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ドライポンプのメーカー19社一覧や企業ランキングを掲載中！ドライポンプ関連企業の2025年6月注目ランキングは1位:有限会社スコットプランニング、2位:株式会社荏原製作所、3位:ヤマト科学株式会社となっています。 ドライポンプの概要、用途、原理もチェック！
ドライポンプとは、オイルやその他の液体を利用せず真空を実現するさまざまな真空ポンプの総称です。
ドライポンプはオイルなどを利用して真空を作り出す、ウェットポンプと対比する名称です。ルーツ型ドライポンプ、スクロールポンプ、クロー型ドライポンプ、ダイアフラム型ドライポンプなど、メカニズムの違いによっていくつかの種類があります。
また、ロータリーポンプとは異なり、オイルミストの排出がないので、クリーンな環境での利用に適しています。
2025年6月の注目ランキングベスト10
| 順位 | 会社名 | クリックシェア |
|---|---|---|
| 1 | 有限会社スコットプランニング |
12.8%
|
| 2 | 株式会社荏原製作所 |
10.6%
|
| 3 | ヤマト科学株式会社 |
8.5%
|
| 4 | 大亜真空株式会社 |
8.5%
|
| 5 | 神港精機株式会社 |
8.5%
|
| 6 | オリオン機械株式会社 |
8.5%
|
| 7 | アネスト岩田株式会社 |
6.4%
|
| 8 | 株式会社宇野澤組鐵工所 |
6.4%
|
| 9 | 株式会社アンレット |
6.4%
|
| 10 | 株式会社大阪真空機器製作所 |
6.4%
|
項目別
使用用途
#半導体製造
#液晶製造
#医薬品製造
#食品製造
#真空乾燥
#分析装置
#真空搬送
#表面処理
#化学プロセス
#真空成形
到達真空度 Pa
0 - 100
100 - 1,000
1,000 - 10,000
10,000 - 20,000
排気速度 L/min
0 - 100
100 - 500
500 - 1,000
1,000 - 2,000
2,000 - 10,000
10,000 - 60,000
モーター出力 W
0 - 100
100 - 200
200 - 300
300 - 400
400 - 500
500 - 600
600 - 700
700 - 1,000
1,000 - 1,100
電源電圧 V
90 - 100
100 - 120
120 - 200
200 - 220
220 - 240
240 - 380
380 - 460
使用周囲温度範囲 ℃
-20 - 0
0 - 10
10 - 20
20 - 30
30 - 40
40 - 50
排気口径 mm
5 - 10
10 - 20
20 - 30
30 - 40
質量 kg
0 - 5
5 - 10
10 - 20
20 - 30
30 - 40
40 - 100
100 - 500
500 - 6,000
消費電力 W
0 - 100
100 - 500
500 - 1,000
1,000 - 2,000
2,000 - 4,000
4,000 - 8,000
エドワーズ株式会社
660人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
100.0% 返答率
53.3時間 返答時間
■EXSドライスクリュー真空ポンプ EdwardsのEXSドライスクリュー真空ポンプは、業界が認めた私たちのスクリュー真空技術を次のレベルへと...
3種類の品番
フジ・インバック株式会社
150人以上が見ています
最新の閲覧: 4時間前
100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
■スクロールポンプとは オイルを使用しない、ドライポンプです。2つの交互に配置された渦巻状の羽根を回転させる事により、気体を圧縮し...
株式会社協和コーポレーション
230人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
100.0% 返答率
52.4時間 返答時間
■特徴 壜詰・濾過・一般輸送。空押しが可能なので壜詰ラインのプレートヒーター等を空にするのにも最適です。 ■ドライポンプのご案内 ...
フジ・インバック株式会社
130人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
ファイファーバキューム社のダイヤフラムポンプは、様々な用途や市場において、クリーンでドライな真空を提供します。 ■ダイヤフラムポ...
株式会社越路商会
30人以上が見ています
返信の比較的早い企業
4.0 会社レビュー
100.0% 返答率
23.4時間 返答時間
加圧・減圧両用のドライポンプ。吸引と加圧両方が可能なマルチタイプの真空ポンプです。オイルフリーのダイアフラム式を採用しています...
東京理化器械株式会社
600人以上が見ています
最新の閲覧: 3時間前
100.0% 返答率
45.8時間 返答時間
■一定速運転のNVP型シリーズ ロータリーエバポレーターとの組合せを考慮した設計で、エバポレーターシステム全体をトータルサポートしま...
3種類の品番
株式会社アルバック
350人以上が見ています
最新の閲覧: 44分前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
MSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来のLSシリーズを基に、耐食性と粉体排出性を向上させた耐プ...
