エッチング加工についての概要、用途、原理などをご説明します。また、エッチング加工を提供する会社・業者14社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。エッチング加工関連企業の2022年4月注目ランキングは1位:尾池工業株式会社、2位:竹内金属箔粉工業株式会社、3位:日本フイルコン株式会社となっています。
エッチング加工とは、金属に腐食液を吹き付けることで被加工材である金属板を部分的に溶解させ、さまざまなパターンで加工する技術です。
極めて薄い金属板や小さい金属板に対し、複雑なパターンを高精度で加工することができるという特徴があります。 加工することのできる金属の種類も多く、半導体などの電子部品や医療機器などの部品製造に幅広く用いられています。
短時間かつ低コストで行うことができますが、その一方で大量生産には適していないという特徴があります。
エッチング加工は、プレス加工では扱えない細かなパターンや薄い被加工材に対して、非常に高精度な加工をすることができます。そのため、インテリアなどの意匠品や電子機器、自動車、衣料品など精度が必要とされる製品の製作に用いられることが多いです。
また先端分野においては、集積回路の製造工程や、薄型ヒーターのヒーター線(SUS泊)のパターニングにも用いられています。
エッチング加工は、金属の腐食を利用する加工で、扱うことのできる材質にはステンレスや銅、鉄などの他にもモリブデンやチタンなども扱うことができます。それぞれの金属で適した使用用途があります。
まず、CADを用いて作りたい形に添った原板を作成します。原板は、2枚作製し、被加工材は、2枚の原板の間に挟まれます。
原板の寸法にズレがあると加工後の品質に大きな影響を与えるため、原板の作成には精度が要求されます。被加工材となる金属板にはフォトレジストを貼り付けます。この加工のことをラミネートと呼びます。
フォトレジストとは感光性を持つ物質で、後の工程で「被加工材にパターンを写し取る」「被加工材をエッチングから保護する」などの役割があります。
フォトレジストを貼り付ける前に被加工材を脱脂洗浄することで、フォトレジストとの密着度を高めることができます。
そして、フォトレジストを貼り付けた金属板を原板で挟み込みUVを照射すると、原板で遮光されていない部分のフォトレジストが感光し、原板のパターンが被加工材に写し取られます。
次に、被加工材の表面に現れたパターンに沿って、エッチングにより除去したい部分のフォトレジストを剥がします。
そこにエッチング液を吹き付けることで、フォトレジストを剥がした部分のみを溶解させることができます。
最後に被加工材全体のフォトレジストを除去して終了です。
ウエットエッチングとは、フォトレジストがパターニングされた被加工物に、薬液を反応させる事でパターニングの形状を得る加工方法です。
半導体製造工程では、複数の被加工物を薬液に浸すバッジ式のウエットエッチングが広く用いられています。
複数の被加工物を同時処理出来るため生産性が高いというメリットがありますが、原理上フォトレジストの下側も侵食するため、超微細なパターニングの加工のには向いていません。
ドライエッチングとは、フォトレジストがパターニングされた被加工物に、反応性のイオンガスやプラズマガスを反応させる事でパターニングの形状を得る加工方法です。
ドライエッチングは、フォトレジストに対して垂直に反応性のイオンガスやプラズマガスをぶつけて加工を行います。
このため、ウエットエッチングが等方性のエッチング加工であるのに対して、ドライエッチングは異方性のエッチング加工を行う事が出来ます。
原理上フォトレジストに対して垂直に侵食するため、ドライエッチングは超微細なパターニングの加工に向いています。
集積回路の作製工程はエッチング加工によって行われています。 集積回路は、微細な三次元構造を層状に堆積させる事で成形されています。
この微細な三次元構造を形作る手法として、エッチング加工は用いられています。
集積回路の製造工程では、ウエットエッチングとドライエッチングの2種類の加工方法が広く用いられています。製造工程においては、求められる生産性や、集積度(パターニングの微細さ)に応じて、ウエットエッチング加工やドライエッチング加工がそれぞれ用いられています。
参考文献
https://www.hirai.co.jp/technology/etching/
