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真空ゲートバルブのメーカー17社一覧や企業ランキングを掲載中！真空ゲートバルブ関連企業の2025年6月注目ランキングは1位:VAT Ltd.、2位:株式会社ブイテックス、3位:株式会社フジ・テクノロジーとなっています。 真空ゲートバルブの概要、用途、原理もチェック！
主に真空設備や半導体製造設備などで、複数の真空室同士や真空室と大気側環境を仕切る為の弁体です。
ゲートバルブには様々な開閉タイプや開閉動力、弁体構造があり、弁体を挟んでどの様な圧力差が生じるか、開閉速度や開閉時のゴミや塵の発生レベル、耐熱性、耐化学性などを考慮して選定します。 直径数十ミリの小型の物から、フラットパネルディスプレイ生産設備に用いられる幅数メートルの大型のものまで、幅広いサイズが存在します。
2025年6月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | VAT Ltd. |
13.6%
|
| 2 | 株式会社ブイテックス |
13.6%
|
| 3 | 株式会社フジ・テクノロジー |
12.3%
|
| 4 | SMC株式会社 |
11.1%
|
| 5 | 株式会社美幸輝 |
7.4%
|
| 6 | 株式会社旭精機 |
7.4%
|
| 7 | 株式会社スプリード |
4.9%
|
| 8 | 株式会社ティサポート |
4.9%
|
| 9 | アユミ工業株式会社 |
3.7%
|
| 10 | コミヤマエレクトロン株式会社 |
3.7%
|
56 点の製品がみつかりました
56 点の製品
三弘エマテック株式会社
1070人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
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■製品説明 アルバックの真空アングルバルブは、ユーザーが特定の要件に合わせて効果的に使用できるよう多様な要件に対応するためにライ...
4種類の品番
株式会社ジェイビック
160人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
51.4時間 返答時間
ポート口径種は、ANSI、ISO、JISのポート口径形式をご用意。特殊ポート口径にも対応 VRC社製ボンネットスタイル真空ゲートバルブは、ほ...
ロス・アジア株式会社
1050人以上が見ています
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返信の早い企業
100.0% 返答率
9.2時間 返答時間
■商品概要 ・高い汚れ耐性を実現するポペット構造 ・ROSS 真空バルブはより大きなオリフィスを備えているため、より大きな流量が可能に...
10種類の品番
株式会社ブイテックス
300人以上が見ています
最新の閲覧: 6時間前
100.0% 返答率
172.0時間 返答時間
ISO・JISのフランジ規格に対応します。お客様の用途・プロセスに合わせ、3種のタイプをラインナップしています。 ■IPV FULL OPEN-FULL ...
株式会社大阪真空機器製作所
260人以上が見ています
最新の閲覧: 1時間前
100.0% 返答率
163.7時間 返答時間
■高真空アングルバルブの特長 ・サイズは16Aから100Aまで対応。 ・空圧作動アングルバルブは電源/空圧源故障時に、スプリングにより「閉...
アルバック販売株式会社
260人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
100.0% 返答率
254.6時間 返答時間
■概要 5/8～2inchまでのSUS製バルブです。単動シリンダタイプで軸シールはOリング／ベローズから選択できます。接続フランジはISO-KFに...
アルバック販売株式会社
240人以上が見ています
最新の閲覧: 54分前
100.0% 返答率
254.6時間 返答時間
■概要 VAHシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された手動式高真空ゲートバルブです。コンダクタンスの調整を容易に行...
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返信の比較的早い企業
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■特徴 ・使用圧力 大気圧～1X10^-6Pa ・リーク量 <1X10⁻10Pa・m2/s ・寿命回数 ☐FLV (自動) 10万回 ☐FLV (手動) 5万回 LX-☐FLV (自動) 1...
10種類の品番
アルバック販売株式会社
230人以上が見ています
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100.0% 返答率
254.6時間 返答時間
■概要 VAPシリーズは、真空分野での豊富な技術・経験をもとに開発された圧縮空気作動式高真空ゲートバルブです。ディスク開放時のコンダ...
有限会社テクサム
430人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
92.4時間 返答時間
■真空チャンバへのアクセスが容易、ビューイングポートタイプアクセスドア/ブランクタイプアクセスドア ・強固な2軸ヒンジ構造となって...
2種類の品番
三弘エマテック株式会社
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5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
27.6時間 返答時間
■特徴 ・使用圧力 大気圧～1X10^-6Pa ・リーク量 <1X10⁻10Pa・m2/s ・寿命回数 ☐FLV (手動) 5万回 ・操作圧力 0.5～0.6MPa (自動) ・ベ...
