半導体洗浄装置
メーカー8社一覧 【2024年】
半導体洗浄装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、半導体洗浄装置のメーカー8社一覧や企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。半導体洗浄装置関連企業の2024年3月注目ランキングは1位:ダイキンファインテック株式会社、2位:芝浦メカトロニクス株式会社、3位:株式会社SCREENホールディングスとなっています。
半導体洗浄装置と関連するカテゴリ
半導体洗浄装置とは
半導体洗浄装置とは、半導体製造工程の1つである洗浄工程に用いられる装置の総称です。
洗浄工程は半導体製造工程全体の30〜40％を占める重要な工程です。高温処理工程や薄膜形成工程の前に十分に汚れを除去する前処理としての洗浄と、酸化膜・薄膜を削るエッチング工程の後にレジスト残滓物などを除去する後工程としての洗浄があります。
半導体洗浄装置は、薬液や純水を使用するウェット洗浄装置と薬液を使用しないドライ洗浄装置に大別されます。
半導体洗浄装置の使用用途
半導体洗浄装置は、半導体製造工場の各種工程で使用されます。シリコンウェハ上に半導体素子を形成する前工程でも素子を切り離し、パッケージ化して最終製品を製造する後工程でも使われます。
特に前工程では、ウェハ表面の汚染物質や付着物が半導体の品質や歩留まりに与える影響が非常に大きいです。そのため、ウェハ上に酸化膜・薄膜を形成する工程の前、成膜工程の後、エッチング工程の後など、非常に多くの段階で半導体洗浄装置が使われています。
半導体洗浄装置の原理
半導体製造の前工程では、半導体洗浄装置を使ってウェハ表面についた汚れを徹底的に除去する必要があります。具体的には高温処理でウェハ表面に酸化膜を形成する酸化工程の前、ウェハを薄膜材料のガスにさらして成膜するCVD工程の前後、放電によってイオン化した薄膜材料をウェハ表面に当てて成膜するスパッタリング工程の前後などです。
洗浄が十分でないと不良品の発生率が上がり、品質やコストに悪影響を与えます。薬剤を使用するウェット洗浄装置では一度に複数種類の薬剤を使えないため、1種類の薬液を用いてウェハを洗浄した後に純水で洗浄してから次の薬液槽にウェハを浸します。また、洗浄が終わった後にはウェハを乾燥させるプロセスも必要です。
半導体洗浄装置の種類
洗浄方式によって、半導体洗浄装置はバッチ式と枚葉式の2種類に分類できます。洗浄の処理方法ではドライ式とウェット式に分けられます。
1. 洗浄方法による分類
バッチ式
複数枚のウェハを同時に処理槽に浸して洗浄します。薬液の種類によって多槽式と単槽式に分類可能です。多槽式では処理槽を準備して順番に浸漬し、単槽式では1つの槽だけで薬液を入れ替えて洗浄します。
枚葉式
ウェハを1枚ずつ洗浄します。ウェハを回転させて処理液をノズルで吹き付けて洗浄します。
2. 洗浄の処理方法による分類
ウェット式
液体の薬液を洗浄に用いる方式です。
ドライ式
オゾンやアルゴンエアロゾルのような非液体で洗浄します。
半導体洗浄装置の構造
1. 多槽バッチ式
順番に浸漬し、洗浄とリンスを繰り返して処理可能です。一度に多量のウェハを処理できますが、装置が大きく、薬液の使用量が増えます。
2. 単槽バッチ式
処理槽を1個だけ使います。薬液を入れ替えて洗浄シークエンスを構築し、多槽式の欠点を補ったバッチ式です。比較的省スペースでウェハを大量に処理できます。処理ごとに薬液を入れ替える必要があり、薬液の使用量は多いです。
3. 枚葉式
薬液をウェハ1枚ずつに吹き付けて高速で回転させて洗浄します。省スペースで薬液の使用量が少なく処理液の汚染がありません。ただし、ウェハを回転させるため、薬液が飛散して回収や再利用は難しいです。
半導体洗浄装置の選び方
洗浄工程で対象となる汚れには、各種対応した洗浄方法があります。汚れの具体例はパーティクルと呼ばれる微細なゴミ、人の汗などに含まれるナトリウム分子や油脂成分、工場内で使われる薬剤に含まれる炭素分子などの有機物や金属原子などです。
1. パーティクル
パーティクルの除去のために、ブラシなどを使う物理的洗浄やアルカリ性薬品を用いたウェット洗浄が行われます。
2. 有機汚染物
有機汚染物の除去には酸性薬品やオゾン水を用いたウェット洗浄装置のほか、プラズマクリーナや紫外線オゾンクリーナーなどのドライ洗浄装置を使用可能です。
3. 金属汚染物
金属汚染物の除去のために酸性薬品によるウェット洗浄が行われます。
半導体洗浄装置メーカー 8社
*一部商社などの取扱い企業なども含みます。
半導体洗浄装置 2024年3月のメーカーランキング
*一部商社などの取扱い企業なども含みます2024年3月の注目ランキングベスト7
注目ランキング導出方法| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | ダイキンファインテック株式会社 |
29.3%
|
| 2 | 芝浦メカトロニクス株式会社 |
17.5%
|
| 3 | 株式会社SCREENホールディングス |
16.4%
|
| 4 | タツモ株式会社 |
10.1%
|
| 5 | サムコ株式会社 |
10.0%
|
| 6 | 三益半導体工業株式会社 |
9.3%
|
| 7 | 入江株式会社 |
7.4%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年3月の半導体洗浄装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
- SCREENホールディングス: 6,074人
- 芝浦メカトロニクス: 1,204人
- 三益半導体工業: 1,105人
設立年の新しい会社
- HUGパワー: 2012年
- サムコ: 1979年
- タツモ: 1972年
歴史のある会社
- 入江: 1919年
- 芝浦メカトロニクス: 1939年
- SCREENホールディングス: 1943年
半導体洗浄装置注目ランキング
製品の閲覧数をもとに算出したランキング
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
半導体洗浄装置の製品 4点
4 点の製品がみつかりました
PHT株式会社
ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）
190人以上が見ています
最新の閲覧: 21時間前
PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。 ワイヤーソー (スライス) ...
