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スパッタリング装置のメーカー35社一覧や企業ランキングを掲載中！スパッタリング装置関連企業の2025年7月注目ランキングは1位:パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社、2位:ジャパンクリエイト株式会社、3位:芝浦メカトロニクス株式会社となっています。 スパッタリング装置の概要、用途、原理もチェック！
スパッタリング装置はごく薄い膜を対象物の表面に均一に作製するスパッタリングを行う装置です。
スパッタリングとは、真空蒸着やイオンプレーティングと同じく物理気相成長法 (PVD法) の一つです。主に半導体や液晶の成膜をはじめとしたさまざまな分野で活用いられています。また、対象物の表面を清浄化する際に用いられることもあります。
2025年7月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社 |
12.2%
|
| 2 | ジャパンクリエイト株式会社 |
8.4%
|
| 3 | 芝浦メカトロニクス株式会社 |
6.7%
|
| 4 | 長州産業株式会社 |
6.7%
|
| 5 | アルバック機工株式会社 |
6.7%
|
| 6 | テルモセラ・ジャパン株式会社 |
4.6%
|
| 7 | 東横化学株式会社 |
4.6%
|
| 8 | 株式会社コメット |
4.2%
|
| 9 | 株式会社島津製作所 |
3.4%
|
| 10 | 株式会社サンバック |
2.9%
|
項目別
使用用途
#MEMS
#ガラス基板
#研究開発
#絶縁膜
#電子顕微鏡
#電子部品
#導電膜
#半導体
#量産
スパッタ方式
DCスパッタ型
RFスパッタ型
マグネトロンスパッタ型
成膜環境
高真空型
中真空型
ターゲット構成
単一ターゲット型
多元ターゲット型
ロータリターゲット型
対象搬送方式
静止基板型
回転基板型
スルーフィード型
処理基板 mm
20 - 50
50 - 100
100 - 150
150 - 200
200 - 300
300 - 700
スパッタ方向
アップ
ダウン
装置構成
エッチング室
カセット室
スパッタ室
搬送室
ロードロック室
基板加熱 ℃
100 - 200
200 - 300
300 - 400
400 - 500
500 - 800
41 点の製品がみつかりました
41 点の製品
神港精機株式会社
2120人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
Siウェハ・ガラス・セラミックス等基板・用途を問わず柔軟に対応可能な最新型スパッタリング装置です。 1991年に発表されたR&D用マルチ...
3種類の品番
神港精機株式会社
1280人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
省スペースを実現したロードロック式スパッタリング装置です。 カセット室に最大Φ270のトレーが、標準で12枚セット可能で、連続スパッタ...
3種類の品番
神港精機株式会社
870人以上が見ています
最新の閲覧: 19時間前
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3種類の品番
神港精機株式会社
750人以上が見ています
スパッタ室にて 10⁻⁷Pa のバックグランドの排気性能を持つ超高真空対応の牧葉式スパッタリング装置です。 ロードロック室・カセット室...
神港精機株式会社
2520人以上が見ています
最新の閲覧: 21分前
実験や基礎研究に最適なコンパクトなハード構成です。ローコストで信頼性の高いハードを提供いたします。 ロードロックタイプ装置仕様 ...
6種類の品番
株式会社真空デバイス
670人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
33.7時間 返答時間
ターゲットの背面に強力な磁石を用いてカソード表面層でのイオン化を促進し、磁界によりイオンをターゲットに衝突させて金属分子を放出...
三弘エマテック株式会社
560人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
25.4時間 返答時間
■製品説明 大学や研究所等での研究開発用途に最適な装置となります。また、多品種少量生産にも最適です。 装置の状態・各種パラメータ...
2種類の品番
三弘エマテック株式会社
380人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
25.4時間 返答時間
製品説明 小型の高周波スパッタリング装置で省スペースで使用可能です。金属、半導体、絶縁物の成膜が可能で、研究開発等の実験用に最適...
三弘エマテック株式会社
320人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
25.4時間 返答時間
■製品説明 二種類の膜を片面ずつ成膜可能なスパッタ装置です。 ■用途 各種電子部品への電極用金属膜の形成 ■オプション ・パワー変調...
株式会社FKDファクトリ
390人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
基本仕様：DC1源スパッタ ■拡張オプション ・2源仕様マグネトロンカソード追加 ・高真空仕様 (ターボ分子ポンプ追加) ・反応性スパッ...
