【2021年版】真空シール メーカー7社一覧
真空シールのメーカー7社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。
目次
真空シールとは
真空シールとは、磁性流体を用い、空気やガス、微粒子などが侵入することを防ぎ、真空環境を維持するための密封装置のことです。
磁性流体とは磁性を持つ微粒子を界面活性剤で安定して分散させた液体で、強い磁性を持ちます（強磁性体）。
真空シールに備えられた磁石によって磁性流体を保持することで、装置との結合部分のすき間を密封します。
磁性流体の保持される力は磁石の強さ（磁力）によって決まるため、磁力が強ければ磁性流体のリングの耐圧は大きくなります。
真空シールの使用用途
真空シールは、高真空を有する製造業、例えば半導体や太陽電池、あるいはスマートフォン向けの有機ELパネル製造において利用されます。
半導体製造では、スパッタリング装置、CVD装置、イオン注入装置に利用されています。
これらは均一な薄膜を形成したり、イオン注入により半導体の電気的特性を制御したりする上で、真空シールによる高い真空環境が必要とされます。
有機ELでも有機EL素子の薄膜形成のために真空蒸着を行う上で真空シールが必要とされています。
真空シールの原理
真空シールは磁性流体と呼ばれる液体を使用します。
磁性流体とは、磁性を持ったナノサイズの微粒子（磁性微粒子）、界面活性剤、水や油などのベース液の３成分から構成されます。
通常、磁性微粒子どうしは磁石のように互いに凝集してしまうため（スパイク現象）、これを防ぐために界面活性剤を使用しています。
その結果、コロイド溶液として安定した磁性流体を作成することができます。
さらに真空シールでは、磁性流体に加え、永久磁石と回転軸（シャフト）を用います。
永久磁石により回転軸と磁極材の間に磁力線が形成され、その磁力線に沿って磁性流体が保持されます。
これにより回転軸と磁極材や永久磁石との接触を防ぐことができます。
回転軸と液体の接触であるため、回転軸を摩耗させることなく任意に回転させることができます。しかも磁性流体が磁力線に沿って隙間を塞いでいるため、真空環境も維持することも可能です。
磁性流体は不活性で蒸気圧も低いため、長期間にわたり真空シールを利用することができます。
参考文献
https://ft-mt.co.jp/product/ferrofluidics_seal/
https://www.ferrotec.co.jp/php/download.php?f=jp/5dbb9e0143529.pdf
https://www.rigaku-mechatronics.com/technology/
https://www.nok.co.jp/technology/seal/commentary/magnetic.html
真空シールのメーカー情報
真空シールのメーカーランキング
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