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【2020年版】FPD露光装置7選 / メーカー2社一覧

FPD露光装置のメーカー2社・7製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


FPD露光装置とは

FPD露光装置は、フラットパネルディスプレイ(FPD)即ち液晶パネル(LCD)における薄膜トランジスタのTFT回路パターンが描かれた原版のフォトマスクに光を照射後、レンズを通じて液晶パネル生産用のマザーガラスに塗布されたフォトレジスト上にTFT回路パターンを露光する装置です。

液晶パネルのTFT回路を形成する性質上、複数回にわたり露光を繰返す必要性があることや、近年では生産用マザーガラスの大型化や、1画面当たりの液晶パネルで画素数が800万を超える4Kでは800万×RGB(赤緑青の3色でなるカラーフィルター)で2400万以上のTFT回路を形成するため、これらに対応する優れた生産性や露光精度が求められています。

FPD露光装置の使用用途

「FPD」は「フラットパネルディスプレイ」であり、主に液晶パネルのことを指し、英語表記「Liquid crystal display」を略してLCDです。
FPD露光装置は、液晶パネル製造に用いられる露光装置であるため、液晶パネルのモニターにあたるパソコン用、タブレット、携帯電話などの一般的なモニターから、車載用、航空機モニターや医療用モニターに至るまで幅広く液晶パネルの製造にFPD露光機が利用されています。

LCD以外にも、近年では有機ELパネル英語表記「Organic light emitting diode」を略してOLEDの製造でもFPD露光機が利用されています。

FPD露光装置の原理

露光機は、FPD製造プロセスにおいて写真現像技術を応用した微細パターンのTFT回路を形成するフォトリソグラフィ工程で使用され、一般的には光源、フォトマスク、ミラー、レンズ、露光ステージで構成されています。

露光機の光源には、主に超高圧水銀ランプの紫外線が用いられますが、TFT回路の微細化に伴い紫外線の短波長化が進んでいます。

露光機のフォトマスクとレンズは、液晶パネルの大型化と液晶パネル生産時のマザーガラスの大型化に伴い、小型液晶パネル相当の狭域TFT回路が描かれたレチクルを用いたステッパー式露光から、大型液晶パネルに応じた広域TFT回路が描かれたフォトマスクへと変化したことで、光源とミラーやレンズが共にスキャンする露光方式が用いられ、この方式によって生産性も兼ね備えています。

主なFPD露光機各社は、光源、ミラー、レンズの手法と制御が異なり、独自の強みを生産性に生かしています。

FPD露光機には、nmオーダーのTFT回路を精密に形成する必要があるため、単に高精度の光を照射するだけでなく、フォトマスクやマザーガラス表面の歪みと位置を計測し、これらを補正する技術などの積み重ねにより露光精度を確立しています。

参考文献
http://www.jspmi.or.jp/system/file/3/875/N03-04.pdf

FPD露光装置のメーカー情報

FPD露光装置のメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 キヤノン株式会社
  2. 2 株式会社ニコン

設立年の新しい会社

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歴史のある会社

  1. 1 株式会社ニコン
  2. 2 キヤノン株式会社

FPD露光装置のメーカー2社一覧


FPD露光装置7選

FX-103SH/103S

株式会社ニコン FX-103SH/103S 画像出典: 株式会社ニコン公式サイト

特徴

FX-103SH/103Sは、中小型の高精細なパネルの生産に適しており、高精細大型パネルの生産に対応したFPD露光装置になります。

露光シーケンス、キャリブレーションシーケンスの良くない状態を除き去り、気風を全く新しくして更に高速かつ高精度な露光を実現した一台になります。

独自の解像度向上の技術を採用して照明系とマルチレンズシステムを最適化、マスクたわみやプレート平面度などの誤差を最適補正する新たなオートフォーカスシステムを搭載しています。

計測精度の向上のために、従来機の位置測定システムを再設計し、±0.5μmの傘ね合わせ精度を実現させ、またスループットも大幅に向上させることを可能にした精神になります。

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FX-86SH2/86S2

株式会社ニコン FX-86SH2/86S2 画像出典: 株式会社ニコン公式サイト

特徴

FX-86SH2/86S2は、高精細パネルの生産に適していたFX-67Sと超大型プレートサイズに対応した10世代装置の技術を融合させて、高精細大型パネルの生産に対応できるようになった製品になります。

