レジスト塗布装置とはメーカー16社一覧カタログ5件一覧

概要メーカー16社一覧カタログ5件

【2022年版】レジスト塗布装置メーカー16社一覧

レジスト塗布装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、レジスト塗布装置のメーカー16社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。レジスト塗布装置関連企業の2022年6月注目ランキングは1位:株式会社イー・スクエア、2位:東レエンジニアリング株式会社、3位:株式会社SDIとなっています。

レジスト塗布装置とは？
レジスト塗布装置のメーカー16社一覧
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レジスト塗布装置と関連するカテゴリ

レジスト塗布装置とは

レジスト塗布装置とは、基板など目的の物体の表面にレジスト材を塗布するための装置です。レジスト材とは、光に対する感受性を持つ樹脂からなる電子材料のことを指します。

レジスト塗布装置は、塗布の方式によってスピンコータとスプレーコータに分けられます。一般的にレジスト塗布に用いられるのは前者のスピンコータです。スピンコータは1から数十ミクロン程度の厚さまでの成膜が可能で、平坦なものへの塗布に適した装置です。

表面の起伏が多い立体的なものへの塗布には、スプレーコータが用いられます。

レジスト塗布装置の使用用途

レジスト塗布装置で塗布するレジスト材は、半導体の加工に用いられる材料です。そのため、レジスト塗布装置は半導体の製造過程に組み込まれる場合が多いです。

レジスト材は、レーザー加工などにおけるフォトマスクの役割で用いられます。作業者の手によるマニュアル操作でレジスト材を塗布することもできますが、膜圧などを均一にそろえて成膜することは難しいでしょう。塗布できていない部分が生じたり、厚みが不足またはしたりするとその後の加工がうまく行えず、品質がばらついてしまいます。

レジスト塗布装置によって均一にレジスト材を塗布することは、品質管理の観点では非常に重要です。

レジスト塗布装置の原理

レジスト塗布装置は前述の通り、スピンコータとスプレーコータが主流です。スピンコータとスプレーコータでは、塗布の方式が異なります。

スピンコータ

スピンコータは、遠心力を利用して塗布を行う装置です。塗布したい物体にレジスト材を滴下した後、その物体を高速で回転させます。この回転により遠心力が発生することで、レジスト材を隅々まで行き渡らせることができるのです。

スピンコータによる塗布を行う際は、表面の起伏の部分でレジスト材の広がりが止まってしまうことがあるので、起伏が激しいものの場合は塗布が困難です。こうした場合には、スプレーコータを用いることがあります。

スプレーコータ

スプレーコータは、スプレー噴霧による塗布方式が採用された装置です。レジスト材をスプレーで吹き付けて塗布を行います。装置によって均一な塗布を行う仕組みはさまざまで、スプレーノズルを動かして各部の塗布を行ったり、スプレーノズルは固定したまま塗布対象の物体を回転させたりする装置があります。

参考文献
https://www.ushio.co.jp/jp/technology/lightedge/200708/100334.html
http://www.ltj.co.jp/tech_spin.php
https://www.keyence.co.jp/ss/products/measure/sealing/coater-type/spin.jsp

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企業

株式会社イー・スクエア

レジスト塗布装置のメーカー16社一覧

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

企業の並び替え

標準 |従業員数順 |設立年古い順 |設立年新しい順

大気圧プラズマ装置　PreciseIIシリーズ（ダウンストリーム型）注目製品
株式会社イー・スクエア

プラズマによる表面活性がパターニング工程（塗布工程、現像、Wetエッチング）の前処理に最適。4nm幅のL&Sでも線間絶縁破壊無し・4nm厚絶縁膜（th‐sio)上でも絶縁特性変化なし。プラズマダメージフリー。パーティクルフリー。プラズマ発生時のUV光によるワークの特性変化がない。

製品をみる会社サイトをみる

- - 株式会社イー・スクエア
    メーカー
    大気圧プラズマ装置PreciseIIシリーズ（ダウンストリーム型）
  - 会社サイト創業: 1999年会社詳細
  - 住所: 京都府久世郡久御山町栄二丁目1番地210
- 立ち合い実験各種小型実験装置製作受託加工
  
