【2023年版】CMP装置 メーカー5社一覧
CMP装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、CMP装置のメーカー5社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。CMP装置関連企業の2023年11月注目ランキングは1位:株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ、2位:ケメット・ジャパン株式会社、3位:テクノライズ株式会社となっています。
CMP装置と関連するカテゴリ
CMP装置とは
CMP装置は、シリコンウェーハを研磨する装置になります。CMPは、Chemical Mechanical Polishingの略で、化学機械研磨のことです。半導体は、非常に小さいスケールで作られているので、均一で高精度な研磨が求められるうえ、異なる硬さの層がいくつも積み重なっており、それぞれ適切な圧力や研磨剤、薬品を使用して研磨する必要があります。研磨の際は、それぞれの半導体の層の構成に応じて、表面や凹凸を化学反応をさせ、サンドペーパーなどで機械的に除去しています。
CMP装置の使用用途
CMP装置は半導体の製造工程において主に使用されます。半導体プロセスにおける、エッチングを行い、酸化膜の生成やイオンの拡散などを行った後に、それらの工程によって生じた表面の凹凸を平坦化する際に使用されます。CMPによって、非常に高精度の平坦化を行え、平坦化した表面の上にさらに積層を行えやすくなります。CMP装置の選定の際には、平坦化の精度、使用する薬液や化学薬品、シリコンウェーハの処理スピードなどを考慮する必要があります。
CMP装置の原理
CMP装置の動作原理を説明します。CMP装置は一般的には、一度に多くのシリコンウェーハを高速で処理するため、大型の装置になることが多いです。構成要素としては、回転ステージ、薬液や化学薬品を塗布するためにノズル、サンドペーパーなどが付いている研磨部で、そのほかにも、シリコンウェーハ輸送用のロボットや研磨後の洗浄部、以上検知部などが付属されています。
基本的な動作は、薬液や化学薬品をノズルからシリコンウェーハ上に散布し、その上からサンドペーパーなどを押し当てて、回転ステージを高速で回転させることによって研磨します。化学研磨の対象としては、酸化膜、タングステン配線、銅配線になります。酸化膜の場合は、酸化膜をアルカリ溶液で溶かし、同じ組成の酸化ケイ素で研磨します。タングステン配線の場合は、タングステンの表面部分を酸化させ、その表面を酸化ケイ素などで研磨します。銅配線の場合は、銅を酸化させた後、錯体にし、酸化ケイ素などで研磨します。
参考文献
https://www.jstage.jst.go.jp/article/electrochemistry/74/12/74_12_971/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/83/3/83_220/_pdf
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/84/3/84_239/_pdf
CMP装置のメーカー 5社
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
・業界最省スペースのフットプリントで実験室・ラボにも設置が容易
・高剛性が特徴で、立上げたCMP条件は量産装置への展開も可能
・酸性･アルカリ性、あらゆるスラリーに対応
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CMP装置 2023年11月のメーカーランキング
*一部商社などの取扱い企業なども含みます2023年11月の注目ランキングベスト5
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ |
31.3%
|
| 2 | ケメット・ジャパン株式会社 |
29.9%
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| 3 | テクノライズ株式会社 |
16.3%
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| 4 | 株式会社東京精密 |
14.3%
|
| 5 | Applied Materials, Inc. |
8.2%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2023年11月のCMP装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
- 東京精密: 1,057人
- ケメット・ジャパン: 25人
設立年の新しい会社
- SCREENセミコンダクターソリューションズ: 2006年
- ケメット・ジャパン: 2002年
- テクノライズ: 1999年
歴史のある会社
- 東京精密: 1949年
- テクノライズ: 1999年
- ケメット・ジャパン: 2002年
CMP装置の製品 1件
1 件の製品がみつかりました
ムサシノ電子株式会社
精密研磨システム 特注研磨装置 パネル型サンプル用CMP研磨装置MA-600e RECT
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