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真空チャンバのメーカー44社一覧や企業ランキングを掲載中!真空チャンバ関連企業の2025年5月注目ランキングは1位:株式会社サンプラテック、2位:株式會社三和トレーデング、3位:株式会社豊栄製作所となっています。 真空チャンバの概要、用途、原理もチェック!
真空チャンバーとは、内部の気圧を極めて低く保つために設計された密閉された容器です。
一般的には金属製の箱状の構造をしており、内部から気体を取り除くことによって真空状態を作り出します。真空チャンバーや真空容器とも呼ばれます。
真空状態では酸素や水分がほとんど存在しないため、金属やプラスチックなどの材料を酸化や腐食から保護することが可能です。真空チャンバーを使用して材料を処理することで、耐久性や品質を向上させることができます。
ただし、極低気圧や突然の気圧変化は危険を引き起こす可能性があるため、適切な訓練や指導のもとで操作する必要があります。また、チャンバーの構造や封閉性を確保し、事故や漏れのリスクを最小限に抑えるための注意が必要です。
2025年5月の注目ランキングベスト10
順位 | 会社名 | クリックシェア |
---|---|---|
1 | 株式会社サンプラテック |
10.7%
|
2 | 株式會社三和トレーデング |
7.1%
|
3 | 株式会社豊栄製作所 |
7.1%
|
4 | アリオス株式会社 |
6.1%
|
5 | 赤田工業株式会社 |
6.1%
|
6 | 西精機株式会社 |
5.1%
|
7 | 真空光学株式会社 |
4.1%
|
8 | 株式会社旭東金属 |
3.0%
|
9 | 株式会社藤澤鐵工所 |
3.0%
|
10 | 株式会社富士アールアンドディー |
2.5%
|
アリオス株式会社
300人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
1.8時間 返答時間
■概要 超高真空に追い込むには手を抜かずに一つ一つの作業を積み重ねていくことが重要です。当社製超高真空チャンバーは材料の選択、溶...
北野精機株式会社
260人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
返信の比較的早い企業
100.0% 返答率
17.3時間 返答時間
良質な真空実験環境を実現する上で、真空チャンバー内壁面から、そしてチャンバー素材内部からの放出ガスが大きな障害となります。北野...
株式会社DINOVAC
350人以上が見ています
最新の閲覧: 14時間前
返信の早い企業
100.0% 返答率
9.8時間 返答時間
当社では実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて装置を設計、製造いたします。「こういう形の物に膜をつけられる...
株式会社エキシマ
220人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
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4.1時間 返答時間
受注生産品
株式会社MSAファクトリー
670人以上が見ています
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91.3時間 返答時間
特注対応、真空ホットプレートチャンバー、PH225最高温度800℃まで。 ■主な用途 真空加熱用実験器具として、また、真空ベーク、真空乾燥...
4種類の品番
株式会社サイエンスラボラトリーズ
30人以上が見ています
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100.0% 返答率
24.2時間 返答時間
■Kimball Physics社製「球形真空チャンバー」 ポート数が多いので、様々な方向から接続が可能です。ネジ穴数も2倍となっているので取り...
株式会社サイエンスラボラトリーズ
30人以上が見ています
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100.0% 返答率
24.2時間 返答時間
■Ideal Vacuum Products社製「モジュール式 高真空チャンバー (Ideal Vacuum Cube) 」 Ideal Vacuum Products社製 モジュール式 高真空...
入江株式会社
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4.5 会社レビュー
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■特徴 主に宇宙開発材料及びコンポーネント等の寿命試験等の実験を目的として開発されたスペースチャンバーです。
赤田工業株式会社
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0.8時間 返答時間
セミオーダー型。アルミ材とステンレス材で製作可能です。従来の上蓋タイプに加え、横扉のタイプもラインナップしています。各種フラン...
株式会社エイム
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最新の閲覧: 1日前
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69.9時間 返答時間
半導体向け真空装置の受託生産を行っています。 ■最高の品質水準を安定的に 厳格な品質管理のもと、社内一貫生産にて安定した品質を提...
赤田工業株式会社
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0.8時間 返答時間
VS-Vは縦型のセミオーダー型真空タンクです。 ■セミオーダー型真空タンクの特徴 半規格品で、簡単に代表寸法をご指示頂くだけで設計が...
山商エンジニアリング株式会社
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100.1時間 返答時間
浄水道施設では、水を浄化するための手法として、「濾過膜方式」を導入する施設が増えております。これに付随して濾過膜の洗浄時に、濾...
赤田工業株式会社
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■SUS 角型真空チャンバー (ボルト止めタイプ) の特徴 シンプルでコスト優先のチャンバーです。接続フランジは、JIS、NW (KF) 、ICF、テ...
コレット工業株式会社
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116.6時間 返答時間
高真空から大気まで恒温チャンバのスペシャリスト「コレット」が半導体パッケージ、ベアチップ、プリント基板、医薬品等各種素材の熱変...
5種類の品番
赤田工業株式会社
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VS-Hは横型のセミオーダー型真空タンクです。 ■セミオーダー型真空タンクの特徴 半規格品で、簡単に代表寸法をご指示頂くだけで設計が...
株式会社MSAファクトリー
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91.3時間 返答時間
■主な用途 真空加熱用実験器具として、また、真空ベーク、真空乾燥炉としてご使用いただけます。安価に真空加熱プロセスを構築いただけ...
