芝浦エレテック株式会社
神港精機株式会社
株式会社菅製作所
株式会社昭和真空
株式会社日立ハイテク
株式会社天谷製作所
株式会社大阪真空機器製作所
株式会社マツボー
株式会社パスカル
株式会社ダルトン
株式会社サンバック
株式会社アルバック

【2022年版】エッチング装置5選 / メーカー29社一覧

エッチング装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、エッチング装置のメーカー29社一覧企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。エッチング装置関連企業の2022年7月注目ランキングは1位:株式会社アルバック、2位:株式会社日立ハイテク、3位:芝浦エレテック株式会社となっています。

目次

エッチング装置と関連するカテゴリ

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エッチング装置のカタログ一覧はこちら
株式会社イー・スクエアのエッチング装置のカタログ
株式会社イー・スクエアのエッチング装置のカタログ
株式会社イー・スクエアのエッチング装置のカタログ

企業

株式会社イー・スクエア

エッチング装置のメーカー29社一覧

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

企業の並び替え

  • 標準
  • 従業員数順
  • 資本金の大きい順
  • 設立年古い順
  • 設立年新しい順
  • 上場企業順

エッチング装置のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

注目ランキング導出方法について

注目ランキングは、2022年7月のエッチング装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。

社員数の規模

  1. パナソニック: 259,835人
  2. 日立ハイテク: 11,903人
  3. JSWアフティ: 5,239人

設立年の新しい会社

  1. JSWアフティ: 2014年
  2. SCREENファインテックソリューションズ: 2014年
  3. SPPテクノロジーズ: 2011年

歴史のある会社

  1. ミカサ: 1921年
  2. パナソニック: 1935年
  3. ダルトン: 1939年

エッチング装置のカタログ一覧(3件)

Metoreeに登録されているエッチング装置が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。



株式会社イー・スクエアのカタログ



エッチング装置5選

株式会社日立ハイテク
コンダクターエッチング装置 9000シリーズ / M-8000シリーズ / M-600/6000シリーズ

特徴

コンダクターエッチング装置は、最先端デバイスに対応しているエッチング装置です。

20nm世代以降のデバイスに求められるダブルパターニングや3D構造、さらには新規材料に対応した後処理や保護膜形成などの高精度かつ複雑なプロセスに対応できることの他、インターフェースを統一していること、高精度にモジュール化した各種チャンバを搭載可能なことが特徴です。

拡張性と柔軟性のあるプロセスを必要とする際に最適です。

株式会社日立ハイテクの会社概要

  • 会社所在地: 東京都港区虎ノ門一丁目17番1号虎ノ門ヒルズビジネスタワー
  • 会社サイト
  • 創業: 1947年
  • 従業員数: 11,903人
  • 資本金: 793,848,525円

製品を見る

住友精密工業株式会社
エッチング装置

特徴

MEMS・半導体製造装置は、シェア90%を誇るMEMS用シリコン深掘り装置です。

世界最高レベルのエッチレートなどの優れたパフォーマンスを発揮することが可能なソフトウエアとモジュールを搭載していることの他、研究試作型から量産型までといった幅広い需要に対応出来ること、エッチング中に生じてしまう構造体の付着を生じさせることなく加工が可能であることが特徴です。

ジャイロセンサや加速度センサの加工に最適です。

住友精密工業株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 兵庫県尼崎市扶桑町1番10号
  • 会社サイト
  • 創業: 1961年
  • 従業員数: 1,765人
  • 資本金: 2,147,483,647円

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パナソニック株式会社
プラズマクリーナー PSX307A

特徴

プラズマクリーナー PSX307Aは、金属接合性、樹脂密着性を改善可能なエッチング装置です。

真空チャンバーの大型化により同時処理可能な基板枚数が増えたため生産性が向上していることの他、独自のプラズマモニター機能でプラズマ安定性をリアルタイムモニターし、異常放電による基板ダメージを回避できること、φ300mmウエハ(リング付き/無し)に対応していることが特徴です。

ウエハレベルPKGのモノづくりに最適です。

パナソニック株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 大阪府門真市大字門真1006番地
  • 会社サイト
  • 創業: 1935年
  • 従業員数: 259,835人

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サムコ株式会社
ドライエッチング装置

特徴

ドライエッチング装置は、半導体に100nmから1000nm程度の幅で精密な凹凸を形成するほどの緻密な加工が可能なエッチング装置です。

加工に用いるガスは高密度プラズマを利用している他、半導体の高集積化に貢献できるため、半導体の高性能化に欠かせないということ、ガスに高周波をかけてプラズマ化させることでイオンやラジカルを用いて半導体を加工することも可能であることが特徴です。

LED製品の生産を行う際に最適です。

サムコ株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 京都府京都市伏見区竹田藁屋町36番地
  • 会社サイト
  • 創業: 1979年
  • 従業員数: 171人
  • 資本金: 1,663,687,000円

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キヤノンアネルバ株式会社
一覧

一覧 画像出典: キヤノンアネルバ株式会社公式サイト

特徴

磁性膜用ドライエッチング装置HC7400は、クラスター式のエッチング装置です。

磁性積層膜のマスクとMTJ一貫加工が可能な他、CH3OHガスによる低ダメージ加工プロセスによってエッチング可能であること、CVDチャンバーを増設することによって、加工後の保護膜形成までの一貫処理を実現していること、対応基板サイズがφ150mm、φ200mmであることが特徴です。

磁気ヘッドの生産を行う際に使用することが最適です。

キヤノンアネルバ株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1
  • 会社サイト
  • 創業: 1967年
  • 従業員数: 1,127人
  • 資本金: 1,800,000,000円

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