【2023年版】半導体検査装置9選 / メーカー12社一覧

目次

• 半導体検査装置とは？
• 半導体検査装置のメーカー12社一覧
• 半導体検査装置のカタログ14件一覧

Metoreeでは各社カタログを無料で一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。

企業

半導体検査必要とする用途に好適な最大フレームレート150fpsの26MP高解像度CMOSカメラ 注目製品
株式会社ジェイエイアイコーポレーション

【納期が短い：近日中に入手可能】
■1.1型 (対角18.1mm) 2621万画素 CMOSセンサ (グローバルシャッタ)を搭載
■画素サイズ 2.5 x 2.5μm
■最大フレームレート (fps): 150
■CoaXPress CXP-12, Micro-BNC 4 インタフェース
■モノクロ・カラー

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ポゴリング、ポゴタワー 注目製品
株式会社モリモト

ウエハー検査用ポゴリング、ポゴタワー
テスターとのコンタクター
～23000Pinまで実績あります

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    • 株式会社ジェイエイアイコーポレーション メーカー
      半導体製品検査から交通管理や医療用画像処理までの高性能エリアスキャン・ラインスキャンカメラ

    • 会社サイト 創業: 59年 従業員数: 120人 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市神奈川区栄町10-35ポートサイドダイヤビル
  • 高fps・高解像度 裏面照射型カメラ エリアスキャンカメラ
    
    JAIは幅広い分野に高性能・高解像度のエリアスキャンとラインスキャンカメラを中心に幅広い製品を取り揃えています。独自のプリズムテクノロジーをベースに開発した多板式の革新的なカメラを提供している。

    
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    • 株式会社モリモト
      ポゴリング（ポゴタワー）　コンタクトプローブ　ICテストソケット　実機検査治具　超精密樹脂加工

    • 会社サイト 創業: 1958年 従業員数: 25人 資本金: 10,000,000円 会社詳細

    • 住所: 神奈川県川崎市高津区久末2088-1
  • ～23000PIN
    
    株式会社モリモトは創業1958年の歴史の長いコンタクトプローブのメーカーです。
    前工程に関わるテスター用ポゴリングからICソケット、実機検査治具まで幅広く対応致します。

    
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    • 浜松ホトニクス株式会社 メーカー
      半導体検査装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1953年 従業員数: 3,884人 会社詳細

    • 住所: 静岡県浜松市中区砂山町325-6 日本生命浜松駅前ビル
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    • 株式会社シキノハイテック メーカー
      半導体検査装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証スタンダード) 創業: 1975年 従業員数: 359人 資本金: 376,621,000円 会社詳細

    • 住所: 富山県魚津市吉島829
• • • 応用電機株式会社 メーカー
      半導体検査装置

    • 会社サイト 創業: 1980年 従業員数: 582人 資本金: 72,212,000円 会社詳細

    • 住所: 京都府城陽市平川中道表63-1
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    • レーザーテック株式会社 メーカー
      半導体関連装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1960年 従業員数: 402人 資本金: 931,000,000円 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-10-1
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    • ブルカージャパン株式会社 メーカー
      半導体検査装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1975年 従業員数: 170人 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市神奈川区守屋町3-9
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    • オムロン株式会社 メーカー
      　IC検査ソケット／ピン

    • 会社サイト 上場(東証プライム) 創業: 1933年 従業員数: 29,020人 会社詳細

    • 住所: 京都府京都市下京区塩小路通堀川東入
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    • 株式会社日立ハイテク メーカー 商社・代理店
      半導体製造装置・計測装置・検査装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1947年 従業員数: 11,903人 資本金: 793,848,525円 会社詳細

    • 住所: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
• • • 東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社
      光学式半導体ウェーハ検査装置一覧

    • 会社サイト 創業: 2000年 従業員数: 50人 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-6-23金子第2ビル
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    • 日本セミラボ株式会社
      半導体検査装置一覧

    • 会社サイト 創業: 1987年 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10YS新横浜ビル6階
• • • ウインテスト株式会社
      半導体検査装置一覧

    • 会社サイト 上場(東証スタンダード) 創業: 1993年 従業員数: 96人 資本金: 1,000,000,000円 会社詳細

    • 住所: 神奈川県横浜市西区平沼1丁目2-24 横浜NTビル1階

株式会社日立ハイテク
ミラー電子式検査装置 Mirelis VM1000

特徴

ミラー電子式検査装置MirelisVM1000は、SiCウェーハやエピタキシャルウェーハの結晶の欠陥や積層欠陥、加工によるダメージを非破壊で検査するために使用される半導体検査装置になります。

電位ポテンシャルの変化をとらえることができるミラー電子式の検査方式であるので、ウェーハ内部の検査を行うことができます。

入射電子線は、ウェーハに到達する前に電位面で反射されるため、非破壊非接触で検査することができ、出荷前検査用の装置としても利用することができます。

株式会社日立ハイテクの会社概要

• 会社所在地: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
• 会社サイト
• 創業: 1947年
• 従業員数: 11,903人
• 資本金: 793,848,525円

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株式会社日立ハイテク
ウェーハ表面検査装置 LSシリーズ

特徴

ウェーハ表面検査装置LSシリーズは、回路パターンがまだできていない鏡面のシリコンウェーハに存在する異物や欠陥を検査するための半導体検査装置になります。

半導体鏡面シリコンウェーハ上にある欠陥による散乱功を測定することで、欠陥を発券すると同時に、ウェーハ表面からのノイズを除去することによって、高精度の測定を行うことができます。