アルバック販売株式会社
620人以上が見ています
最新の閲覧: 21時間前
100.0% 返答率
183.4時間 返答時間
■概要 これまで培ったアルバックの豊富な成膜技術と経験をもとに、幅広く対応できる装置です。多様性・拡張性を持たせながら、小型化が...
アルバック販売株式会社
260人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
100.0% 返答率
183.4時間 返答時間
■概要 マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。高生産性、省...
アルバック販売株式会社
370人以上が見ています
最新の閲覧: 43分前
100.0% 返答率
183.4時間 返答時間
■概要 マルチチャンバ型装置ENTRONTM N300は、適切な投資効率を実現するジャストフィット装置です。PVD、CVDだけでなく、NVM用エッチン...
アルバック販売株式会社
290人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
100.0% 返答率
183.4時間 返答時間
■概要 SMDシリーズは金属膜、ITO、IGZO、誘電体膜等を成膜する枚葉式スパッタリング装置です。SMDシリーズだけで1000台をこえる豊富な納...
アリオス株式会社
400人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
2.4時間 返答時間
■概要 小型スパッタ装置 SS-DC RF301 スパッタリング (スパッタと略称することが多い) を使った成膜装置です。スパッタによる成膜の特色...
アリオス株式会社
290人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
2.4時間 返答時間
■概要 スパッタリング (スパッタと略称することが多い) を使った成膜装置です。スパッタによる成膜の特色は、基板に飛来する粒子が比較...
アリオス株式会社
360人以上が見ています
最新の閲覧: 16時間前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
2.4時間 返答時間
■概要 本装置は、試料の表面に均一に成膜させるため、ドラム型の試料ホルダに試料を入れ、回転させながら成膜を行います。試料ホルダの...
テルモセラ・ジャパン株式会社
290人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
29.2時間 返答時間
■MiniLab ʻPlug & Playʼ 感覚でコンポーネントを組合せるモジュラーデザイン。必要な成膜条件を満たす専用機のセミカスタムメイドが可能...
テルモセラ・ジャパン株式会社
130人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
29.2時間 返答時間
特徴 ■高品質膜 研究開発の現場で求められる均一性の高い「高品質」な薄膜を作成するための様々な条件を揃えます。nanoシリーズは魂魄と...
テルモセラ・ジャパン株式会社
130人以上が見ています
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
29.2時間 返答時間
■優れた基本性能 ・到達真空度 5x10-5 Pascal ・SUS304高真空チャンバー ・素早い真空到達 (10-3Paまで約10分) ・膜均一性:±3% (絶縁膜...
株式会社エピクエスト
100人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
18.7時間 返答時間
高真空対応のスパッタガンを用いることにより、10-2Pa台においても薄膜形成が可能です。最高5元までのスパッタガンの設置が可能です。
株式会社エピクエスト
100人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
18.7時間 返答時間
高真空対応のスパッタガンを用いることにより、10-2Pa台においても薄膜形成が可能です。最高5元までのスパッタガンの設置が可能です。
株式会社エーティーエー
50人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
■特徴 全方位揺動 (ギンブルモーション) ステージにより回り込みが良いコーティングが可能。完全ドライ排気により試料の汚染防止 (ター...
株式会社昭和真空
10人以上が見ています
最新の閲覧: 21時間前
■二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタリング装置 本装置は水晶振動子のベース電極成膜を目的として開発したロードロック式スパッタリ...
株式会社昭和真空
10人以上が見ています
■二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタリング装置 本装置は水晶振動子のベース電極成膜を目的として開発したロードロック式通過型スパ...
株式会社昭和真空
20人以上が見ています
■二種類の膜を片面ずつ成膜可能なスパッタリング装置 基板反転機構を利用し両面成膜機構を採用した小型カルーセル式スパッタリング装置...
株式会社オプトラン
20人以上が見ています
NSC-15はメタル (金属) モード・スパッタリング法と高反応性プラズマ源を組み合せた量産用光学薄膜スパッタ装置です。高スループットを...
株式会社オプトラン
10人以上が見ています
NSC-2350は大型基板に対応した光学薄膜用メタルモード・スパッタ装置です。モバイル端末や車載パネルのAR+AS膜の生産に適しています。 ...
