株式会社菅製作所
株式会社昭和真空
株式会社マツボー
株式会社テクノファイン
株式会社エイチ・ティー・エル
株式会社エイコー
東横化学株式会社
ワッティー株式会社
サムコ株式会社
JSWアフティ株式会社

【2022年版】ALD装置5選 / メーカー10社一覧

ALD装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、ALD装置のメーカー10社一覧企業ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。ALD装置関連企業の2022年6月注目ランキングは1位:東横化学株式会社、2位:サムコ株式会社、3位:株式会社マツボーとなっています。

目次

ALD装置のメーカー10社一覧

*一部商社などの取扱い企業なども含みます。

企業の並び替え

標準 |従業員数順 |設立年古い順 |設立年新しい順 |上場企業順

ALD装置のメーカーランキング

*一部商社などの取扱い企業なども含みます

注目ランキング導出方法について

注目ランキングは、2022年6月のALD装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。

社員数の規模

  1. 1 JSWアフティ株式会社
  2. 2 株式会社エイコー
  3. 3 東横化学株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 JSWアフティ株式会社
  2. 2 株式会社テクノファイン
  3. 3 株式会社エイチ・ティー・エル

歴史のある会社

  1. 1 株式会社菅製作所
  2. 2 株式会社マツボー
  3. 3 東横化学株式会社

ALD装置5選

株式会社昭和真空
原子層堆積装置

原子層堆積装置 画像出典: 株式会社昭和真空公式サイト

特徴

高いアスペクト比の基板に比べてみると、付き回りよく成膜を析出することが可能です。

単原子層ずつ成膜していくため、膜厚制御性にとても優れています。

基板の温度を抑制し成膜することが可能であり、また基板面の内分布にもとても優れています。

主な用途としては、LED(色度調整とAg硫化防止膜)や電子デバイス(絶縁膜とバリアメタル)、複雑な形状の基板への成膜などさまざまな用途に合わせて使用されています。

株式会社昭和真空の会社概要

  • 会社所在地: 神奈川県相模原市中央区田名3062-10
  • 会社サイト
  • 創業: 1953年
  • 従業員数: 197人

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東横化学株式会社
SAL1000 デスクトップ型ALD装置

SAL1000 デスクトップ型ALD装置 画像出典: 東横化学株式会社公式サイト

特徴

成膜チャンバーと制御電源部を一つにして、小型で軽い卓上に設置可能な研究開発用の装置がSAL1000です。

操作の前面がタッチパネルとなっていて、動作の状況や圧力を前面で確認することができます。

プリカーサーの対応基板はφ4までとなり、2系統を搭載しています。

真空排気から成膜まで設定した工程を自動で行い、成膜終了後にはベントボタンを押せばだれでも簡単に基板を取り出すことが可能となっています。

東横化学株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 神奈川県川崎市中原区市ノ坪370
  • 会社サイト
  • 創業: 1952年
  • 従業員数: 355人

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ワッティー株式会社
ALD(原子層堆積)装置

ALD(原子層堆積)装置 画像出典: ワッティー株式会社公式サイト

特徴

外周の大気を遮断するためのプロセスエリアにはクォーツを用いたチャンバ構造を用いるため、多く作られた成膜物などはステンレス側へはほとんどいきません。

最適温度管理や AlNヒータを採用したヒートステージなどさまざまな温度管理を行っています。

チャンバ内容体積を大幅に低減することが可能となり、デッドスペースの排除と到達時間が短縮します。

ALD装置では、Al2O3やTiO2・HfO2 などの成膜種があります。

ワッティー株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 東京都品川区西五反田7-18-2 ワッティー本社ビル
  • 会社サイト
  • 創業: 1967年
  • 従業員数: 162人

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サムコ株式会社
プラズマALD装置 AD-230LP

プラズマALD装置 AD-230LP 画像出典: サムコ株式会社公式サイト

特徴

原子レベルでの膜厚の制御ができるALD装置のことです。

ガスラインとガスフローの原料を反応室の構造によって、パーティクルを抑制します。

ガスのパージ時間を短縮し、ひとつのサイクルを早くすることが可能とするには、容量結合プラズマ方式で反応室の容積をとても小さくすることです。

低温成膜である窒化膜と酸化膜やパッシベーション膜である半導体と有機ELなど、半導体レーザーの反射面などに応用されています。

サムコ株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 京都府京都市伏見区竹田藁屋町36番地
  • 会社サイト
  • 創業: 1979年
  • 従業員数: 171人

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JSWアフティ株式会社
AFALD-8

AFALD-8 画像出典: JSWアフティ株式会社公式サイト

特徴

CCPプラズマ源の内臓によって、ミリや秒単位で制御することや低いダメージで安定な成膜を可能にすることができました。

膜厚制御性に優れ、高いアスペクト比や難しい3次元構造に原子レベルで膜厚制御された成膜が可能です。

金属前駆体を最大で4種類、反応ガスを最大3種類、試料搬送機構はたくさんのタイプから選択することが可能です。

インターフェースで任意の設定可能なコンフィグ機能があり直感的な操作が可能となっています。

JSWアフティ株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 東京都八王子市兵衛2-35-2
  • 会社サイト
  • 創業: 2014年
  • 従業員数: 5,239人

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