株式会社ニコン

【2022年版】FPD露光装置4選 / メーカー2社一覧

FPD露光装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、FPD露光装置のメーカー2社一覧企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。FPD露光装置関連企業の2022年4月注目ランキングは1位:株式会社大日本科研、2位:株式会社ニコンとなっています。

目次

FPD露光装置と関連するカテゴリ

FPD露光装置のメーカー2社一覧

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

企業の並び替え

標準 |従業員数順 |設立年古い順 |設立年新しい順 |上場企業順

FPD露光装置のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2022年4月の注目ランキングベスト2

順位 会社名 クリックシェア
1 株式会社大日本科研 77.1%
2 株式会社ニコン 22.9%

注目ランキング導出方法について

注目ランキングは、2022年4月のFPD露光装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。

社員数の規模

  1. 1 株式会社ニコン
  2. 2 株式会社大日本科研

設立年の新しい会社

  1. 1 株式会社大日本科研
  2. 2 株式会社ニコン

歴史のある会社

  1. 1 株式会社ニコン
  2. 2 株式会社大日本科研

FPD露光装置4選

株式会社ニコン
FX-103SH/103S

FX-103SH/103S 画像出典: 株式会社ニコン公式サイト

特徴

FX-103SH/103Sは、中小型の高精細なパネルの生産に適しており、高精細大型パネルの生産に対応したFPD露光装置になります。

露光シーケンス、キャリブレーションシーケンスの良くない状態を除き去り、気風を全く新しくして更に高速かつ高精度な露光を実現した一台になります。

独自の解像度向上の技術を採用して照明系とマルチレンズシステムを最適化、マスクたわみやプレート平面度などの誤差を最適補正する新たなオートフォーカスシステムを搭載しています。

計測精度の向上のために、従来機の位置測定システムを再設計し、±0.5μmの傘ね合わせ精度を実現させ、またスループットも大幅に向上させることを可能にした精神になります。

株式会社ニコンの会社概要

  • 会社所在地: 東京都港区港南2-15-3品川インターシティC棟
  • 会社サイト
  • 創業: 1917年
  • 従業員数: 20,190人

製品を見る

株式会社ニコン
FX-86SH2/86S2

FX-86SH2/86S2 画像出典: 株式会社ニコン公式サイト

特徴

FX-86SH2/86S2は、高精細パネルの生産に適していたFX-67Sと超大型プレートサイズに対応した10世代装置の技術を融合させて、高精細大型パネルの生産に対応できるようになった製品になります。

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載しており、広い露光領域を確保、かつ同時に高解像度を達成することができるようになっております。

2200×2500mmプレートサイズの場合は、46インチパネルで毎時587枚、55インチパネルで毎時378枚生産可能な高いスループットが可能となっています。

上記のマルチレンズシステムとニコン独自のフォーカス制御システムにより、プレート全面で高い解像度を実現し、FX-86SH2では2.2μm(L/S)の高解像度を達成しながら広い実用焦点深度も同時に確保することができる仕様になっています。

株式会社ニコンの会社概要

  • 会社所在地: 東京都港区港南2-15-3品川インターシティC棟
  • 会社サイト
  • 創業: 1917年
  • 従業員数: 20,190人

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株式会社ニコン
FX-67S2/67S

FX-67S2/67S 画像出典: 株式会社ニコン公式サイト

特徴

FX-67S2/67Sは、スキャナー方式を採用することにより生産性が向上、高い解像度を実現、高い重ね合わせ精度を同時に実現を可能としています。

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを採用しており、広い露光領域を確保するとともに、高い解像度を実現しています。

上記マルチレンズシステムの高解像度化のために新たな調整機構を搭載し、また独自の解像度向上の技術を採用した照明系を開発、更に計測ポイントを最適化した新たなオートフォーカスシステムも採用したことにより、2μm(L/S)の高い解像度を可能にするとともに、広い実用焦点深度も確保できた製品になります。

株式会社ニコンの会社概要

  • 会社所在地: 東京都港区港南2-15-3品川インターシティC棟
  • 会社サイト
  • 創業: 1917年
  • 従業員数: 20,190人

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株式会社ニコン
FX-66S2/66S

FX-66S2/66S 画像出典: 株式会社ニコン公式サイト

特徴

FX-66S2/66Sは、高い生産性と安定した露光性能を有し3μm(L/S)以下の解像度による中小型パネルの量産を可能にしたFPD露光装置になります。

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを採用し、広い露光領域を確保すると同時に高い解像度も達成している製品になります。

多点同時アライメント及び高い精度ステージにより、重ね合わせ制度も±0.6μm以下と高精度、更に独自開発したキャブレーション機能を採用し総合的により安定した露光性能を実現しています。

株式会社ニコンの会社概要

  • 会社所在地: 東京都港区港南2-15-3品川インターシティC棟
  • 会社サイト
  • 創業: 1917年
  • 従業員数: 20,190人

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