スパッタ装置 全自動機能付き貴金属コーター MSP-20-UM 株式会社真空デバイス
この製品について
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シリーズ
スパッタ装置 全自動機能付き貴金属コーター MSP-20-UM
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取扱企業
株式会社真空デバイス
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スパッタ装置 全自動機能付き貴金属コーター MSP-20-UM 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ターゲット | ターゲット金属 | 印加電圧/電流 | 試料ステージ | ターゲット－試料間隔 | 試料サイズ | チャンバーサイズ | タイマー | 排気系 | 到達真空度 | 雰囲気ガス導入 | 安全対策 | 装置サイズ | 電源 |
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MSP-20-UM |
要見積もり | φ50 m mマグネトロン方式 | (厚さ0.1mm)Ｐｔ(標準)、Ａｕ、Ａｕ-Ｐｄ、Ｐｔ-Ｐｄ、Ｐｄ、Ａｇ(板厚0.5mm) | 電圧ＤC0~700V/電流DC0~50mA | 標準：φ50mmフローティング方式オプション：φ50mm傾斜機構付き回転試料台 | 40mm | 標準：≦φ50mm、高さ：≦25mm傾斜・回転試料台使用時：(傾斜時)直径≦φ20mm、高さ：≦20 m m(平面時)直径：≦φ50mm、高さ：≦25 m m | 内径149mmｘ深さ82mm | OMRON社製電子タイマー | 外置きRP50ℓ/min15kg | 1(Pa)以下 | 1/4’スウェージロック接続、0.05ＭPa以下使用。 | 系統別フューズ、上蓋開放感知センサー | 本体W350mm×H347mm×D420mm16kg | AC100V,15Aアース線付3芯プラグ使用3m |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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