ロードロック式高周波マグネトロン3層スパッタリング装置 STNTRON HSR-351シリーズ 三弘エマテック株式会社
三弘エマテック株式会社の対応状況
返答率
100.0%
平均返答時間
44.4時間
この製品について
■製品説明
大学や研究所等での研究開発用途に最適な装置となります。また、多品種少量生産にも最適です。 装置の状態・各種パラメータがタッチパネルで設定・確認ができ視認性・操作性が各段に良くなりました。操作性：セミオート機能⇒ロードロック室から基板の投入・取出までの一連の捜査が簡単です。成膜補助機能⇒・成膜時間パラメータでスパッタ後の放電停止・ガス弁閉を自動運転。スパッタ処理時間を前もって設定ができ、作業者が常についていなくとも放電切り忘れ、ガス弁閉め忘れによる無駄な経費を削減します。 安全性：インターロックによる誤操作防止、アラーム機能による安全確保、異常処置内容が表示され復旧作業をサポート、異常履歴で発生日時を記憶メンテナンス性：ユーザーの装置稼働状況に合わせて、効率よくメンテナンスを行っていただくために任意に設定が行えるようメンテナンスパラメータを装備しています。■特徴
・低価格にて高性能で使いやすい製品です。 ・基板回成膜時：膜厚分布±5%以下 (Φ100mm内) ・基板静止時：膜厚分布±10%以下 (Φ40mm内) ・ロードロック室装備で、サイクルタイムを短縮 ・液晶タッチパネルで画面の視認性および操作性向上 ・真空排気・基板搬送・放電タイマーの自動化 ・装置改造、展開にも柔軟に対応-
シリーズ
ロードロック式高周波マグネトロン3層スパッタリング装置 STNTRON HSR-351シリーズ
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取扱企業
三弘エマテック株式会社
スパッタリング装置注目ランキング
スパッタリング装置の製品35点中、注目ランキング上位6点
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まとめて見積もり
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返答率96%以上
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ロードロック式高周波マグネトロン3層スパッタリング装置 STNTRON HSR-351シリーズ 品番2件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | メーカー | 形成膜 | 膜厚分布 | スパッタ方式 | 電極間距離 | ターゲットホルダー | 基板サイズ | 基板取付枚数 | 回転数 | ヒーター | 主ポンプ | 補助ポンプ | 到達圧力 | ガス導入系 | 高周波電源 | 冷却水 温度 | 冷却水 流水 | 冷却水 圧力 | スパッタ用Arガス | チャンバーリーク用N2ガス | ポンプリーク用N2ガス | 圧空 | ポンプ排気 許容排気口圧力 | 電源 | アース | 重量 | 設置面積 | 到達圧力 ロードロック室 | 到達圧力 スパッタ室 | オプション |
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HSR-351 |
要見積もり | 島津産機システムズ (株) | 金属、絶縁物等 | 回転時⇒Φ100mmエリア±5%、静止時⇒Φ40mmエリア±10% | デポアップ | 70~110mm | 2インチ 3基 | 回転時⇒Φ150mm、静止時⇒Φ50mm | 1枚 | MAX20rpm | MAX300℃ (基板表面) | 油拡散真空ポンプ (DP) | 油回転真空ポンプ (RP) | 10-4Pa台 | Ar-マスフローコントローラー (MFC) 1系統 | 13.6MHz 200W | 5~25℃ | 6L/min | 0.2~0.3MPa・G | 0.1~0.2MPa・G | 0.1~0.2MPa・G (空気でも可) | 0.02MPa・G (空気でも可) | 0.4~0.5MPa・G | 20kPa・G以下 | AC200V、3Φ、60Hz、5KVA | Aタイプ | 480Kg | W1,930mm×D1,100mm×H1,650mm | - | - | オイルミストトラップ、液体窒素トラップ、逆スパッタ機構 | |
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HSR-351L (ロードロック付き) |
要見積もり | 島津産機システムズ (株) | 金属、絶縁物等 | 回転時⇒Φ100mmエリア±5%、静止時⇒Φ40mmエリア±10% | デポアップ | 70~110mm | 2インチ 3基 | 回転時⇒Φ150mm、静止時⇒Φ50mm | 1枚 | MAX20rpm | MAX300℃ (基板表面) | 油拡散真空ポンプ (DP) | 油回転真空ポンプ (RP) | - | Ar-マスフローコントローラー (MFC) 1系統 | 13.6MHz 200W | 5~25℃ | 6L/min | 0.2~0.3MPa・G | 0.1~0.2MPa・G | 0.1~0.2MPa・G (空気でも可) | 0.02MPa・G (空気でも可) | 0.4~0.5MPa・G | 20kPa・G以下 | AC200V、3Φ、60Hz、5KVA | Aタイプ | 500Kg | W2,800mm×D1,100mm×H1,650mm | 6.7Pa | 10-4Pa台 | オイルミストトラップ、液体窒素トラップ、逆スパッタ機構 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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