エッチング装置をチェックした人はこんな商品もチェックしています
エッチング装置についての概要、用途、原理などをご説明します。また、エッチング装置のメーカー27社一覧や企業ランキング、製品ランキングも掲載しておりますので是非ご覧ください。エッチング装置関連企業の2024年2月注目ランキングは1位:株式会社ダルトン、2位:サムコ株式会社、3位:芝浦エレテック株式会社となっています。
エッチング装置と関連するカテゴリ
早稲田大学大学院でMBE法による窒化物半導体成長に関する研究に従事。2016年に大学院を修了後、非鉄金属系メーカーへ入社。金属製錬工場における設備保全・エンジニアリングの業務に従事。2022年に化学系メーカーへ転職。同様の業務に従事。
エッチング装置とは、半導体などの製造工程であるエッチング加工に利用される装置です。
エッチング加工は、加工対象の表面を切削または溶解させて加工する技術を指します。エッチング装置では、半導体ウェハ上に形成した薄膜などにエッチング加工を行い、CPUなどの電子デバイス製造に必要不可欠な装置です。
近年の電子デバイスの高機能化に伴い、エッチングはより微細な加工が求められています。工程も複雑化しており、1つの電子部品を製造するためにエッチング装置を複数台使用されることも多くあります。
エッチング装置は電子デバイスの製造に欠かせない装置です。具体的な使用用途は、以下の通りです。
これらの製造には、フォトリソグラフィが利用されています。フォトリソグラフィとは、感光性物質を塗布した上から光を当てて物体表面を加工する技術で、エッチングはフォトリソグラフィの一工程です。
エッチング工程では、ウェハ上の酸化膜にレジストがコーティングされている部分は残り、レジストがない部分がはがれ落ちます。凹凸ができ、パターンが形成されています。
エッチング装置は、ウェットエッチングとドライエッチングの2種類に分類されます。
酸もしくはアルカリ薬液を使用して酸化膜を溶かす加工です。一度に多くの枚数の処理が可能で、生産の品質が安定しています。
薬液が比較的安価なので、安価に製造可能です。ただし、エッチングの方向が一方向に進むため、垂直方向の加工ができない方法です。1μm程度の加工が限界となります。
ドライエッチングは薬液を使用しないエッチング加工です。ドライエッチングの中では、プラズマエッチングが最も広く利用されています。真空下でガスを高電圧でプラズマ化する方法です。
プラズマ化の方法から誘電結合型とマイクロ波型などがあり、いずれも高周波電源を使用します。生成したプラズマで対象物表面を削る方法で、ウェットエッチングよりも高価なのが特徴です。ただし、100nm~1000nmといった微細な溝の加工が可能です。
プラズマエッチングの他にはイオン衝突によるイオンエッチングやガスを利用するガスエッチングなどがあります。いずれも真空装置が必要です。
世界の電子機器市場は拡大し続けており、それを支える半導体産業の重要性はますます高まっています。半導体の世界市場は、リーマンショックなどの不況を経験しながらも拡大傾向です。
近年、記憶媒体を3D構造とすることでさらに微細化する技術の開発が盛んです。そのため、3D化へのコア技術としてエッチング装置はさらに重要性を増しています。
エッチング装置消費の市場規模は2018年で13,893億円です。消費地域別シェアは韓国(28%)、中国(19%)、日本(19%)、台湾(14%)、米国(10%)となっています。また、ベンダ国籍別シェアは2018年は米国(64%)、日本(32%)です。2018年時点では米国と日本の企業で寡占化しています。
ドライエッチングは微細加工を行う技術の一つですが、加工する材料に応じて多くの装置が販売されています。ただし、シリコン用やメタル配線用など、主に半導体や金属を対象とする装置が主流です。通常の半導体工場では絶縁膜ドライエッチング装置が高比率です。
2015年以降これまで半導体製造装置の中で最大の市場であった露光装置の規模を超えて、ドライエッチング装置の市場規模が最大となりました。2017年には、ドライエッチング装置の市場規模は107億米ドルでした。
ドライエッチング装置の市場規模が急拡大している理由は、メモリの3次元構造化によるものです。微細化が進むにつれドライエッチング工程の増大し、フラッシュメモリは3次元構造が開発されるようになりました。
3次元NANDフラッシュメモリのセル形成にはさまざまな加工が必要です。特にチャネルホールの深孔加工が難しく、長時間のエッチング処理が必要となります。半導体メモリ工場では時間当たりの処理枚数が重要です。そのため、ドライエッチング装置の設置台数を増やすことで処理能力を確保します。
参考: EE Times Japan
参考文献
https://www.hitachi-hightech.com/jp/products/device/semiconductor/etch.html
https://www.samco.co.jp/company/primer/2011/03/post_5.php
https://eetimes.jp/ee/articles/1809/19/news007_2.html
https://www.meti.go.jp/meti_lib/report/2019FY/000182.pdf
https://eetimes.jp/ee/articles/1809/19/news007.html
製品の閲覧数をもとに算出したランキング
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
6 点の製品がみつかりました
神港精機株式会社
160人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
エッチング室を複数装備できる新型マルチチャンバタイプエッチング装置です。 新開発ICPエッチングチャンバを2室装備可能 ・同装置は従...
