株式会社
250人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
175.8時間 返答時間
■概要 G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、 (1) 装置のコストダウン、 (2) 省スペース化、 ...
アルバック販売株式会社
260人以上が見ています
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
175.8時間 返答時間
■概要 本ディスプレイは、G-TRAN全シリーズの真空計、およびCCMシリーズ対応の1チャンネルディスプレイです。測定ユニットと接続するこ...
アルバック販売株式会社
260人以上が見ています
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
175.8時間 返答時間
■概要 4チャンネルディスプレイユニットは、最大4台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。8点のセットポイント出力、I/O...
A-Gas Japan 株式会社
240人以上が見ています
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
44.2時間 返答時間
■特徴 ・7つの単位表示 (mbar,KPa,hPa,torr,mmHg,inchHg,psi) ・SDカードにデータを収集 ・データはExcelファイルで保存 ・分離プロー...
入江株式会社
450人以上が見ています
返信の早い企業
4.7 会社レビュー
100.0% 返答率
11.2時間 返答時間
■概要 気体の熱伝導を利用した熱伝導式の真空計で中真空領域 (1.0×10⁻¹～2.0×10³Pa) が測定可能。 ■特長 本製品は気体の熱伝導を利用し...
株式会社柳生商会
290人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.3時間 返答時間
■特徴 ・ピラニーゲージやインバーテッドマグネトロンゲージを接続できます。 ・電源ケーブル2m (100V) 付きです。 仕様 ■アクティブデ...
株式会社柳生商会
260人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.3時間 返答時間
■特徴 センサー内蔵・表示部一体型のコンパクトサイズです。 ・耐薬品性に優れたセラミックス製センサーを使用しています。 ・見やすい...
株式会社柳生商会
300人以上が見ています
最新の閲覧: 9分前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.3時間 返答時間
■特徴 ・システム内の真空度チェック、真空ポンプの性能確認、配管の漏れ検査等に適しています。 ・大気圧補正機能付きで、通常の大気圧...
株式会社柳生商会
240人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.3時間 返答時間
■特徴 ・LCDディスプレイにデジタル・アナログ値を同時に表示します。 ・表示単位はmbar・hPaを選択できます。 ■ 仕様 ・測定範囲：1～1...
株式会社柳生商会
320人以上が見ています
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.3時間 返答時間
特徴 ■PG-D5A ・デジタルとバーグラフで分かりやすく表示します。 ・通信機能・BNC出力等拡張機能を充実させ、各種制御・FAシステム等の...
株式会社柳生商会
250人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
8.3時間 返答時間
■特徴 ・測定レンジがHiレンジとLoレンジから選択できます。 ・受圧素子がSUS316Lのため耐食性に優れています。 ・センサは互換性があり...
株式会社YTK
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返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
13.9時間 返答時間
株式会社サイエンスラボラトリーズ
80人以上が見ています
最新の閲覧: 53分前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
24.2時間 返答時間
複合真空計「CC-10 (クリスタル／コールドカソード コンビネーションゲージ) 」 ■測定範囲：1.0×10-7 [Pa] 〜1.0×105 [Pa] CC-10は、最...
若井田理学株式会社
30人以上が見ています
■特徴 本計器は独自の特殊ピラニ球を用いたデジタルピラニ真空計で1x10^4～2x10^-1Paの圧力値を連続して測定できる真空計であります。マ...
若井田理学株式会社
30人以上が見ています
■特徴 本計器は独自の特殊ピラニ球を用いたデジタルピラニ真空計で1x10^4～2x10^-1Paの圧力値を連続して測定できる真空計であります。マ...
柴田科学株式会社
20人以上が見ています
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
15.1時間 返答時間
半導体センサーを用いた、コンパクトで使いやすい卓上型の真空計です。 ■特徴 ・電池を含めて約700gの軽量コンパクトサイズ ・単3乾電...
ソーサープランニング株式会社
20人以上が見ています
■概要 デジタル圧力計KDM30は、工場等の配管やタンク内の気体及び液体の圧力を測定する計測機器です ■特徴 ・フレキシブルディスプレイ...