10nmラインで使用されるシリコンウェーハの出荷前検査や受け入れ検査に対応しています。

株式会社日立ハイテクの会社概要

• 会社所在地: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
• 会社サイト
• 創業: 1947年
• 従業員数: 11,903人
• 資本金: 793,848,525円

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東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社
光学式半導体ウェーハ外観検査装置 INSPECTRA(R)シリーズ

特徴

光学式半導体ウェーハ外観検査装置INSPECTRA®シリーズは、前工程から後工程すべてのウェーハの検査に対応している、高速、高感度での検査が可能な半導体外観検査装置になります。

TASMIT社独自の良品学習アルゴリズムによって、様々なノイズを抑えて、正確に欠陥を検知することが可能です。

ラインラップは6種類展開されており、前工程向けか後工程向けか、ワークサイズの大きさ、よりハイエンドの製品などから、最適な製品を選択することができます。

東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社の会社概要

• 会社所在地: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-6-23金子第2ビル
• 会社サイト
• 創業: 2000年
• 従業員数: 50人

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東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社
ウエーハ内部欠陥検査装置 INSPECTRA(R) IRシリーズ

特徴

ウエーハ内部欠陥検査装置INSPECTRA®IRシリーズは、赤外光と可視光によって、ウェーハの内部にある欠陥を高速、高精度に測定できる半導体検査装置になります。

キャップ構造のMEMS欠陥の検査やイメージセンサの内部欠陥、貼り合わせのボイド検査などに対応しています。

TASMIT社独自の良品学習アルゴリズムによって、細かい欠陥を確実に検知することができます。

高感度カメラと赤外光に対応している光学系によって、幅広い検査方法が可能となり、様々な欠陥の測定に対応しています。

東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社の会社概要

• 会社所在地: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-6-23金子第2ビル
• 会社サイト
• 創業: 2000年
• 従業員数: 50人

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東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社
重ね合わせ測定装置 OM-7000H

特徴

重ね合わせ測定装置OM-7000Hは、積層型イメージセンサや、積層型のメモリなど、
ウェーハを貼り合わせて作成される半導体のずれや、表裏アライメントを高精度で測定することができる半導体検査装置になります。

IR光源によるエッジ測定と、高精度のフォーカスが行える独自のステージ、透過光と反射光の照明設備によって、正確に検査を行うことができます。

TASMIT社独自の測定アルゴリズムによって、高速、高精度に検査が行えるうえ、NG画像を保存することができるので、プロセスの改良時に役立ちます。

東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー株式会社の会社概要

• 会社所在地: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-6-23金子第2ビル
• 会社サイト
• 創業: 2000年
• 従業員数: 50人

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日本セミラボ株式会社
トレンチ形状検査装置

特徴

トレンチ形状検査装置は、半導体製造工程におけるエッチング構造と膜の寸法と厚さ、組成と均一性を非接触・非破壊で検査することができる半導体検査装置になります。

高いスループットで測定が行えるだけでなく、セミラボ社独自の技術のMBIRと分析機能によって、サンプル測定を定期的なシステム校正作業の頻度を低減することができます。

裏面反射の影響を除去することができる光学系の独自機能が搭載されており、高精度の測定が可能です。

日本セミラボ株式会社の会社概要

• 会社所在地: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10YS新横浜ビル6階
• 会社サイト
• 創業: 1987年

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日本セミラボ株式会社
走査型プローブ顕微鏡（SPM）

特徴

走査型プローブ顕微鏡は、サンプルを薄くスライスしなければ測定することができない透過電子顕微鏡と異なり、サンプルにダメージを与えることなく、光学顕微鏡以上の倍率で測定することができる半導体検査装置になります。

コンパクトな設計によって、安定的な測定を高速のスキャンで行うことができます。

内蔵されている光学軸によって、座標を判別することができ、3D画像の様な測定データを出力することができます。

日本セミラボ株式会社の会社概要

• 会社所在地: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10YS新横浜ビル6階
• 会社サイト
• 創業: 1987年

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レーザーテック株式会社
ウェハ欠陥検査/レビュー装置

特徴

ウェハ欠陥検査/レビュー装置MAGICSシリーズM5640は、ウェーハの製造プロセスにおける欠陥の検出に使用される半導体検査装置になります。

63本のマルチレーザービームと高速で駆動するステージによって、素早く正確な測定をすることができます。

シリコンウェーハ以外にも、ミラーポリッシュウェーハや、エピタキシャルウェーハ、SOIウェーハ、石英ウェーハなどにも高精度で対応しています。

ダイヤモンドチップによる、汚れが出ない欠陥位置のマーキングが可能です。

レーザーテック株式会社の会社概要

• 会社所在地: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-10-1
• 会社サイト
• 創業: 1960年
• 従業員数: 402人
• 資本金: 931,000,000円

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レーザーテック株式会社
マスク欠陥検査装置

特徴

マスク欠陥検査装置MATRICSX8ULTRAシリーズは、業界で唯一の7nm～5nmのEUV用のフォトマスクの欠陥を検出することができる半導体検査装置になります。

初期状態のマスクパターンの画像をすべて保存し、露光を終えた後のマスクパターンと比較することで、正確にマスク上の欠陥や異物を検出します。

フォトマスクのパターンの寸法分布を検査と同時に正確に測定することができ、その形状を画面に可視化する機能が搭載されています。

レーザーテック株式会社の会社概要

• 会社所在地: 神奈川県横浜市港北区新横浜2-10-1
• 会社サイト
• 創業: 1960年
• 従業員数: 402人
• 資本金: 931,000,000円

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