スパッタリング装置メーカー35社

スパッタリング装置のメーカー35社一覧や企業ランキングを掲載中！スパッタリング装置関連企業の2025年3月注目ランキングは1位:パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社、2位:芝浦メカトロニクス株式会社、3位:長州産業株式会社となっています。スパッタリング装置の概要、用途、原理もチェック！

商品知識

スパッタリング装置とは・用途・原理

スパッタリング装置はごく薄い膜を対象物の表面に均一に作製するスパッタリングを行う装置です。

スパッタリングとは、真空蒸着やイオンプレーティングと同じく物理気相成長法 (PVD法) の一つです。主に半導体や液晶の成膜をはじめとしたさまざまな分野で活用いられています。また、対象物の表面を清浄化する際に用いられることもあります。

35社スパッタリング装置メーカー

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社

多層膜スパッタリング装置 S600

・オリジナル工法であるMPスパッタ技術で、今までにない緻密な薄膜で高結晶・高密度・低抵抗・高保護膜を実現
・TS調整機構によりターゲットライフエンドまで高均一性を維持
・インデックステーブル方式により高生産性を実現

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加工・工作機器
スパッタリング装置

テルモセラ・ジャパン株式会社

◉ 3源スパッタリングシステム『nanoPVD-S10A』RF/DC 自動連続多層膜同時成膜

★ RF/DC兼用マグネトロン式カソード x 最大3源
★ 反応性スパッタ、自動多層連続膜、同時成膜も可能
★ MFC x 3系統 APC自動圧力コントロール
★ 7"タッチパネルで全てを操作一元管理が可能
★ 多彩なオプション

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加工・工作機器
スパッタリング装置

ジャパンクリエイト株式会社

ロードロック式スパッタリング装置

・当社独自のスパッタカソードを搭載
・ムービングマグネットにも対応し全面エロージョンが可能
・基板温度900℃を実現する、急速昇降温基板加熱機構を搭載
・発光分析システムによるプラズマ分析とフィードバック制御により、
　高速かつ安定したリアクティブスパッタ成膜が可能

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加工・工作機器
スパッタリング装置

長州産業株式会社

スパッタリング装置【事前に無償でデモ成膜を実施可能】

・弊社独自の低ダメージスパッタを搭載[特許保有]
・基板温度上昇が少ない
・プラズマダメージが少ない
・下記の顧客に販売実績あり
　ペロブスカイト太陽電池関係、有機EL関係、マイクロOLED関係

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加工・工作機器
スパッタリング装置

芝浦メカトロニクス株式会社

【スパッタリング装置】産業分野で欠かせないスパッタリング装置を多数ラインナップ

・電子部品をはじめ各種デバイス、光学、自動車部品など幅広い分野に実績有り
・多数のラインナップで研究開発から量産まで対応
・デモ評価対応可能

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加工・工作機器
スパッタリング装置

株式会社コメット

【コンビスパッタ装置】6元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置 CMS-6420

・2インチ・スパッタカソードを最大6基搭載可能
・移動マスク・基板回転機構からなる2元・3元のコンビ成膜に対応
・PCからのレシピ入力＆自動成膜に対応
・タッチパネルで簡単操作（自動排気、成膜プロセス）

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加工・工作機器
スパッタリング装置

- - パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社メーカー
    スパッタリング装置一式
  - 会社サイト創業: 2014年従業員数: 657人会社詳細
  - 住所: 大阪府門真市松葉町2番7号
- デモ評価対応可能様々なプロセスを提案カスタマイズ対応可能
  パナソニックのモノづくりを支えてきた技術力で、開発から量産まで、
  あらゆるステージの困り事をPPEが一緒に解決。
  カタログ商品だけでなくカスタマイズ商品も提案する技術者集団
- - テルモセラ・ジャパン株式会社
    テルモセラ・ジャパン薄膜実験装置製品一覧
  - 会社サイト創業: 2010年会社詳細
  - 住所: 東京都中央区日本橋3丁目2番14号新槇町ビル別館第一 2階
- カスタムメイド対応短納期イージーメンテナンス
  あらゆるご要望にお答えする高性能なスパッタ装置・コンポーネントを取り揃えております。豊富なパーツオプションでカスタムメイドにも柔軟に対応致します。
- - ジャパンクリエイト株式会社
    スパッタリング装置一覧
  - 会社サイト創業: 1963年従業員数: 40人資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 埼玉県所沢市林1丁目203番地4
- オーダーメイドデモ可能アフターフォロー
  研究開発装置から量産装置まで、ニーズに合わせたスパッタリング装置を製作しています
  その他真空成膜装置についても対応していますので、お気軽にお問い合わせください
  様々な母材への成膜処理/デモも承っております
- - 長州産業株式会社メーカー
    スパッタ装置一覧
  - 会社サイト創業: 1980年従業員数: 670人資本金: 410,000,000円会社詳細
  - 住所: 山口県山陽小野田市新山野井3740
- メカトロ機器低プラズマダメージ低基板温度
  
