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スパッタリング装置のメーカー38社一覧や企業ランキングを掲載中！スパッタリング装置関連企業の2025年8月注目ランキングは1位:パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社、2位:芝浦メカトロニクス株式会社、3位:ジャパンクリエイト株式会社となっています。 スパッタリング装置の概要、用途、原理もチェック！
スパッタリング装置はごく薄い膜を対象物の表面に均一に作製するスパッタリングを行う装置です。
スパッタリングとは、真空蒸着やイオンプレーティングと同じく物理気相成長法 (PVD法) の一つです。主に半導体や液晶の成膜をはじめとしたさまざまな分野で活用いられています。また、対象物の表面を清浄化する際に用いられることもあります。
2025年8月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社 |
15.1%
|
| 2 | 芝浦メカトロニクス株式会社 |
11.3%
|
| 3 | ジャパンクリエイト株式会社 |
9.4%
|
| 4 | 株式会社サンバック |
7.5%
|
| 5 | 長州産業株式会社 |
7.5%
|
| 6 | アルバック機工株式会社 |
7.5%
|
| 7 | テルモセラ・ジャパン株式会社 |
5.7%
|
| 8 | 株式会社コメット |
3.8%
|
| 9 | 株式会社島津製作所 |
3.8%
|
| 10 | 株式会社愛知真空 |
1.9%
|
項目別
使用用途
#MEMS
#ガラス基板
#研究開発
#光学
#絶縁膜
#電子顕微鏡
#電子部品
#導電膜
#半導体
#量産
スパッタ方式
DCスパッタ型
RFスパッタ型
マグネトロンスパッタ型
グロー放電スパッタ型
成膜環境
高真空型
中真空型
ターゲット構成
単一ターゲット型
多元ターゲット型
ロータリターゲット型
対象搬送方式
静止基板型
回転基板型
スルーフィード型
処理基板 mm
20 - 50
50 - 100
100 - 150
150 - 200
200 - 300
300 - 700
スパッタ方向
アップ
ダウン
装置構成
エッチング室
カセット室
スパッタ室
搬送室
ロードロック室
基板加熱 ℃
100 - 200
200 - 300
300 - 400
400 - 500
500 - 800
2 点の製品がみつかりました
2 点の製品
ジャパンクリエイト株式会社
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■特徴 ・当社独自のスパッタカソードを搭載 ・ワークステージに4軸機構 (昇降、公 転、自転、チルト) を搭載し、立体物成膜での高いカ...
ジャパンクリエイト株式会社
350人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
114.9時間 返答時間
■特徴 ・当社独自のスパッタカソードを搭載 ・基板ステージに3軸機構 (昇降、公転、自転) を搭載し、均一な膜厚分布を実現 ・当社独自の...