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載しており、広い露光領域を確保、かつ同時に高解像度を達成することができるようになっております。

2200×2500mmプレートサイズの場合は、46インチパネルで毎時587枚、55インチパネルで毎時378枚生産可能な高いスループットが可能となっています。

上記のマルチレンズシステムとニコン独自のフォーカス制御システムにより、プレート全面で高い解像度を実現し、FX-86SH2では2.2μm(L/S)の高解像度を達成しながら広い実用焦点深度も同時に確保することができる仕様になっています。

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FX-68S

株式会社ニコン FX-68S 画像出典: 株式会社ニコン公式サイト

特徴

FX-68Sは、最先端高精細中小型パネルの清算に値会おうしており、スキャナー方式を採用したことによって生産性の向上と高解像度、高い重ね合わせ制度を同時に実現することが可能となっています。

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載し、広い露光領域を確保すると同時に高い解像度を達成しております。

独自開発したキャリブレーション機能を採用したことで、総合的により安定した露光性能も実現させている一台になります。

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FX-67S2/67S

株式会社ニコン FX-67S2/67S 画像出典: 株式会社ニコン公式サイト

特徴

FX-67S2/67Sは、スキャナー方式を採用することにより生産性が向上、高い解像度を実現、高い重ね合わせ精度を同時に実現を可能としています。

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを採用しており、広い露光領域を確保するとともに、高い解像度を実現しています。

上記マルチレンズシステムの高解像度化のために新たな調整機構を搭載し、また独自の解像度向上の技術を採用した照明系を開発、更に計測ポイントを最適化した新たなオートフォーカスシステムも採用したことにより、2μm(L/S)の高い解像度を可能にするとともに、広い実用焦点深度も確保できた製品になります。

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FX-66S2/66S

株式会社ニコン FX-66S2/66S 画像出典: 株式会社ニコン公式サイト

特徴

FX-66S2/66Sは、高い生産性と安定した露光性能を有し3μm(L/S)以下の解像度による中小型パネルの量産を可能にしたFPD露光装置になります。

複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを採用し、広い露光領域を確保すると同時に高い解像度も達成している製品になります。

多点同時アライメント及び高い精度ステージにより、重ね合わせ制度も±0.6μm以下と高精度、更に独自開発したキャブレーション機能を採用し総合的により安定した露光性能を実現しています。

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MPAsp-H1003T/H803T

キヤノン株式会社 MPAsp-H1003T/H803T 画像出典: キヤノン株式会社公式サイト

特徴

MPAsp-H1003T/H803Tは、第8世代ガラス基板を活用しており、高精細パネルを生産可能となっている製品になります。

キヤノン独自の高精度な光学加工技術を採用した大画面かつ高精細なTV生産に対応している解像力やオーバーレイを実現させた65型パネル一括露光を実現しています。

特にMPAsp-H1003Tは、第6世代対応の露光装置「MPAsp-E813H」にて採用している倍率補正技術を搭載したことにより、非線形形状の補正も可能になり、これにより、オーバーレイ精度が向上しています。

また、1台の塗布現像装置に対して、FPD露光装置を2第並べたDual Line構成にし、より効率的なMMG対応が可能となった製品になります。

キヤノン株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 東京都大田区下丸子3丁目30番2号
  • URL: https://canon.jp/
  • 創業: 1937年
  • 従業員数: 25,740人

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MPAsp-E813

キヤノン株式会社 MPAsp-E813 画像出典: キヤノン株式会社公式サイト

特徴

MPAsp-E813は、1500×1850mmのガラス基板で高精細なパネルの生産を実現し、有機ELパネルの生産などに使用される製品となっています。

新設計されたミラー光学系と照明系の導入により1.5μm(L/S)、2.0μm(C.H.)の解像力を実現し、800ppiを超える高精細なパネルの生産を可能としています。

また新たな倍率補正機構と温度調整システムの導入により従来機よりも誤差の少ないオーバーレイを実現、更に、新アライメントシステムの導入により高速かつ高精度な計測を可能にしています。

キヤノン株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 東京都大田区下丸子3丁目30番2号
  • URL: https://canon.jp/
  • 創業: 1937年
  • 従業員数: 25,740人

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