株式会社柳生商会
250人以上が見ています
最新の閲覧: 55分前
返信の早い企業
4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
7.9時間 返答時間
・オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプで、オイルによるコンタミネーションの心配がありません。 ・ロータリーエバポレ...
三弘エマテック株式会社
480人以上が見ています
最新の閲覧: 24分前
返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
100.0% 返答率
26.0時間 返答時間
■製品説明 大排気量でコンパクトサイズのドライ真空ポンプです。単相/三相電源を1機種で対応可能です。 ■特徴 高湿ガスオイルの逆拡散...
2種類の品番
フジ・インバック株式会社
100人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
■アプリケーション ・表面観察 ・リークディテクタ― (バックポンプ) ・プラズマクリーニング ・真空コーティング ・クライオポンプ再生...
株式会社宇野澤組鐵工所
300人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
消費電力が少なく耐久性に優れた｢クリーンプロセス用ECOドライ真空ポンプ｣です。オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
360人以上が見ています
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
0.6時間 返答時間
標準で防爆仕様・可燃性ガス（水素、メタンほか）の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです！ ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
株式会社三津海製作所
700人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・真空専用、圧力専用かをお知らせ下さい。 ・MF-10-TはMF-10を同一寸法内でさらに性能アップしております。 ・使用電圧は単相10...
2種類の品番
有限会社スコットプランニング
100人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
返信のとても早い企業
100.0% 返答率
3.4時間 返答時間
■特徴 ・低振動、低騒音、長寿命 ・低いモーター温度 ・高い信頼性と豊富な実績 ・容易なメンテナンス ■用途 一般産業、ソーラー、蒸着...
大晃機械工業株式会社
130人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
ルーツ式真空ポンプは、2軸ルーツ式の送風機で、インペラ形状は用途によって2葉式、3葉式のシリーズを取り揃えております。小型は20Aか...
株式会社アルバック
290人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
49.7時間 返答時間
LSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来、排気速度を大きくする為には多くの電力を消費していまし...
フジ・インバック株式会社
110人以上が見ています
最新の閲覧: 1日前
100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
■アプリケーション ・ロードロックチャンバー ・トランスファーチャンバー ・半導体製造 ■特長 ツールまたは工場のサブフロアに直接設...
株式会社宇野澤組鐵工所
310人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
凝縮性ガスに強い真空ポンプとして開発した汎用ドライ真空ポンプです。真空を利用する化学、医薬、食品、金属、光学等の工業用に最適で...
UNI-CROWN CO., LTD.
510人以上が見ています
最新の閲覧: 17時間前
当社のオイルフリー真空ポンプは、多くの産業用途にとって理想的なソリューションです。 ガス抜き、抽出、真空固定、ピックアンドプレー...
株式会社大阪真空機器製作所
230人以上が見ています
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100.0% 返答率
163.7時間 返答時間
■FR060D ・大気圧で連続運転可能 ・開放時排気速度800L/min ・水蒸気吸入可能 ・水蒸気処理量500g/hr ・排気時間の短縮 ・到達付近まで...
株式会社越路商会
20人以上が見ています
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100.0% 返答率
23.4時間 返答時間
コンパクト設計・ハンドル付きで持ち運びに便利です。クリーンなオイルフリーのドライエアーポンプです。1台で吸引と加圧ができます。様...
大晃機械工業株式会社
270人以上が見ています
最新の閲覧: 7時間前
スクリュー式ドライ真空ポンプは、独自のスクリュー形状を採用した画期的なドライポンプで、スクリュー式において世界最低速運転を実現...
株式会社柳生商会
210人以上が見ています
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4.5 会社レビュー
100.0% 返答率
7.9時間 返答時間
■特長 ・オイルフリーでクリーンなダイアフラム式ドライポンプで、オイルによるコンタミネーションの心配がありません。 ・ロータリーエ...
フジ・インバック株式会社
100人以上が見ています
最新の閲覧: 11時間前
100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
■アプリケーション ・コーティング産業 ・R＆D ・フリーズドライ ■特長 工業用途や研究開発用途だけでなく、粒子やオイル汚染が問題に...
株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン
580人以上が見ています
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100.0% 返答率
0.6時間 返答時間
標準で防爆仕様・可燃性ガス（水素、メタンほか）の移送が可能 メタネーション用途にもおすすめです！ ■特長 ・オイルフリーによるクリ...
三弘エマテック株式会社
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返信の比較的早い企業
5.0 会社レビュー
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■製品説明 大排気量でコンパクトサイズのドライ真空ポンプです。 ■特徴 ドライ真空ポンプとしては、最高レベルの到達圧力です。エアー...
3種類の品番
エドワーズ株式会社
270人以上が見ています
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100.0% 返答率
53.3時間 返答時間
排気速度を上げることで、ポンプのダウンタイムを短縮 Stokes 6インチシリーズは、信頼性の高い安定した稼働を実現する丈夫な設計を特...
