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キャノンアネルバ株式会社

【2021年版】真空フランジ メーカー17社一覧

真空フランジのメーカー17社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


真空フランジとは

真空フランジとは、ある装置内部に真空環境を作りたいとき、装置にフタをしてガスの漏れなどを防ぐために用いる部品のことです。

様々な規格があり、NW, KF, ICF, JISなどがあるため用途に応じて使い分けます。

まずNWやKF規格は、低真空から高真空領域で使用する配管・継ぎ手部品において用いられます。
カップリングと呼ばれる器具をはめ込んで、フランジを締結します。

一方、ICFやJIS規格はボルトでフランジを締結するため、よりガスの漏れが少なく、高い真空度を保つことができます。

真空フランジの使用用途

真空フランジは、ある装置内部の真空環境を保持するために、配管や継ぎ手部分を密封するものです。

その使用例はとても広く、学術研究から製造業において、真空装置を用いる場面では頻繁に使用されています。

半導体や液晶、有機EL製造においては高真空環境が必要なため、真空フランジは必須のものと言えます。

学術研究においても、真空を用いる各種実験(希薄ガスや固体表面を対象とした実験や、低温環境における実験など)においても真空フランジが必要とされます。

真空フランジの原理

JISフランジでは主にステンレスが材質として使用され、シール材として弾性のあるOリングが用いられます。
Oリングは繰り返し使用できるためコストも節約でき、高真空環境まで使用することができます。

注意すべき点として、フランジのエッジ部分に傷があると、そこからガスの漏れの原因となるため、傷やゴミがないかを確かめます。

フランジを重ね合わせた後に、ボルトを対角線上になるように徐々に締め合わせていきます。
これはフランジを均一に徐々に締めるためです。緩みが無いよう一周締めてから真空を引いていきます。


ICFフランジはJISフランジとは異なり、シール材として製のガスケットを挟み込むことで締結します。
フランジのエッジがガスケットに食い込み、真空を保持することができます。

こちらの方がOリングと比べてシール性に優れており、超高真空を作り出したいときに使用されます。

ボルトの締結手順はJISフランジと同様ですが、トルクレンチなどを使って各ボルトに均一のトルクを加える必要があります。

NW・KFフランジはOリングがはめ込まれたリング(センターリング)を間に挟み込み、JIS・ICFフランジとは異なり、カップリングと呼ばれる器具によってフランジを締結します。
工具を使用せず簡単に取り付け、しかも繰り返し使用が可能です。

参考文献
http://www.flowjoint.co.jp/nwcatalog.pdf
http://www.cosmo-science.co.jp/tec/02.html

 

真空フランジのメーカー情報

真空フランジのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 キャノンアネルバ株式会社
  2. 2 トーステ株式会社
  3. 3 株式会社アドバンテック

設立年の新しい会社

  1. 1 トーステ株式会社
  2. 2 株式会社フロー・ジョイント
  3. 3 株式会社ティサポート

歴史のある会社

  1. 1 株式会社南堺フランヂ製作所
  2. 2 北野精機株式会社
  3. 3 トーフレ株式会社

真空フランジのメーカー17社一覧


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