3種類の品番
赤田工業株式会社
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VL-Vは縦型大容量のセミオーダー型真空タンクです。 ■セミオーダー型真空タンクの特徴 半規格品で、簡単に代表寸法をご指示頂くだけで...
フジ・インバック株式会社
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39.6時間 返答時間
■概要 排気系に安価なDPを使用した省スペースタイプ
赤田工業株式会社
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VL-VFは縦型大容量フランジタイプのセミオーダー型真空タンクです。上部フタが開閉可能。真空タンク内部に機器を入れることが可能になり...
赤田工業株式会社
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■大型真空タンクの特徴 カタログモデルはΦ406.4までですが、最大Φ1,500程度、L3,000までのタンクも製作しております。最大容量は、1,000...
赤田工業株式会社
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■角型真空タンク (大型) の特徴 容積重視でお考えのお客様に提案させていただきます。丸型に比べてコストアップと重量アップとなります...
赤田工業株式会社
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0.8時間 返答時間
■角型真空タンク (小・中型) の特徴 容積重視でお考えのお客様に提案させていただきます。丸型に比べてコストアップと重量アップとなり...
真空チャンバーとは、内部の気圧を極めて低く保つために設計された密閉された容器です。
一般的には金属製の箱状の構造をしており、内部から気体を取り除くことによって真空状態を作り出します。真空チャンバーや真空容器とも呼ばれます。
真空状態では酸素や水分がほとんど存在しないため、金属やプラスチックなどの材料を酸化や腐食から保護することが可能です。真空チャンバーを使用して材料を処理することで、耐久性や品質を向上させることができます。
ただし、極低気圧や突然の気圧変化は危険を引き起こす可能性があるため、適切な訓練や指導のもとで操作する必要があります。また、チャンバーの構造や封閉性を確保し、事故や漏れのリスクを最小限に抑えるための注意が必要です。
真空チャンバーは、さまざまな用途で使用される装置です。以下は真空チャンバーの使用用途一例です。
真空チャンバーを使用することで、材料物性を調査するのに使用されます。真空状態では気体や水分の影響を受けずに、材料の物理的な特性を調査可能です。熱伝導性、電気伝導性、弾性特性などを評価するために真空チャンバーを使用します。
また、真空チャンバーを使用して材料の表面処理や酸化防止の研究を行います。表面の腐食防止やコーティング技術の開発に利用されることが多いです。また、真空状態下で材料の劣化や酸化の挙動を観察し、耐久性や寿命を評価する場合もあります。
真空チャンバーを使用することで、物質の表面処理を実施する場合があります。中でも蒸着は、真空チャンバー内で金属や他の物質を蒸発させて基板や素材の表面に均一な薄膜を形成するプロセスです。光学コーティングや半導体製造などで広く使用されます。
半導体製造プロセスには、真空が必要となる場合も多いです。デポジッションやエッチングは、真空下で行われることもあります。
デポジションは真空状態でガスや蒸気を導入し、半導体基板上に薄膜を成長させるプロセスです。半導体素子の製造や集積回路の形成に利用されます。
エッチングは真空中で化学的または物理的な方法で半導体表面を削除するプロセスです。微細なパターン形成や回路構造の形成に用いられます。
真空チャンバーは、内部の気圧を低下させ、気体や気体分子の存在を極力排除することによって真空状態を作り出します。真空状態の維持には、真空ポンプ、シールによる気密向上、気体の除去などが重要です。
真空チャンバーではガスを除去するために、真空ポンプが使用されます。ポンプはチャンバー内のガスを吸引し、外気へ排気する場合が多いです。一般的なポンプの種類には、油回転ポンプ、ターボ分子ポンプ、吸引ポンプなどがあります。また、真空チャンバーは気密性が重要です。
チャンバーの閉じる部分や窓などの接合部分は、ゴム、Oリング、金属ガスケットなどのシール材料によって気密性が確保されます。適切なシール設計とシールの密閉性の確認が必要です。
ガスや揮発性物質を除去するために、真空チャンバー内にガス導入や排気装置が設置されます。これにより、チャンバー内の気体を制御し、真空度を維持することが可能です。
真空チャンバーを選ぶ際には、以下の要素を考慮することが重要です。
最初に真空チャンバーを使用する目的を明確にします。材料研究や宇宙環境シミュレーションなど、具体的な用途に合わせたチャンバーを選ぶことが重要です。
使用するプロセスや実験に応じて必要な真空度を決定します。一般的な真空度の範囲は、大気圧から高真空 (約10^-3 Pa) や、超高真空 (約10^-7 Pa) までさまざまです。必要な真空度に応じて適切なポンプシステムやチャンバーの設計を選びます。
使用する試料や装置のサイズに応じて、チャンバーの容積と寸法を選びます。十分なスペースが確保されているか、試料のサイズや形状が収容可能かを確認することが必要です。
チャンバーの材料と気密性は重要な要素です。耐久性と気密性の高い材料を選び、シールや接合部の気密性を確保するための適切なシール材料を選ぶ必要があります。真空チャンバーの材質は、一般的にはステンレス鋼が使用されます。
参考文献
https://www.shinku-kogaku.co.jp/vacuumchamber/
https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj1989/48/11/48_11_1043/_pdf/-char/ja
https://www.samco.co.jp/company/primer/2018/05/necessity.php