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薄膜形成装置 研究開発用スパッタリング装置 品番6件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理基板 | ターゲット / カソードタイプ | ターゲット / サイズx個数 | スパッタ方向 | 基板台 / 回転機構 | 基板台 / 基板加熱 | 基板台 / 膜厚分布 | 基板台 / 搬送方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 操作方法 / 排気動作 | 操作方法 / 搬送操作 | 操作方法 / 成膜動作 | スパッタ電源 / RF | スパッタ電源 / DC | ガス導入系 | ターゲット / サイズ x 個数 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
SRL3320 |
要見積もり | ¢180mm x 1枚 | プレーナマグネトロン | ¢75m x 3ヶ | アップ | ◯ | 基板台で300℃ | ±5%以内 (¢50) | トランスファーロッド | 8.0 x 10-⁵Pa以下 | 5.0 x 10-⁴Paまで25分以内 | ターボ分子ポンプ | 自動 | 手動 | 半自動 (タイマー式) | 500W | オプション | 2系統 | - | ||
SDL4320 |
要見積もり | ¢200mm x 1枚 | プレーナマグネトロン | ¢100mm x 3ヶ | アップ | ◯ | 基板台で300℃ | ±10%以内 (¢180) | トランスファーロッド | 8.0 x 10-⁵Pa以下 | 5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 | ターボ分子ポンプ | 自動 | 手動 | 半自動 (タイマー式) | オプション | 3kW | 2系統 | - | ||
STL5520 |
要見積もり | ¢200mm x 1枚 | プレーナマグネトロン | ¢75m x 5ヶ | アップ | ◯ | 基板台で700℃ | ±10%以内 (¢200) | 多段式ロッド | 8.0 x 10-⁵Pa以下 | 5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 | ターボ分子ポンプ | 自動 | 自動 | 自動 | 500W | 3kW | 2系統 | - | ||
|
SRV3100 |
要見積もり | ¢100mm | プレーナマグネトロン | ¢75m x 1ヶ | アップ | - | 基板台で200℃ | ±10%以内 (¢50) | - | 5.0 x 10-⁴Pa以下 | 9.9 x 10-⁴Paまで20分以内 | 油拡散ポンプ | 手動 | - | 手動 (タイマー式) | 500W | オプション | 1系統 | - | |
|
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SRV3300 |
要見積もり | ¢190mm | プレーナマグネトロン | ¢75m x 3ヶ | ダウン | ◯ | 基板台で300℃ | ±5%以内 (¢180) | - | 5.0 x 10-⁴Pa以下 | 9.9 x 10-⁴Paまで20分以内 | 油拡散ポンプ | 手動 | - | 手動 (タイマー式) | 500W | オプション | 2系統 | - | |
|
SRV4320 |
要見積もり | ¢280mm | プレーナマグネトロン | - | アップ | ◯ | 基板台で300℃ | ±5%以内 (¢200) | - | 5.0 x 10-⁴Pa以下 | 9.9 x 10-⁴Paまで20分以内 | ターボケヱポンプ | 手動 | - | 手動 (タイマー式) | 1kW | オプション | 2系統 | ¢100mm x 3ヶ |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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