スパッタ装置 小型マグネトロンスパッタ装置 MSP-mini-MSP-mini
スパッタ装置 小型マグネトロンスパッタ装置 MSP-mini-株式会社真空デバイス

スパッタ装置 小型マグネトロンスパッタ装置 MSP-mini 株式会社真空デバイス


この製品について

ターゲットの背面に強力な磁石を用いてカソード表面層でのイオン化を促進し、磁界によりイオンをターゲットに衝突させて金属分子を放出させる原理を応用したのがマグネトロンスパッタ装置です。 電子顕微鏡用途では主に金、白金といった貴金属が使われます。また、そのほかの金属ターゲットをスパッタできる上位機種もラインナップしております。

  • シリーズ

    スパッタ装置 小型マグネトロンスパッタ装置 MSP-mini



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スパッタ装置 小型マグネトロンスパッタ装置 MSP-mini 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ターゲット 成膜対象金属 ターゲット金属寿命(t=10nm時) 試料ステージ ターゲット-試料間隔 試料サイズ チャンバーサイズ タイマー 排気系 安全対策 装置サイズ 電源
スパッタ装置 小型マグネトロンスパッタ装置 MSP-mini-品番-MSP-mini

MSP-mini

要見積もり φ30mmマグネトロン型 Au(標準)、オプション(Ag) Au(約800回)、Ag(約4000回) φ82mm 25.5mm 有効径φ30mm、高さ15mm以下 内径90mmx深さ42mm OMRON社製電子タイマー 外置きRP5ℓ/min 系統別フューズ付 本体W190mm×H183mm×D265mm5kg AC100V,10Aアース線付3芯プラグ使用3m

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社真空デバイスは、真空技術を使った電子顕微鏡周辺機器と実験用途向けの真空装置を開発している企業です。 主な製品は、マグネトロンスパッタ装置やプラズマCVD装置、蒸着装置プラズマ処理装置・凍結乾燥装置などを展開して...

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  • 本社所在地: 茨城県
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