株式会社オプトラン
10人以上が見ています
OWLS-1800は半導体光学に向け、新たに開発した水平型メタルモード・スパッタ成膜装置です。最大12インチのウェハーに対応し、両面同時成...
スパッタリング装置はごく薄い膜を対象物の表面に均一に作製するスパッタリングを行う装置です。
スパッタリングとは、真空蒸着やイオンプレーティングと同じく物理気相成長法 (PVD法) の一つです。主に半導体や液晶の成膜をはじめとしたさまざまな分野で活用いられています。また、対象物の表面を清浄化する際に用いられることもあります。
スパッタリング装置は、半導体、液晶、プラズマディスプレイなどの薄膜作製に利用されています。また、他のPVD法の蒸着装置と比較して、スパッタリング装置は高融点の金属や合金の成膜が可能であるため、用途が広い特徴があります。
最近では、プラスチックやガラス、フィルムの表面に金属を成膜して導電性を持たせ、透明電極やタッチパネルの配線としても利用されており、スパッタリング装置の用途の幅はさらに広がっています。
他に、光触媒作用のある酸化チタンを表面にコーティングし、抗菌作用を持たせた医療器具や雑貨等も販売されています。また、走査型電子顕微鏡 (SEM) の試料調製など分析用途でも利用されています。
図1. スパッタリング装置の構造
スパッタリング装置は、主に下記のもので構成されています。
真空チャンバー内に基板を保持する試料台とスパッタ材料を供給するスパッタターゲットがあり、真空ポンプとガスの供給系がチャンバーにつながっています。
図2. スパッタリングの原理
スパッタリング装置の原理は、真空下で高電圧をかけ、膜材料の原子をはじきとばして対象物表面に成膜するものです。まず、ポンプによってチャンバー内を十分な減圧状態にした後、アルゴンなどの不活性ガスを一定圧力で装置内に充填します。
薄膜の材料となるターゲットに高い陰電圧をかけグロー放電を起こすと、あらかじめ装置内に充填されていたアルゴンがプラズマ化され、陰極上のターゲットに衝突し、ターゲット上の原子や分子がはじき出されます。はじき出されたターゲット原子が、陽電圧をかけた対象物の表面に堆積し、薄膜を作製することができます。
スパッタリングの方式には、様々な種類があります。
図3. 主なスパッタリング装置の種類
直流電圧を電極間にかける方法です。構造が単純などの様々な利点がありますが、試料が高温のプラズマによる損傷を受ける可能性があり、スパッタリングターゲットが絶縁体の場合、製膜が正常に行えないなどの欠点があります。
高周波の交流電圧電極間にかける方法です。DC方式では製膜できないようなセラミックスやシリカなどの酸化物や金属酸化物、窒化物などの物質でも製膜することができます。
ターゲット側に磁石で磁界をつくり、プラズマをターゲット付近にとどめる方法です。試料のプラズマによる損傷が減少するだけでなく、プラズマの生成速度が向上するため、製膜速度が速くなります。直流、交流、高周波交流など様々な電源方式で利用できます。一方で、ターゲットの減り方にムラができ、利用効率が低い傾向にあります。
イオンをターゲットや試料と別の場所でつくり、ターゲットに加速してあてる方法です。チャンバー内で放電を行わない方法なので、試料への影響が最小限で済むだけでなく、不純物の付着やターゲットの導電性などを考慮する必要がありません。
上記以外にも電子サイクロトロン (ECR) など様々な種類のスパッタリング装置があり、用途や予算に応じて適切に選択する必要があります。
スパッタリング装置による成膜は、膜厚を均一にすることができ、かつ電気的性質を利用しているので、膜の強度を高くすることができます。他のPVD法では難しい、高融点金属や合金材料の膜が作製できます。また、アルゴンなどの不活性ガスの代わりに酸素を充填し、酸化物の成膜を行う方法もあります。
一方で、成膜にかかる時間が他のPVD法と比較して長いことや、発生したプラズマによるスパッタ対象を損傷するリスクなどのデメリットもあります。
参考文献
https://www.oike-kogyo.co.jp/research/column/sputtering/
http://www.sanyu-electron.co.jp/c/index.php?cID=172
https://plastics-japan.com/archives/2015