フジ・インバック株式会社
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100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
■アプリケーション ・エッチング ・インプラント ・PVD ■特長 A3P シリーズのドライポンプは、内部は腐食性ガスに強い構造となっており...
フジ・インバック株式会社
80人以上が見ています
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100.0% 返答率
39.6時間 返答時間
■アプリケーション ・エッチング ・PECVD ・SACVD ・ALD ・太陽光発電 ・LED ■特長 A4H シリーズのドライポンプは、高いガススループッ...
株式会社三津海製作所
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100.0% 返答率
37.8時間 返答時間
◼︎特徴 ・ポンプを直列接続させ高い真空度を得ることが出来ます。又、特別仕様として並列接続も可能です。 ・使用電圧はAC100V/200V及び...
3種類の品番
検索結果 162件 (1ページ/5ページ)
ドライポンプとは、オイルやその他の液体を利用せず真空を実現するさまざまな真空ポンプの総称です。
ドライポンプはオイルなどを利用して真空を作り出す、ウェットポンプと対比する名称です。ルーツ型ドライポンプ、スクロールポンプ、クロー型ドライポンプ、ダイアフラム型ドライポンプなど、メカニズムの違いによっていくつかの種類があります。
また、ロータリーポンプとは異なり、オイルミストの排出がないので、クリーンな環境での利用に適しています。
ドライポンプの主な使用用途は、半導体製造ラインや食品加工ライン、電子顕微鏡をはじめとしたさまざまな科学分析装置などです。これらの用途では、利用環境への汚染を避けなければなりません。ドライポンプは排気中にオイルミストなどの混入がないことが最大の特長であることから、クリーンな環境が求められる用途に対しては、ドライポンプが適しています。
ただし、ドライポンプの到達真空度は1Pa程度であり、真空度としてはそれほど高くありません。高真空度が必要な場合には、ターボ分子ポンプやイオンポンプなどと組み合わせて利用します。また、種類によって排気速度が異なるので、利用方法に応じて適切なタイプの選択が必要です。
ドライポンプにはさまざまな方式がありますが、気体輸送式という区分のポンプが多くあります。いずれの気体輸送式ポンプには、気体を吸入するための吸気口と気体を排出する排気口があり、吸気口から取り入れた気体を排気口から排出することによって、ポンプ内部の気体を排出します。
さまざまな気体を輸送することによって空間内の気体の量を減らし、真空状態を作り出す仕組みです。ドライポンプと対比となるウェットポンプでは、気体を輸送する際に真空ポンプ内の密閉を完全にするために作動液、または作動油というオイルを使います。
作動油は密閉以外にも、部品同士の摩耗、摩擦の低減、圧縮熱と呼ばれる気体が圧縮されることによって発生する熱の吸収、ポンプ部品の錆止め効果の役割があります。
ドライポンプでは気体を輸送するために、さまざまな構造をしたポンプがあります。主なドライポンプは容積移送式であり、中でも回転式のタイプが主流です。
ベーンポンプは円形の空間内に、複数のベーンと呼ばれる羽根を内臓した円筒が、ベーンで空間内の空気を描き出すように回転運動するポンプです。ベーンに生じる遠心力によって、ベーンの先端が円形空間の壁面に接触して密閉空間を形成します。
クローポンプは2つのクローと呼ばれる爪形状のロータが並んで配置されており、互いに反対方向に回転しながらクローで気体を排出します。気体は圧縮されてポンプの外部に排出されます。
多段ルーツポンプも、一対の逆方向に回転するロータによって吸入した気体をポンプの外部に排出するポンプです。ロータはまゆ形断面の羽根を持っています。
スクロールポンプは、同じ渦巻形の壁面をした固定スクロール内を、旋回スクロールが回転しながら気体を移送するポンプです。
スクリューポンプは1~3つのスクリューと、スクリューを納めたケーシングで構成されたポンプです。スクリューが回転することによって、気体がケーシング内を押し出されるように移動して排出されます。
上記の回転式以外の容積移送式のドライポンプには、往復動式のポンプもあります。往復動をする部品はダイヤフラム、ピストン、ベローズなどです。
ドライポンプは気体が通過する経路に作動油が存在しません。排ガス中にオイルミストが混入したり、オイルが蒸発して真空容器中に拡散する心配もありません。クリーンな排気、真空空間が得られるのが、ドライポンプの大きな特徴です。
オイルの定期的な補充や交換といったメンテナンスが不要であることも、大きなメリットです。他にもドライポンプには小型軽量、低振動、低騒音などの特長があります。
参考文献
http://www.shinku-pump.com/vacuumpump/dry/
http://www.orionkikai-vacuum-pump.com/tech03-3.html
https://kurashi-no.jp/I0017669