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
140人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
3.2時間 平均返答時間
■概要 PlasmaPro 100 Cobra ICP RIEシステムでは、高密度誘導結合プラズマを使用して、高速なエッチングレートを実現します。このプロセ...
ジャパンクリエイト株式会社
130人以上が見ています
最新の閲覧: 8時間前
■概要 最大φ12インチ基板を全自動で連続処理することが可能な量産装置です。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、...
神港精機株式会社
120人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
ナノインプリントモールド用ICPエッチング装置「SERIO」の基本構成よりチャンバ内構成やガス系をメタル用にカスタマイズした最新型エッ...
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
90人以上が見ています
最新の閲覧: 10時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
3.2時間 平均返答時間
■概要 PlasmaPro 100 ALE原子層エッチングシステムにより、次世代半導体デバイスのエッチングを正確にコントロールすることが可能になり...
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
90人以上が見ています
返信の早い企業
100.0% 返答率
3.2時間 平均返答時間
PlasmaPro 100 Estrelas プラットフォームは、ディープ リアクティブイオン エッチング (DRIE) アプリケーション用に、総合的なフレキシ...
エッチング装置の規模が大きい企業ランキング
Metoreeにアカウント登録をしている企業の従業員数データより算出したランキングです
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
エッチング装置の人気企業ランキング
Metoreeにアカウント登録をしている企業の2024年3月時点でのアクセス数を基に算出したランキングです
電話番号不要
何社からも電話がかかってくる心配はありません
まとめて見積もり
複数社に何度も同じ内容を記入する必要はありません
返答率96%以上
96%以上の方がメーカーから返答を受け取っています
2024年2月の注目ランキングベスト10
注目ランキング導出方法順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社ダルトン |
8.4%
|
2 | サムコ株式会社 |
8.4%
|
3 | 芝浦エレテック株式会社 |
8.4%
|
4 | ジャパンクリエイト株式会社 |
7.6%
|
5 | 株式会社アルバック |
7.6%
|
6 | パナソニック株式会社 |
5.9%
|
7 | 神港精機株式会社 |
5.0%
|
8 | LAM RESEARCH CORPORATION |
5.0%
|
9 | 住友精密工業株式会社 |
5.0%
|
10 | 新明和工業株式会社 |
4.2%
|
注目ランキング導出方法について
注目ランキングは、2024年2月のエッチング装置ページ内でのクリックシェアを基に算出しています。クリックシェアは、対象期間内の全企業の総クリック数を各企業のクリック数で割った値を指します。社員数の規模
設立年の新しい会社
歴史のある会社
Metoreeに登録されているエッチング装置が含まれるカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。
カタログを企業ごとに探す
カタログを種類ごとに探す
大気圧プラズマを用いたダイレクト接着の一例を紹介しています。接着界面にダメージを与えない分子結合を主体にした結果の一例です。光学レンズ・光学フィル...
2023年3月29日
過去、講演会等に用いた資料で、弊社が製造する大気圧プラズマ装置の基本的概念や装置性能、設計思想、使用実績アプリケーション等、性能検証方法等を紹介さ...
2022年7月12日
こちらは総合カタログです。以下は会社概要です。丹波貿易株式会社は1999年3月に創業した会社です。国内有力メーカーの包装材料、システムライン関連の輸出商...
2023年11月1日