【2021年版】露光装置メーカー7社一覧

露光装置のメーカー7社を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。

露光装置とは？
露光装置のメーカー7社一覧

露光装置とは

露光装置は、半導体や液晶ディスプレイの製造現場で使用される、光を照射することによって、回路のパターンを対象に描写するための装置になります。非常に強い光を使用する上、ステージなどで精密な制御が必要になるため、大型で、価格も億単位の製品が多くなります。半導体や液晶ディスプレイ製造の中でも、回路のパターンを決定する工程となるため、非常に重要な装置になります。各社によって様々な露光の方法が開発され、装置に採用されています。

露光装置の使用用途

露光装置は、半導体の製造現場や液晶ディスプレイの製造現場で主に使用されます。シリコンウェーハに酸化膜などを取り付けたのち、感光材を塗布し、その感光材に対して、フォトマスクを通過した強い光を描写することでその部分をエッチングなどで取り除けるようにします。露光装置の選定の際には、非常に高価であるため、露光で使用する光の種類や精度、ステージの精密さなどを装置メーカーと十分協議したうえで購入する必要があります。

露光装置の原理

露光装置の測定原理を説明します。露光措置は、光源、偏向レンズ、フォトマスク、集光レンズ、ステージ、シリコンウェーハなどの搬送用のロボットなどで構成されています。レンズやフォトマスクなどは非常に高精度に設計されており、ステージも高精度に動作します。

動作時は、ステージに露光対象が精密に固定されます。動作時は、1回の露光ごとにステージが動くことによって、露光対象全体にわたって多数のパターンが露光対象に描写されます。光源から発せられた波長の短い強い光が、偏向レンズによって向きが整えられ、回路パターンを描写しているフォトマスクに照射されます。そのフォトマスクを通過した光は、集光レンズによって集光され、非常に小さい回路パターンを露光対象に対して描写します。露光対象全体にわたって露光が終了すれば、ロボットなどによって輸送されます。製品によっては、露光対象が液体に浸透しており、より高精度に露光できるように工夫されている製品もあります。

【2021年版】露光装置 メーカー7社一覧

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