薄膜形成装置インラインスパッタリング装置神港精機株式会社

この製品について

ガラス基板を対象とした通過成膜型インラインタイプのスパッタリング装置です。

矩形カソードを多元で装備しておりプロセスや生産数に合わせて、成膜室、加熱室、冷却室等の組み合わせを任意に選択できます。
大型基板に均一な膜厚分布性能を持ち、安定した量産プロセスを実現します。

【特徴】
目的にあわせ実績機種より個別要求に柔軟に対応いたします。
高効率矩形カソードを装備しており、長期間安定した性能を実現します

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
薄膜形成装置インラインスパッタリング装置

取扱企業
神港精機株式会社

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