ブルカージャパン株式会社
ウェハドライクリーニング装置 WaferClean 2200
60人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
16.3時間 平均返答時間
■ウエハ向けCO2ドライクリーニング装置 ・ウェハ向けCO2精密ドライクリーニングによるパーティクル除去 ・最適化された独自ノズルの採用...
ブルカージャパン株式会社
フォトマスク CO₂ドライクリーニング装置 RAVE EL-C
50人以上が見ています
最新の閲覧: 12時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
16.3時間 平均返答時間
■マスク向けCO₂精密ドライクリーニング装置 ・フォトマスク用リペア残渣やドライクリーニングによるパーティクル除去 ・マスク縦置きク...
株式会社東設
ウェット処理装置 洗浄装置
最新の閲覧: 3時間前
・アルカリクリーニング ・非水溶性洗浄 ・界面活性剤洗浄 ■東設のウェット処理装置とは アルカリクリーニングプロセス、レジスト剥離...
半導体洗浄装置のカタログ 7件
Metoreeに登録されている半導体洗浄装置が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
カタログを企業ごとに探す
- 全ての企業
- HUGパワー
- イー・スクエア
- 八興
- PHT
カタログを種類ごとに探す
- 全ての種類
- 製品個別カタログ
- 製品総合カタログ
- ノウハウカタログ
HUGパワー株式会社
半導体洗浄装置
カタログ概要
エッチング後のポリマ除去/ウェハ上の異物除去に有効主な用途・有機物除去・切削屑の除去・金属膜のリフトオフ
タグ付けカテゴリ
半導体洗浄装置2024年4月18日
株式会社イー・スクエア
大気圧プラズマ装置でのダイレクト接着 接合 ５G ６G フッ素樹脂 LCP
カタログ概要
大気圧プラズマを用いたダイレクト接着の一例を紹介しています。接着界面にダメージを与えない分子結合を主体にした結果の一例です。光学レンズ・光学フィル...
タグ付けカテゴリ
半導体洗浄装置 洗浄装置 ビルドアップ基板 プリント基板 +262023年3月29日
株式会社イー・スクエア
大気圧プラズマにおける表面機能化 アプリケーションとその装置 親水化 接合
カタログ概要
過去、講演会等に用いた資料で、弊社が製造する大気圧プラズマ装置の基本的概念や装置性能、設計思想、使用実績アプリケーション等、性能検証方法等を紹介さ...
タグ付けカテゴリ
半導体洗浄装置 産業用インクジェットプリンター 洗浄装置 ビルドアップ基板 +512022年7月12日
株式会社イー・スクエア
大気圧プラズマ装置でのダイレクト接着・接合 接着剤レス接着
カタログ概要
PTFEやPFAなどのフッ素樹脂表面への超親水化処理と、LCPやフッ素樹脂フィルムとCuとのダイレクト接着の方法の一例の紹介です。接着界面材質に応じ、付与する...
タグ付けカテゴリ
半導体洗浄装置 産業用インクジェットプリンター 洗浄装置 ビルドアップ基板 +272023年7月10日
株式会社八興
半導体用途向けフッ素ホース
カタログ概要
半導体、電子部品業界向けのフッ素チューブのお困りごと事例集です。半導体で使用する薬品搬送当によるチューブ・ホースの劣化及びチューブ・ホースからの溶...
タグ付けカテゴリ
半導体洗浄装置 半導体外観検査装置 半導体露光装置 半導体検査装置 +12024年2月27日
PHT株式会社
ウェーハ自動剥離装置
カタログ概要
半導体製造には，非常にクリーンな環境での高速搬送が求められる．当社で提供している半導体処理設備に用いられるウェーハ自動剥離装置も，そのような要求に...
タグ付けカテゴリ
半導体洗浄装置 洗浄装置 半導体製造装置2023年11月28日
PHT株式会社
バッチ式自動洗浄装置
カタログ概要
１：ラップ後洗浄装置：ラッピング砥粒除去（アルカリ+界面を主にした洗浄です）。２：アルカリエッチング洗浄装置：グラインディング後の加工歪を除去するこ...
タグ付けカテゴリ
半導体洗浄装置 洗浄装置 半導体製造装置2023年11月28日
半導体洗浄装置のカタログ7件分をまとめてダウンロードできます！お迷いの方は便利な無料の一括ダウンロード機能をご利用ください。
企業
HUGパワー株式会社 株式会社イー・スクエア 株式会社八興 PHT株式会社
