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株式会社日本アレフ
株式会社リガルジョイント
株式会社ピュアロンジャパン
株式会社ソニック
株式会社アロマニッキ
株式会社TAIYO
東芝インフラシステムズ株式会社
東京計装株式会社
東京流機工業株式会社
朝日技研工業株式会社
有限会社グラーツ

【2021年版】流量センサー9選 / メーカー47社一覧

流量センサーのメーカー47社・201製品を一覧でご紹介します。まずは使用用途や原理についてご説明します。


目次


流量センサーとは

流量計は、気体から液体まであらゆる流体の流量を測定する検出計です。

流体回路を流れる流体に異常がないか監視する目的のアナログ式の流量計もあれば、ガス供給量などを一定量に調整するためにフィードバック制御機構へつなげるデジタル式のものなど、様々な流量計が存在します。

流量センサーの使用用途

流体回路に組み込まれている流量計ですが、パイプ内を流れる水の流量を監視調査するための水量計や、ガスの流れを測定、調整する流量計など身近なところでも活用されています。

水や空気などに限らず、半導体製造現場などで使用されるエッチングガスなど、特殊なガスに対応した流量計もあります。

一方で、適切な流量計を選定しないと、正しい流量が計測できないだけでなく、流量の過小評価は流路の破裂などにもつながるため、流体制御が必要な場面ではほぼ間違いなく1つは使用されています。

流量センサーの原理

内部構造や測定する対象流体によって、様々な計測形式が採用されていますが、ここでは空気や水など一般的な流体に適用可能な差圧式の流量計の原理について説明します。

差圧式流量計では、ベルヌーイの定理を利用して流量を計測しています。

一定のサイズの流体の流路中に意図的に流路を狭める仕組みを導入します。そうすることで、流体には圧力損失が生じ、その前後での圧力が変化します。

この圧力をそれぞれ計測することで、ベルヌーイの法則から流速が算出できるしくみです。

この流路を狭める仕組みにどのような機構を使うかによって、オリフィス型やノズル型など様々な種類がありますが、その前後での流体の圧力差を測定原理としている点ではみな同じ差圧式流量計といえます。

流量センサーの選び方

測定する流体の種類によって適切な流量計は異なります。

気体用か液体用かを間違えると誤った流量を認識してしまうのはもちろんのこと、有害な物質や可燃性の物質の流量測定に誤った流量計を選定してしまうと、大きな事故につながるリスクもあります。

そのため、まずは測定したい物質の性質を精査することから始めることが重要です。

また、流量計は一般に広いレンジを一度に計測することはできません。あらかじめ想定される流量が決まっているのであれば、そのレンジに合わせた精度の高い流量計を選定するとよいでしょう。

クランプオン式流量センサについて

クランプオンとは計測したい流体が流れる配管の外側に計器を取り付けることの意味を表します。ここでは取り付ける計器が流量センサにあたるので配管の材質や配管内を流れる流体の種類によっては取り付けることができません。

クランプオン式流量センサは、一般的に超音波式流量計や超音波式流量センサと呼ばれており、計測したい対象が超音波で測定できる流体などであれば測定機器として使用することが可能になります。主に取り扱うことができる流体は純粋や薬液、油、冷温水、腐食性液体、高粘度液体などが挙げられます。そして、超音波式流量計には伝搬時間差式やドップラー方式を利用した周波数を計測する方式などがあります。

超音波式流量計のメリットは、配管を取り外したり切断したりしなくても取り付けることが可能なので設置した際のコストが抑えられ、施工後のメンテナンス性が大幅に向上する点や配管内の圧力損失がなくなる点が挙げられます。しかし、デメリットとしては配管の外側に取り付けるため直管部の長さが必要で配管の口径なども関係してくる点や計測する流体に固形物や気泡が多いと計測ができなくなる点などが挙げられます。

エアー流量計について

エアー流量計はクランプオン式流量計やねじ接続式流量計などがあります。ねじ接続式では直感部が不要になり、計測機器が小型で省スペースでも計測に対応できるようになっています。そして、配管だけではなく継手を取り付けることで空気や水用のチューブを取り付け計測することもできます。

例えば、従来のエアー流量計は測定する気体が圧縮性流体ならば熱式質量流量計で計測する方法がとられてきました。そして、熱式質量流量計にはいくつかの測定方法があります。そのなかでも一番多く見られるキャピラリ式では管内に抵抗値をもつフローエレメントを設置し、管外側にヒーターを巻き付けることでヒーター両側の温度センサが流量バランスを測定しています。しかし、熱式質量流量計は汚れに弱く低圧環境が得意ではないことが特徴でもあります。よって、オイルミストが多い設備では使用を避けた方がいいとされています。

