シリーズ
多層膜スパッタリング装置 S600スパッタリング装置の製品35点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応基板サイズ | ターゲットサイズ | プロセスモジュール数 | プロセスガス種 |
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S600 |
要見積もり | φ3インチ ~ φ6インチ | φ200, φ250, φ300, φ350mm | Max.4 基 +1 基 (オプション) | Ar, N2, O2 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。