  1999年より国内外表示デバイス（液晶・OLED・タッチパネル・その他）市場に1200台*以上を製造販売し、その実績から知り得た知見を踏まえ、他市場からのニーズに伴い、各種プラズマ装置開発及びアプリケーション開発を行っている大気圧プラズマ専門企業です。(*2021年)
  
  製品をみる会社サイトをみる
- - 株式会社SDI
    メーカー
    パターンレジスト塗布用全自動ディップコーターFA-0406
  - 会社サイト創業: 1997年会社詳細
  - 住所: 京都府京都市下京区中堂寺粟田町93京都リサーチパーク6号舘　417号
- - 東レエンジニアリング株式会社
    メーカー
    TSコータ（TORAY Slit-nozzle Coater）TSCoater（TORAY Slit-nozzle Coater）一覧
  - 会社サイト創業: 1960年従業員数: 2,417人会社詳細
  - 住所: 東京都中央区八重洲1丁目3番22号
- - ダイトロン株式会社
    メーカー商社・代理店
    フォト一覧
  - 会社サイト創業: 1952年従業員数: 823人会社詳細
  - 住所: 大阪府大阪市淀川区宮原4-6-11
- - 株式会社ファイコーポレーション
    レジストインク塗布装置（レジストインキ塗布装置）一覧
  - 会社サイト創業: 2001年会社詳細
  - 住所: 東京都目黒区目黒2丁目10番8号
- - 株式会社ジャステム
    スピンコータ SSC-01型
  - 会社サイト創業: 2005年従業員数: 15人会社詳細
  - 住所: 新潟県長岡市新陽1丁目15番地
- - 株式会社エース設備
    スピンコータ一覧
  - 会社サイト創業: 1977年従業員数: 21人会社詳細
  - 住所: 三重県鈴鹿市安塚町1350-27
- - 株式会社エムテーシー
    レジスト塗布装置一覧
  - 会社サイト創業: 1982年会社詳細
  - 住所: 埼玉県さいたま市大宮区桜木町4丁目705番1
- - 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
    レジスト塗布装置一覧
  - 会社サイト創業: 1999年従業員数: 28人会社詳細
  - 住所: 埼玉県さいたま市西区三条町27-1
- - 株式会社イーエッチシー
    スピンコータ一覧
  - 会社サイト創業: 1972年従業員数: 11人会社詳細
  - 住所: 東京都八王子市高倉町66-3
- - 株式会社アイデン
    スピンコータ一覧
  - 会社サイト創業: 1973年従業員数: 280人会社詳細
  - 住所: 兵庫県神戸市西区見津が丘２丁目２番３
- - 株式会社SAT
    レジスト塗布装置一覧
  - 会社サイト創業: 2007年会社詳細
  - 住所: 茨城県土浦市富士崎１-14-19ＮＡＣ土浦ビル 1Ｆ
- - リソテックジャパン株式会社
    マニュアルレジスト塗布/現像装置　Litho Spin Cupシリーズ一覧
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 20人会社詳細
  - 住所: 埼玉県川口市並木2-6-6
- - ミカサ株式会社
    レジスト塗布装置一覧
  - 会社サイト創業: 1921年従業員数: 20人会社詳細
  - 住所: 東京都港区芝公園2丁目8番1号
- - オーエヌ総合電機株式会社
    レジスト液加湿塗布装置
  - 会社サイト創業: 1962年会社詳細
  - 住所: 愛知県名古屋市瑞穂区下坂町1-5
- - ハイソル株式会社
    商社・代理店
    超精密スピンコーター
  - 会社サイト創業: 1993年従業員数: 25人会社詳細
  - 住所: 東京都台東区上野1-17-6

レジスト塗布装置のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

2022年6月の注目ランキングベスト10

注目ランキング導出方法

順位	会社名	クリックシェア
1	株式会社イー・スクエア	27.8%
2	東レエンジニアリング株式会社	10.7%
3	株式会社SDI	8%
4	ダイトロン株式会社	7.5%
5	株式会社ジャステム	5.9%
6	株式会社アイデン	5.3%
7	ミカサ株式会社	5.3%
8	株式会社ファイコーポレーション	4.8%
9	株式会社エムテーシー	3.7%
10	株式会社エース設備	3.7%