現在の熱式質量流量計はフローセンサ式という形式の方法が利用されています。この形式は半導体のフローセンサによって構成されており、測定範囲が広く汚れを気にせずに低圧な環境でも利用できるとされています。

このように様々な方法で対象の流体を測定する方法が考案されていますが、測定する流体によって利用できる流量計に制限があり、使用環境などをよく検討し、設備に導入することが望まれています。

参考文献
https://www.keyence.co.jp/ss/products/process/flowmeter/
https://www.hitech-flow.co.jp/product/usflow_list.html
https://www.fujielectric.co.jp/products/instruments/products/flow_ultra/top.html
https://www.oval.co.jp/techinfo/keisoku/ultrasonic.html
https://www.keyence.co.jp/ss/products/process/flowmeter/type/ultrasonic.jsp
https://www.pisco.co.jp/product/detail/d/d01/
https://www.compoclub.com/products/knowledge/mf/netu_kiso1.html
http://www.ksplz.info/
https://www.aichitokei.co.jp/products/flowmeter/trx25_32-2/

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流量センサーのメーカー情報

流量センサーのメーカーランキング

社員数の規模

  1. 1 パナソニック株式会社
  2. 2 日立金属株式会社
  3. 3 オムロン株式会社

設立年の新しい会社

  1. 1 ACEINNA
  2. 2 東芝インフラシステムズ株式会社
  3. 3 エフコン株式会社

歴史のある会社

  1. 1 愛知時計電機株式会社
  2. 2 SIKA
  3. 3 Blancett

流量センサーのメーカー47社一覧


流量センサーのカタログ一覧(4件)

Metoreeに登録されている流量センサーのカタログ一覧です。無料で各社カタログを一括でダウンロードできるので、製品比較時に各社サイトで毎回情報を登録する手間を短縮することができます。

ココリサーチ株式会社のカタログ



流量センサー9選

羽根車式流量計 FS-SC

株式会社リガルジョイント 羽根車式流量計 FS-SC 画像出典: 株式会社リガルジョイント公式サイト

特徴

羽根車式流量計FS-SCは、実測値をデジタル表示で確認できます。

流量の測定原理については、流体の流れにより回転する羽根車に磁石がついており、磁気をホール素子が感知します。この時期の変化を流量として出力します。

工業用水や水の流量を測定するために使用されることが想定されており、定格流量は0.5-3L(型式:FS-3SCの場合)、精度は±2.5%です。

また、高温対応や薬液対応の商品を選ぶことも可能です。

株式会社リガルジョイントの会社概要

  • 会社所在地: 神奈川県相模原市南区大野台1-9-49
  • URL: http://www.rgl.co.jp/
  • 創業: 1974年
  • 従業員数: 58人

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FD-Xシリーズ

株式会社キーエンス

特徴

クランプオン式流量センサFD-Xは、流量を配管の外から測定することが可能です。

多様な液体に対応し、水や油のみでなく、高粘度の液体や腐食性薬品まで対応可能です。

また、使用できる配管の種類も多様で、樹脂配管から金属配管まで使用できます。

外から測定できる特徴から、接液を避けたい、食品や薬品の充填量確認に適します。さらに、配管工事が不要なことから、生産を止めることなく流量管理が可能です。

なお、対応可能な流体温度は0~100℃、定格流量は0-1000ml/minです。

株式会社キーエンスの会社概要

  • 会社所在地: 大阪府大阪市東淀川区東中島1-3-14
  • URL: https://www.keyence.co.jp
  • 創業: 1974年
  • 従業員数: 8,419人
  • 資本金: 30,600,000,000円

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FLO PL

東京流機工業株式会社 FLO PL 画像出典: 東京流機工業株式会社公式サイト

特徴

FLO-PLは、液体・気体の瞬間流量を、ガラス管上のフロートにより読み取る、高精度な面積式流量計です。

水、冷却水、透明性のある液体や、空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素などの気体の流量を測定可能です。

また、PL2型は下から上へ、PL3型は下横から上横へ、PL4型は裏下から裏上へと、流路によりいくつかのシリーズがあります。

対応できる流量は、液体は7-70L/min、気体は90-900NL/min(一般仕様)となっており、流量制度は±2%以内となっています。なお、測定範囲については、必要な流量レンジを指定して製作することも可能です。

東京流機工業株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 東京都杉並区阿佐谷南1丁目14-5小田ビル4階
  • URL: http://www.ryuki.jp/
  • 創業: 1956年