  長州産業は、先進のエネルギー機器や有機デバイス製造装置など、幅広い分野で高度な技術を持つ製造メーカーです。再生可能エネルギーを中心としたエネルギー機器分野では業界トップクラスのシェアを持っています。
- - 芝浦メカトロニクス株式会社メーカー
    スパッタリング装置ラインナップ
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1939年従業員数: 1,211人資本金: 6,761,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市栄区笠間2-5-1
- 幅広い分野で実績有りデモ評価対応可能装置ラインナップ多数
  半導体・FPD製造装置の前後工程を手掛ける企業です。特定分野で高い技術力・独自性を持つグローバルニッチトップ製品を取り揃えています。コア技術を強みに製品開発から保守サービスまでトータルサポートします。
- - 株式会社コメット
    6元コンビナトリアル・マグネトロンスパッタ装置 CMS-6420
  - 会社サイト創業: 2007年従業員数: 5人資本金: 90,980,000円会社詳細
  - 住所: 茨城県茨城県つくば市東光台5－9－5
- 受託成膜コンビ成膜装置販売コンビナトリアル技術
  株式会社コメットは、国立研究開発法人・物質・材料研究機構(NIMS)発の認定ベンチャーとして設立され、コンビナトリアル薄膜成膜技術を用いた新機能性材料開発を行っています。
- - 株式会社島津製作所メーカー
    高速スパッタリング装置
  - 会社サイト上場(東証プライム) 創業: 1875年従業員数: 13,499人会社詳細
  - 住所: 京都府京都市中京区西ノ京桑原町1番地
- - 株式会社真空デバイスメーカー
    スパッタ装置一覧
  - 会社サイト創業: 1985年従業員数: 12人資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 茨城県水戸市飯島町1285-5
- - アリオス株式会社メーカー
    スパッタ装置
  - 会社サイト創業: 1972年資本金: 15,000,000円会社詳細
  - 住所: 東京都昭島市武蔵野3-2-20
- - 東横化学株式会社メーカー商社・代理店
    スパッタリング装置一覧
  - 会社サイト創業: 1952年従業員数: 355人会社詳細
  - 住所: 神奈川県川崎市中原区市ノ坪370
- - 誠南工業株式会社
    スパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1948年従業員数: 25人資本金: 24,000,000円会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市住之江区北加賀屋4丁目3番24号
- - 株式会社菅製作所
    スパッタ装置一覧
  - 会社サイト創業: 1946年従業員数: 32人資本金: 34,000,000円会社詳細
  - 住所: 北海道北斗市追分3-2-2
- - 株式会社片桐エンジニアリング
    三元マグネトロンスパッタ装置
  - 会社サイト創業: 1991年資本金: 10,000,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市鶴見区尻手3-5-34
- - 株式会社愛知真空
    平行移動式3元RFスパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 2013年会社詳細
  - 住所: 愛知県名古屋市南区豊二丁目21番8号
- - 株式会社富士アールアンドディー
    小型スパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1972年会社詳細
  - 住所: 静岡県富士宮市山宮3507-7
- - 株式会社ヒラノK&E
    スパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1980年従業員数: 51人資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 奈良県北葛城郡河合町川合101-1
- - 株式会社パスカル
    スパッタ装置一覧
  - 会社サイト創業: 1986年会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市阿倍野区昭和町1丁目16番4号
- - 株式会社テクノファイン
    スパッタ装置
  - 会社サイト創業: 1995年資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 宮城県仙台市太白区秋保町長袋字門前21
- - 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
    グランゼバッハ製スパッタ装置
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 千葉県市川市新井3丁目25番地14号
- - 株式会社シンクロン
    誘電体多層膜用ロードロック式スパッタ装置一覧
  - 会社サイト創業: 1951年従業員数: 561人資本金: 72,500,000円会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市西区みなとみらい4-3-5
- - 株式会社サンバック
    スパッタ装置一覧
  - 会社サイト創業: 1995年会社詳細
  - 住所: 東京都江東区扇橋1-21-3
- - 株式会社オプトラン
    メタルモードスパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1999年従業員数: 534人会社詳細
  - 住所: 東京都豊島区西池袋一丁目11番1号
- - 株式会社エピクエスト
    低圧RFスパッタ装置
  - 会社サイト創業: 2000年資本金: 30,000,000円会社詳細
  - 住所: 京都府京都市南区上鳥羽中河原51
- - 株式会社FKDファクトリ
    研究開発用小型スパッタ装置　FDS/FRS Series
  - 会社サイト会社詳細
  - 住所: 東京都東京都立川市曙町2-42-23-1411
- - 大亜真空株式会社
    スパッタ装置
  - 会社サイト創業: 1939年従業員数: 69人会社詳細
  - 住所: 千葉県八千代市大和田新田495
- - 北野精機株式会社
    スパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1958年資本金: 15,440,000円会社詳細
  - 住所: 東京都大田区中央7-17-3
- - サンユー電子株式会社
    スパッタ装置
  - 会社サイト創業: 1976年従業員数: 24人会社詳細
  - 住所: 東京都新宿区百人町1-22-6
- - ケーズテック合同会社
    小型スパッタ装置
  - 会社サイト創業: 2014年会社詳細
  - 住所: 茨城県稲敷郡阿見町中央二丁目16-24 マーブルハウスＡ号室
- - エイ・エス・ディ株式会社
    粉体スパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1995年会社詳細
  - 住所: 神奈川県横浜市中区野毛町3丁目160-4-406
- - アルバック機工株式会社
    スパッタリング装置
  - 会社サイト創業: 1971年従業員数: 264人資本金: 280,000,000円会社詳細
  - 住所: 宮崎県西都市大字茶臼原291-7

スパッタリング装置 2025年3月のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2025年3月の注目ランキングベスト10

順位	会社名	クリックシェア
1	パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社	12.4%
2	芝浦メカトロニクス株式会社	11.1%
3	長州産業株式会社	9.2%
4	ジャパンクリエイト株式会社	7.2%
5	株式会社島津製作所	7.2%
6	東横化学株式会社	4.6%
7	株式会社シンクロン	3.9%
8	テルモセラ・ジャパン株式会社	3.3%
9	株式会社片桐エンジニアリング	3.3%
10	誠南工業株式会社	3.3%