成膜装置
メーカー15社一覧 【2024年】
成膜装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、成膜装置のメーカー15社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。成膜装置関連企業の2024年3月注目ランキングは1位:ジャパンクリエイト株式会社、2位:サムコ株式会社、3位:株式会社アルバックとなっています。
成膜装置とは
成膜装置とは、その名の通り膜を作成するための装置のことです。
薄膜の厚さや純度、有機物・無機物に応じて、さまざまな種類の成膜装置が開発されており、例えば半導体関連の材料のように高純度で均一な膜が必要な場合は、高真空の成膜装置が利用されます。
一方、フィルムのような大面積で大量生産が求められる製品に対しては、ロールトゥロール式やバッチ式などの方法が選択されます。また、溶液を乾燥させて成膜する際には、スピンコート式やインクジェット式といった装置が活用され、溶液を塗布した後、乾燥させて成膜を行うことが可能です。
成膜装置は、用途や条件に応じて適切なタイプを選択することが重要です。その選択によって、より効率的で高品質な製品の開発が可能となります。
成膜装置の使用用途
高純度金属酸化物用の成膜装置は、半導体部品など高純度で薄く均一な金属酸化物の成膜に適しており、高真空の成膜装置が用いられます。また、車のヘッドランプやカメラレンズなど、光の反射を抑制する薄い金属反射膜を表面に成膜する際にも同様の装置が利用可能です。
一方、樹脂フィルムや薄い金属箔など大量生産が求められる製品には、ロールトゥロール式やバッチ式などの成膜装置が適しています。これらの製品はマイクロメートルオーダーの厚みを持ちます。
また、有機EL材料などのプリンテッドエレクトロニクスと呼ばれる有機半導体薄膜は、インクジェット式の成膜装置で作られます。
成膜装置の原理
成膜装置には、高真空成膜装置とロールトゥロール法などの大量生産用成膜装置があります。
1. 高真空成膜装置
高真空の成膜装置は、物理的気相成長法 (PVD) と化学的気相成長法 (CVD) の2種類があります。PVD法には蒸着法とスパッタリング法があり、方法は多種多様です。蒸着法では、膜の材料を加熱して揮発させ、装置上部に取り付けた基板に付着させて膜を成長させます。
スパッタリング法では、電圧によって加速した粒子を膜の材料にぶつけて飛ばし、飛んだ粒子が装置上部に取り付けた基板に付着して膜を成長させます。いずれの方法も、高真空条件で大気中に含まれる酸素などが膜に入らないようにすることで、高純度な膜を得ることが可能です。
2. 大量生産用成膜装置
ロールトゥロール法とは、ロール状に巻いた基板を回転させながらその上に膜を塗っていく方法です。大量生産や大面積の膜の製造に向いています。
均一な膜を作るためには、サンプル溶液の粘度を一定の範囲に収める必要があります。この粘度は回転数やサンプルの物性によって異なるため、成膜条件の検討の際はサンプルの粘度も考慮することが大切です。
成膜装置のその他情報
成膜装置と併用される機械
成膜装置と併用される機械として、真空ポンプ、基板ヒーター、エッチング装置、検査装置の4種類が挙げられます。
1. 真空ポンプ
成膜装置では、高純度な膜を作成するために高真空状態が必要です。真空ポンプは、成膜装置内の空気を抜き取って高真空状態を作り出す役割を果たしています。不純物が膜に混入することを防ぎ、品質の高い膜が作成できます。
2. 基板ヒーター
基板ヒーターは、成膜過程で使用される基板の温度を調整する機械です。成膜に適した温度に基板を加熱することで、膜の密着性や均一性が向上し、より高品質な膜が得られます。
3. エッチング装置
成膜後の基板には、所定の形状やパターンを形成するためにエッチングが必要です。エッチング装置は、薬液やプラズマを用いて膜の一部を選択的に除去する機能を持っています。微細な回路パターンなどが形成されることになります。
4. 検査装置
成膜が完了した後には、品質検査が重要です。検査装置は、膜の厚さ、均一性、密着性などの品質を確認するために使用されます。不良品の早期発見や製造プロセスの改善が可能となり、全体の生産効率が向上します。
成膜装置メーカー 15社
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
・CVD/スパッタ/蒸着/ドライエッチング/アニールなどの装置をオーダーメイドで製造
・CVDやスパッタ装置のデモ機を所有。成膜デモを行うことが可能
・特にDLCやSi系の成膜装置に強みがあり、ウエハ、ガラス、金属、樹脂等、様々な対象物に膜付けが可能
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・OASISは、独自技術のクヌーセンセルを核に、有機デバイス等の基材やデバイス構造を問わず、一貫製作が可能
・スパッタ装置は、有機太陽電池や有機半導体などの有機デバイス、電子部品、樹脂フィルム等の分野において、最適なプロセスを提供
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成膜装置 2024年3月のメーカーランキング
*一部商社などの取扱い企業なども含みます2024年3月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | ジャパンクリエイト株式会社 |
27.6%
|
| 2 | サムコ株式会社 |
9.4%
|
| 3 | 株式会社アルバック |
8.4%
|
| 4 | 新明和工業株式会社 |
7.4%
|
| 5 | 株式会社オプトラン |
6.9%
|
| 6 | ジオマテック株式会社 |
6.9%
|
| 7 | 長州産業株式会社 |
4.9%
|
| 8 | 東邦機械工業株式会社 |
4.9%
|
| 9 | JSWアフティ株式会社 |
4.9%
|
| 10 | 株式会社ケミトロニクス |
3.4%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年3月の成膜装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
- JSWアフティ: 5,239人
- 新明和工業: 3,017人
- アルバック: 1,361人
設立年の新しい会社
- JSWアフティ: 2014年
- 渕田ナノ技研: 2004年
- オプトラン: 1999年
歴史のある会社
- 誠南工業: 1948年
- 新明和工業: 1949年
- シンクロン: 1951年
成膜装置注目ランキング
製品の閲覧数をもとに算出したランキング
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成膜装置注目ランキング (対応の早い企業)
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16 点の製品がみつかりました
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成膜装置のカタログ 10件
Metoreeに登録されている成膜装置が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
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