https://www.p1-net.co.jp/difference
http://www.wakae1960.net/etching/
http://www.jmq.jsr.co.jp/products.html
https://mono-mado.com/dictionary/etching
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
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北海道 埼玉県 東京都 神奈川県 富山県 岐阜県 静岡県 京都府 大阪府 兵庫県 奈良県 熊本県2022年4月の注目ランキングベスト10
順位 | 会社名 | クリックシェア |
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1 | 尾池工業株式会社 | 10.5% |
2 | 竹内金属箔粉工業株式会社 | 10.5% |
3 | 日本フイルコン株式会社 | 10.1% |
4 | 東洋精密工業株式会社 | 9.3% |
5 | 株式会社アロン社 | 8.5% |
6 | 平井精密工業株式会社 | 8.1% |
7 | 株式会社東京ミクロ | 7.8% |
8 | 株式会社ピーワン | 7.4% |
9 | 株式会社アルファー精工 | 7% |
10 | 株式会社協成 | 6.2% |
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2022年4月のエッチング加工ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
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この加工は、金属箔にマスキングを施した上でそれ以外の部分を薬液で腐食させるエッチング加工です。
裁断機等が接触する事が無く腐食により金属を溶解させるので、バリやダレが発生しにくいのが特徴です。
更に、加工した金属箔を部品に貼るだけで良いので、複雑な形状にも対応する事が可能です。
金属箔の加工に特化していて、チタン箔(0.05mm)やインジウム箔(0.03mm)、モリブデン箔(0.05mm)等に加工する事が出来ます。
この加工は、写真の露光と同様の技術を使って耐食膜を作り、その他の部分を薬品で腐食させるエッチング加工です。
銀やパラジウム、銅やチタン、鉄等に加工を施せます。
片側のみ、または両側にエッチング加工をする事ができ、化学薬品を使うので切削の様に微細な傷が付く事もなく断面の精度も非常に高くなっています。
加工形状を作る際には写真を使うので複雑な模様をミクロ単位で付けられたり細密加工が出来たりする為、電子部品の加工に使う事が出来ます。
この加工は、写真の作成技術と腐食技術を活用する事で大量に処理出来るエッチング加工です。
厚さ5μm以上のステンレス鋼や銅合金、ニッケル合金等に加工を施せると同時に、拡散接合技術も活用する事で多様な3D製品の製造を可能にしました。
更に、クロム成膜技術やITO製品の薄膜形成技術を応用する事でガラス基板やセラミック基板も処理出来る様になりました。
反りが非常に発生しにくい上に「ウォッシュトリミング」技術を活用する事で表面や鋭角を滑らかに出来るので、真空吸着盤や流路ブロック・ヒートシンク等に加工する事が出来ます。
この加工は、フォトリソグラフィによるマスキングを行ってから、ケミカルエッチングによって化学的に腐食させるエッチング加工です。
ステンレス鋼や銅、ニッケル等の合金に施せます。
また、エッチング加工が済んだ後にフレームと製品を切り離す事で生じる「ブリッジ痕」を付かない様にする事も可能です。
加工によって変形やバリが生じる事なく、複数の加工を同時に行えるのでリードフレームや設備用のシム、スペーサー等に加工出来ます。
この加工は、ステンレス鋼や銅、ニッケル合金、アルミ合金やガラス等に処理出来るエッチング加工です。
表裏でパターンの異なる原版も用意してあるので、片側だけに加工するハーフエッチングが可能です。
貫通している穴にエッチングを施す際に、エッチング原版の穴のサイズを表と裏で変える事でテーパー状の加工を施せます。
また、ブリッジ痕を残さないエッチング技術を活用する事で裏うち材を貼った状態でエッチングする事が可能なので、発熱用ヒーターの部品に加工する事が出来ます。