薄膜形成装置 ロードロックスパッタリング装置 神港精機株式会社
この製品について
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シリーズ
薄膜形成装置 ロードロックスパッタリング装置
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取扱企業
神港精機株式会社
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薄膜形成装置 ロードロックスパッタリング装置 品番3件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理基板 | ターゲット / カソードタイプ | ターゲット / サイズx個数 | スパッタ方向 | 基板台 / 回転機構 | 基板台 / 基板加熱 | 基板台 / 膜厚分布 | 基板台 / 搬送方法 | 排気系 / 到達压力 | 排気系 / 排気時間 | 排気系 / 主ポンプ | 操作方法 / 排気動作 | 操作方法 / 成膜動作 | スパッタ電源 / RF | スパッタ電源 / DC | ガス導入系 |
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STL5321 |
要見積もり | ¢270mmトレイX16枚 | プレーナマグネトロン | ¢100mm x 3ヶ | ダウン | ◯ | 基板台で500℃ | ±10%以内 (¢210) | Rθロボット | 2.0 x 10-⁵Pa以下 | 5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 | ターボ分子ポンプ | 自動 | 自動 | 500W | 3kW | 2系統 | |
STL5111 |
要見積もり | ¢270mmトレイ x 16枚 | RMC | ¢350mm x 1ヶ | アップ | オプション | 基板台で500℃ | ±5%以内 (¢200) | Rθロボット | 2.0 x 10-⁵Pa以下 | 5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 | クライオポンプ | 自動 | 自動 | オプション | 15kW | 2系統 | ||
STL5311 |
要見積もり | ¢100mmウェハ x 3枚 | プレーナマグネトロン | ¢100mm x 3ヶ | アップ | ◯ | 基板台で500℃ | ±10%以内 (¢90) | 伸縮アーム | 2.0 x 10-⁵Pa以下 | 5.0 x 10-⁴Paまで20分以内 | クライオポンプ | 自動 | 自動 | 500W | 3kW | 2系統 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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