5種類の品番
株式会社ブイテックス
270人以上が見ています
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172.0時間 返答時間
ISO・JISのフランジ規格に対応します。お客様の用途・プロセスに合わせ、3種のタイプをラインナップしています。 ■3PV コンダクタンス...
アルバック販売株式会社
300人以上が見ています
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■概要 5/8～2inchまでのSUS製バルブです。単動シリンダタイプで軸シールはOリング／ベローズから選択できます。接続フランジはISO-KFに...
株式会社ブイテックス
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ISO・JISのフランジ規格に対応します。お客様の用途・プロセスに合わせ、3種のタイプをラインナップしています。 ■APC コンダクタンス0...
アルバック販売株式会社
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■概要 5/8～6inchまでのSUS製バルブです。手動タイプ軸シールはベローズ、接続フランジはJIS-VF、ISO-KF、ISO-K、ISO-CFから選択可能で...
株式会社ブイテックス
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標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。ブイ...
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390人以上が見ています
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■概要 20B～36Bまでの大口径SS製バルブです。複動シリンダで軸シールはOリング、接続フランジはJIS-VFになります。 ・500A (20inch) 〜...
株式会社ブイテックス
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標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。ブイ...
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■概要 アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ (ゲートバルブ) です。ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可...
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標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。ブイ...
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標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。ブイ...
株式会社ブイテックス
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■角型ゲートバルブのロードマップ ・Rollcam Gate Valve 従来型のバルブ ・True-L Motion Gate Valve 弁体の軌跡を「L」に変更したL-mot...
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標準的な200mm及び300mmウエハーからG8やG10.5ガラス基板、更には規格外のサイズまで、また接続部分も任意の仕様に対応いたします。ブイ...
株式会社ジェイビック
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100.0% 返答率
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■製品特徴 ・バルブ本体は、アルミ製とステンレス製から選択可能 ・減圧側、正圧側両方に対応可能 ・2インチ～24インチまでのANSIサイズ...
AOV株式会社
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■製品説明 HTC社の超高真空ゲートバルブは、製品の品質、信頼性およびコストパフォーマンスを確保するために、長期にわたる開発を経てリ...
AOV株式会社
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■製品説明 HTC社の超高真空ゲートバルブは、製品の品質、信頼性およびコストパフォーマンスを確保するために、長期にわたる開発を経てリ...
AOV株式会社
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■製品説明 HTC社の超高真空ゲートバルブは、製品の品質、信頼性およびコストパフォーマンスを確保するために、長期にわたる開発を経てリ...
主に真空設備や半導体製造設備などで、複数の真空室同士や真空室と大気側環境を仕切る為の弁体です。
ゲートバルブには様々な開閉タイプや開閉動力、弁体構造があり、弁体を挟んでどの様な圧力差が生じるか、開閉速度や開閉時のゴミや塵の発生レベル、耐熱性、耐化学性などを考慮して選定します。 直径数十ミリの小型の物から、フラットパネルディスプレイ生産設備に用いられる幅数メートルの大型のものまで、幅広いサイズが存在します。
複数の真空室同士を仕切る場合や、大気側と真空室を仕切る目的で用いられます。 この場合は、ある真空室を常に真空状態に保ちながら、内在する処理物を他の真空室へ搬送する際や、大気側との出し入れの際に仕切る役割を果たします。
その他に真空室より排気されるガスの流量を調整する為の弁としても用いられ、その場合は開弁率を調節しながら排気速度を調節します。流量調整弁として用いる場合は開閉速度の早いバタフライ式が用いられます。
真空ゲートバルブは弁体や開閉構造により多数のバリエーションがあります、 弁体の素材はステンレス製又はアルミ製が主流で、開閉動力は手動式、電動式、圧縮空気によるエアー式が挙げられます。 弁体には真空室の気密性を維持する為にOリングやシール材などが備わっており、高温管理されている真空室と同温とする為にヒータを内蔵した製品もあります。
最も一般的なタイプで、弁体が上下する事で開閉します。小型の物は上昇の１アクションで気密までを得ますが、大型の製品では 上昇→押しつけ の2アクションをとる事が多いです。
弁体の両側が真空となる為、ハウジングにもOリングなどの機密構造を持ちます。 弁体は角型と丸形があります。
大気側と真空室を仕切るバルブをドアーバルブと言います。昇降型ゲートバルブと似ていますが、一方が大気圧の為ハウジングを持たず、弁体を真空室に押し当て気密を取ります。
丸形の弁体を持ち、弁体が振り子の様に動く事で開閉します。 コンパクトさが特徴で、摺動部が少ない事から低発塵というメリットもあります。
