スパッタ装置 電子顕微鏡向け全自動マグネトロンスパッタ装置 MSP-1S-MSP-1S
スパッタ装置 電子顕微鏡向け全自動マグネトロンスパッタ装置 MSP-1S-株式会社真空デバイス

スパッタ装置 電子顕微鏡向け全自動マグネトロンスパッタ装置 MSP-1S 株式会社真空デバイス


この製品について

ターゲットの背面に強力な磁石を用いてカソード表面層でのイオン化を促進し、磁界によりイオンをターゲットに衝突させて金属分子を放出させる原理を応用したのがマグネトロンスパッタ装置です。 電子顕微鏡用途では主に金、白金といった貴金属が使われます。また、そのほかの金属ターゲットをスパッタできる上位機種もラインナップしております。

  • シリーズ

    スパッタ装置 電子顕微鏡向け全自動マグネトロンスパッタ装置 MSP-1S



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スパッタ装置 電子顕微鏡向け全自動マグネトロンスパッタ装置 MSP-1S 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) コーティング室サイズ ターゲット電極サイズ 試料ステージサイズ ターゲット金属 ターゲット-試料ステージ間隔 最大試料サイズ 最高放電電流/印加電圧 使用電流範囲 コーティングむら(φ50mm面内) 電源 本体外形寸法 本体重量
スパッタ装置 電子顕微鏡向け全自動マグネトロンスパッタ装置 MSP-1S-品番-MSP-1S

MSP-1S

要見積もり 内径120mm、高さ66mm 直径47.5mm(実効面径) 直径50mm t=0.1、φ50、Au-Pd(標準)オプション:Au、Pt、Pt-Pd 34mm φ48mm高さ20mm 50mA/500V 30mA~50mA ≦10% AC100V,10Aアース線付き3芯プラグ W200mm×D340mm×H350mm 14kg

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社真空デバイスは、真空技術を使った電子顕微鏡周辺機器と実験用途向けの真空装置を開発している企業です。 主な製品は、マグネトロンスパッタ装置やプラズマCVD装置、蒸着装置プラズマ処理装置・凍結乾燥装置などを展開して...

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  • 本社所在地: 茨城県
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