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エッチング装置のメーカー61社一覧や企業ランキングを掲載中！エッチング装置関連企業の2025年12月注目ランキングは1位:株式会社山縣機械、2位:株式会社トーア電子、3位:芝浦メカトロニクス株式会社です。
エッチング装置とは、半導体などの製造工程であるエッチング加工に利用される装置です。
エッチング加工は、加工対象の表面を切削または溶解させて加工する技術を指します。エッチング装置では、半導体ウェハ上に形成した薄膜などにエッチング加工を行い、CPUなどの電子デバイス製造に必要不可欠な装置です。
近年の電子デバイスの高機能化に伴い、エッチングはより微細な加工が求められています。工程も複雑化しており、1つの電子部品を製造するためにエッチング装置を複数台使用されることも多くあります。
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2025年12月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社山縣機械 |
15.1%
|
| 2 | 株式会社トーア電子 |
9.4%
|
| 3 | 芝浦メカトロニクス株式会社 |
7.5%
|
| 4 | 進和工業株式会社 |
7.5%
|
| 5 | 芝浦エレテック株式会社 |
5.7%
|
| 6 | パナソニック株式会社 |
3.8%
|
| 7 | 株式会社日立ハイテクソリューションズ |
3.8%
|
| 8 | 株式会社サンワマシナリー |
3.8%
|
| 9 | 新明和工業株式会社 |
3.8%
|
| 10 | ブルーオーシャンテクノロジー株式会社 |
3.8%
|
項目別
使用用途
#半導体製造
#ディスプレイ製造
#MEMS加工
#センサー製造
#光デバイス製造
#電子部品製造
#フォトマスク加工
#ウェーハ加工
#ナノ加工
#試作開発
#学術研究
エッチング方式
ウェットエッチング型
ドライエッチング型
イオンビームエッチング型
プラズマ生成方式
高周波プラズマ型
インダクティブプラズマ型
キャパシティブプラズマ型
搬送方式
バッチ式
シングルウェハ式
対象材料
シリコン対応型
化合物半導体対応型
金属膜対応型
絶縁膜対応型
ウェハサイズ mm
50 - 100
100 - 150
150 - 200
200 - 300
300 - 350
プラズマソース
CCP型
ICP
RF
プラズマ
マイクロ波
圧力制御
APC制御
FAPC
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■概要 PlasmaPro 80 リアクティブイオンエッチング (RIE) は、コンパクトな省スペースのシステムであり、多様なエッチングとデポジショ...
株式会社三明
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GaNウェハ低ダメージエッチング装置 ■光源 波長 UVA UVC選択可能 ■加熱機能 エッチング溶液加熱により高速な深堀エッチング可能 ■自...
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S-TEC株式会社
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■特徴 ・対応ウェーハサイズ：4～8インチ ・対応薬液：各種有機、酸、アルカリ ※実験機から量産機まで対応します
S-TEC株式会社
30人以上が見ています
■特徴 ・ウェーハ表面に発生する水素ガス (気泡) を回転動作により除去→エッチング斑の抑制をします ・Si基板をTMAH、KOH等で深堀します
検索結果 53件 (2ページ/2ページ)
レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです
