硬質膜形成装置 アーク放電型 マグネトロンスパッタリング装置-アーク放電型 マグネトロンスパッタリング装置
硬質膜形成装置 アーク放電型 マグネトロンスパッタリング装置-神港精機株式会社

硬質膜形成装置 アーク放電型 マグネトロンスパッタリング装置 神港精機株式会社


この製品について

独自開発による高密度マグネトロンカソード (アーク放電型マグネトロンカソード) を搭載した全自動スパッタリング装置です。 新開発アーク放電型マグネトロンカソードは従来型カソードに比べ低圧力・低電圧・大電流での成膜が特徴です。 独自の高密度プラズマスパッタにより他のPVD法では得られない緻密で平滑な硬質膜が形成できます。膜質は緻密化しており微細な結晶によるバルクに近い構造が得られています。 膜の表面平滑性にも非常に優れています。ドロップレットが無く後処理 (研摩等) が不要な硬質窒化膜・炭窒化膜が成膜できます。 特に金型や切削工具などのコーティングにおいて膜質と併せて大きなメリットとなっています。また水素フリーのDLC膜 (窒化炭素膜) も成膜可能で、自動車部品の摺動性向上を目的に開発を進めています。 本装置は豊富な実績を持つPIG式DLC膜形成装置と基本設計を共通化しています。 アーク放電型マグネトロンカソードを最大4元とDLC膜用のPIG式プラズマガンが搭載可能です。 ナノレベルの複合多層膜の形成や新規合金薄膜の作成にも極めて有効です。 PIG式DLC膜形成装置と複合化でADMS (アーク放電型マグネトロンスパッタ) 硬質膜+PIG式DLC摺動膜の表面処理技術として今後の用途開拓が期待できます。 アーク放電型マグネトロンスパッタによるTiN膜は従来のマグネトロンスパッタと比較して、皮膜の組織が緻密です。

  • シリーズ

    硬質膜形成装置 アーク放電型 マグネトロンスパッタリング装置



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硬質膜形成装置 アーク放電型 マグネトロンスパッタリング装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 処理物 コーティングエリア 処理量 膜種 / Ti系 膜種 / Cr系
硬質膜形成装置 アーク放電型 マグネトロンスパッタリング装置-品番-アーク放電型 マグネトロンスパッタリング装置

アーク放電型 マグネトロンスパッタリング装置

要見積もり 金型自動車部品切削工具冶工具等 Φ600 × 500L Φ140 × 500Lの場合 12本 (自公転) TiN,CiN,TiAIN等 CrN,AICr等

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

神港精機株式会社は1949年に設立した、真空ポンプ・真空装置を中心にアセンブリ装置・光学検査装置を製造するメーカーです。 技術開発型の企業として、「真空技術」を応用した製造装置及びコンポーネントを主軸とした「モノづくり...

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