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NE

日東精工株式会社 NE 画像出典: 日東精工株式会社公式サイト

特徴

電子式微少流量計 ニコーアイNE型は、ロータリーピストン式流量計で、電子表示計数部を搭載した流量計です。

流量範囲は、1-600L/hの微少流量に対応します。

計測流体は、化学液、食品液、石油類や水で使用でき、流体の温度は、-5~80℃、液体圧力は1.0MPa以下、液体粘度は、0.4~100mPa・sで使用されることが想定されています。

このことから、微少流量域の高精度計測や、添加物プロセス制御などでの用途が想定されます。

なお、計量精度は、±0.75%以内です。

日東精工株式会社の会社概要

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RFA

フォーティブICGジャパン株式会社 RFA 画像出典: フォーティブICGジャパン株式会社公式サイト

特徴

RFA流量センサは、アナログ出力および目視確認ともに可能な流量センサです。

主な用途としては、冷却水などの流量不具合等を監視する目的として使用可能で、型式によって異なりますが、0.38-227.1L/minまでの流量レンジをカバーします。

精度は±7-15%、使用可能温度は、真鍮・ステンレス製の場合、-29~100℃(ポリプロピレン製の場合、最大82℃)です。また、最大動作圧力は、真鍮・ステンレス製の場合、21℃の時に1.38MPa(ポリプロピレン製の場合0.69MPa)です。

フォーティブICGジャパン株式会社の会社概要

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エア流量モニタ EWA2

パナソニック株式会社 エア流量モニタ EWA2 画像出典: パナソニック株式会社公式サイト

特徴

エア流量モニタEWA2は、超音波式の検出器を採用し、センサ部分が汚れに強く、メンテナンスの必要がない商品です。さらに、超音波式の場合、計測部位に突起物がないことから、圧力の損失がありません。

従来の圧縮空気に加え、窒素ガスについても流量計測が可能です。

流量測定範囲は、実流量1.1~65㎥/hで、精度は±2.5%R.S.です(型式:AEWA2032の場合)。用途に応じて、小口径(25、32A)、中口径(40、50、65、80A)、大口径(100、150、200A)の商品から選択可能です。

パナソニック株式会社の会社概要

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高精度フローメータ MODEL RK1400 SERIES

コフロック株式会社 高精度フローメータ
MODEL RK1400 SERIES 画像出典: コフロック株式会社公式サイト

特徴

高精度フローメータRK1400シリーズは、高精度フロート式の流量計で、超微少レンジでの計測が可能で、豊富なバリエーションがあります。

空気、窒素、酸素、二酸化炭素などのガスや、水(他の液体については、換算校正が必要)の流量計測が可能です。

流量レンジは0.5-5ml/minのものから、10-100L/min(液体は0.2-2Lが最大)のものまであり、精度は±2%です。

なお用途としては、機器への組込や、実験室における流量確認用、半導体関連機器への利用が想定されています。

コフロック株式会社の会社概要

  • 会社所在地: 京都府京田辺市草内当ノ木1-3
  • URL: https://www.kofloc.co.jp/
  • 創業: 1949年
  • 従業員数: 197人

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小型デジタルマスフローコントローラ

アズビル株式会社 小型デジタルマスフローコントローラ 画像出典: アズビル株式会社公式サイト

特徴

F4H小型デジタルマスフローコントローラーは、高感度流量センサを搭載したことで、0.3secの高速制御性を実現した気体用の流量コントローラーです。

必要な機能を絞り込み、小型バルブの採用や基盤レイアウトの変更により、従来製品に比べ50%の小型化がはかられています。このことから、多数コントローラーを使用する装置の小型化などが可能です。

また、耐ノイズ性を強化し、マスフローメーターにおいて初めて、韓国のS-mark認証を取得しています。

アズビル株式会社の会社概要

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一覧

アズビル株式会社 一覧 画像出典: アズビル株式会社公式サイト

特徴

気体用マスフローメーターCMSシリーズは、検出部位に熱式流量センサーを使用した、質量流量計です。

従来にない高精度、ワイドレンジ性を、低価格で実現しました。なお、空気流量レンジについては、0-500ml/min(型式:CMS9500)から、0-500L/min(型式:CMS500)まで幅広く選ぶことが可能です。

対応可能なガスは、窒素、空気、酸素、アルゴン、炭酸ガス、都市ガス、メタン、プロパンおよびブタンです。また、シリーズ内に、水素およびヘリウムについても対応可能なものも選択可能です。

アズビル株式会社の会社概要

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流量センサーの201製品一覧

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