真空計とは、ある空間内の真空度を測定するためのセンサーです。
その目的によって、分圧真空計と全圧真空計のどちらかを選択します。また、計測手法も多数多様であり、その違いによって計測可能な真空度のレンジにも差があるのが特徴です。
真空空間には水分を含めた不純物が限りなく少なくなるため、高清浄度が必要な製造現場ではよく真空空間が活用されます。そのなかでも、真空到達度管理が必要なチャンバーや石英管などに接続された流体回路中に設置されるのが真空計です。
真空計の用途としては、半導体製造装置のプラズマエッチング空間や、冶金、有機合成などの実験設備に設置されることが多いです。また、イオンビーム装置や蒸着装置など、対象物表面への加工用途など表面清浄度が求められる場面でも使用されます。
真空計の種類と測定原理は多岐にわたります。真空計はごく少量存在する気体分子の運動量をうまく測定することで、空間内の気体密度および真空度へと換算しています。真空計の中でも一般的に普及しているのが「ピラニ真空計」です。
ピラニ真空計は、電気抵抗型の真空計であり、電流を流した白金線へ気体が衝突する際に消失する熱エネルギーから電流を算出し、その値から圧力を逆算します。この微小圧力がそのまま真空度に相当するという仕組みです。
真空計には数多くの種類が存在するため、目的に合った真空計を適切に選択する必要があります。用途別のタイプ、計測方法によって特徴が異なるため、それぞれの特徴について十分な理解が重要です。
また、各種真空計にも種類が複数存在するため、計測したい目的の真空空間の真空度によって選定する必要があります。最終真空到達度を保証したい場合は、1つの真空計で十分ですが、真空ポンプによる排気速度などのふるまいを知りたい場合は、複数の真空度を設置しなければなりません。
真空計には用途別や計測方法、測定範囲の観点からいくつかの種類に分類できます。
分圧真空計
分圧真空計は、個別の気体のみの真空度を測定する場合に選択します。2種類以上の気体が混ざっている状態で、それぞれの気体が示す圧力が分圧です。
同じ圧力でも気体の種類によって性質が異なるため、真空の質を分析するために使用します。分圧真空計として一般的なのが、質量分析計です。
質量分析計は、イオン源、分析部、検出部の3つで構成されています。電場や磁場を使用することで、特定のイオンのみを観測することにより、各気体の圧力を知ることが可能です。
全圧真空計
全圧真空計は、空間内の真空度を単純に計測したい場合に選択します。測定方法により数多くの種類が存在するため、目的に合わせた選択が必要です。
計測方法としては主に3つに分類されます。それは、「圧力そのものを検知する方法」「気体の輸送現象を利用する方法」「気体中の電離現象を利用する方法」です。
圧力そのものを検知する方法
圧力そのものの検知を利用した真空計として、U字管真空計があります。U字真空計は、ガラス製のU字管の一方を真空に排気して封じた差圧計です。
圧力差によって生じる液柱の高さから、気体の圧力差を読み取ることができます。U字真空計は、気体の種類にされないのが特徴です。このため、圧力の絶対測定が可能となることから、他の真空計の校正基準として用いられています。
気体の輸送現象を利用する方法
気体の輸送現象を利用した真空計が熱伝導真空計です。気体の熱伝導率は圧力によって変化するという性質を利用した真空計です。
熱伝導真空計にも数多くの種類があり、「ピラニ真空計」「サーミスタ真空計」「熱電対真空計」などがあります。熱伝導真空計の注意点は、高真空になると熱伝導率よりも熱放射の影響が大きくなることです。そのため、熱伝導真空計は高真空の測定には利用できないというデメリットがあります。
気体中の電離現象を利用する方法
気体の電離現象を利用とした真空管としては、ペニング真空計 (冷陰極電離真空計) やイオンゲージ (熱陰極電離真空計) があります。ペニング真空計は、真空中での放電現象を利用して、圧力を測定できます。耐久性に優れていますが、気体の種類によって感度が大きく変わります。
ペニング真空計は、回路構成が簡単であるというのがメリットです。一方、デメリットは、ペニング放電は不安定になることがあるため、あまり精度の良い測定が難しいことです。さらに、表面の汚れが強いと 陰極からの電子放出量が少なくなり放電しなくなること、高真空の状態になると放電を開始させることが難しいことなどがあります。
圧力は、低真空、中真空、高真空、超高真空などの真空度で分けられており、真空計の種類により測定真空度が異なります。真空度はJIS (日本工業規格) により、以下のように圧力の範囲によって5つに分類されています。ピラニ真空計は低真空から中真空を測定でき、電離真空計は、中真空から超高真空まで測定が可能です。
参考文献
https://www.irie.co.jp/products/vacuumgage-nmv/
http://www.nucleng.kyoto-u.ac.jp/people/ikuji/edu/vac/chap3/penning.html
http://jvia.gr.jp/
https://www.horiba.com/jp/horiba-stec/element-technology/what-is-a-capacitancemanometer/
